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本发明提供了一种偏振光照明装置，包括：光源、聚光装置、起偏元件和偏振光转换元件，起偏元件接收光源发出的和经聚光装置聚集的入射光，入射光包括第一偏振光和第二偏振光，第一偏振光与第二偏振光偏振方向不同，起偏元件反射第一偏振光并出射第二偏振光，偏...
该专利属于上海微电子装备（集团）股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备（集团）股份有限公司授权不得商用。

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