在微机电系统电化学传感器上沉积电极和电解质的方法技术方案

本发明专利技术题为“在微机电系统电化学传感器上沉积电极和电解质的方法”。本发明专利技术整体涉及用于在微机电系统(MEMS)电化学传感器上沉积电极和电解质的系统、设备和方法。一种方法可以包括在基板表面上提供刀片；沿所述基板的周边提供脊；将电极和电解质按压到刀片和脊上；将电极切割成多个电极；将电解质定位成接触所述表面、刀片和脊；以及定位所述多个电极以接触所述表面、刀片和脊。

Method of depositing electrodes and electrolytes on electrochemical sensors of microelectromechanical systems

The invention relates to a method for depositing electrodes and electrolytes on an electrochemical sensor of a microelectromechanical system. The invention relates to a system, apparatus and method for depositing electrodes and electrolytes on electrochemical sensors of micro-electromechanical systems (MEMS). One method may include providing blades on a substrate surface; providing ridges along the periphery of the substrate; pressing electrodes and electrolytes onto the blades and ridges; cutting the electrodes into multiple electrodes; positioning electrolytes to contact the surfaces, blades and ridges; and positioning the plurality of electrodes to contact the surfaces, blades and ridges.

【技术实现步骤摘要】
在微机电系统电化学传感器上沉积电极和电解质的方法相关申请的交叉引用本申请要求于2017年10月31日提交的欧洲专利申请17199488.2的权益，该专利申请的公开内容全文以引用方式并入本文。有关联邦资助的研究或发展不适用。缩微平片附件的引用不适用。
技术介绍
电化学传感器可用于检测各种类型的气体，包括氧气，以及其他类型的气体，例如，硫化氢、氯、一氧化氮、一氧化碳和碳氢化合物。电化学传感器可被定位在外壳内，该外壳内可包括电解质。外部电连接可允许电化学传感器电联接到外部处理电路。通常，包括外壳和电化学传感器的电化学传感器组件相对较大。总体尺寸可能导致电化学传感器和外部处理电路之间的信号退化，并且还会妨碍在小的器械例如移动电话、可穿戴设备等中的使用。另外，大尺寸的电极和大尺寸的电解质体积可能会增加传感器的成本。
技术实现思路
在一个实施方案中，一种用于在微机电系统(“MEMS”)电化学传感器上沉积电极和电解质的方法，该方法包括：在基板的表面上提供刀片；沿着基板的周边提供脊，其中脊的高度大于刀片的高度，其中脊被定位成围绕刀片，其中凹坑沿着刀片和脊之间的表面定位，其中脊是锥形的；将电极和电解质按压在刀片本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于在微机电系统(MEMS)电化学传感器上沉积电极(126)和电解质(124)的方法，所述方法包括：沿基板(100)的表面(102)的周边(111)提供脊(110)；或者在基板(100)的表面(102)上提供刀片(104)；将所述电极(126)和所述电解质(124)按压在所述脊(110)上或所述刀片(104)上，其中所述电解质(124)被定位成接触所述电极(126)的所述顶部；以及将所述电极(126)切割成多个电极(132,134,136,138)。

【技术特征摘要】
2017.10.31 EP 17199488.21.一种用于在微机电系统(MEMS)电化学传感器上沉积电极(126)和电解质(124)的方法，所述方法包括：沿基板(100)的表面(102)的周边(111)提供脊(110)；或者在基板(100)的表面(102)上提供刀片(104)；将所述电极(126)和所述电解质(124)按压在所述脊(110)上或所述刀片(104)上，其中所述电解质(124)被定位成接触所述电极(126)的所述顶部；以及将所述电极(126)切割成多个电极(132,134,136,138)。2.根据权利要求1所述的方法，还包括在所述基板(100)的所述表面(102)上提供所述脊(110)和所述刀片(104)，其中所述脊(110)的高度大于所述刀片(104)的高度，其中所述脊(110)被定位成围绕所述刀片(104)，其中凹坑(112,114,116,118)沿着所述刀片(104)和所述脊(110)之间的所述表面(102)定位，其中所述脊(110)是锥形的并且被配置为切割所述电解质(124)。3.根据权利要求2所述的方法，还包括：将所述电极(126)和所述电解质(124)按压在所述刀片(104)上；用所述刀片(104)部分地切割所述电解质(124)；以及将所述多个电极定位在所述凹坑(112,114,116,118)内以接触所述表面(102)、所述刀片(104)和所述脊(110)。4.根据权利要求3所述的方法，将所述电解质(124)定位在所述凹坑(112,114,116,118)内以接触所述表面(102)、所述刀片(104)和所述脊(110)。5.一种微机电系统(MEMS)电化学传感器，包括：基板(100)，所述基板包括表面...

【专利技术属性】
技术研发人员：基思·弗朗西斯·爱德温·普瑞特，克里斯蒂安·瓦西里·迪亚科努，王永发，
申请(专利权)人：霍尼韦尔国际公司，
类型：发明
国别省市：美国,US