下载在微机电系统电化学传感器上沉积电极和电解质的方法的技术资料

文档序号:21057776

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本发明题为“在微机电系统电化学传感器上沉积电极和电解质的方法”。本发明整体涉及用于在微机电系统(MEMS)电化学传感器上沉积电极和电解质的系统、设备和方法。一种方法可以包括在基板表面上提供刀片;沿所述基板的周边提供脊;将电极和电解质按压到刀...
该专利属于霍尼韦尔国际公司所有,仅供学习研究参考,未经过霍尼韦尔国际公司授权不得商用。

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