图像生成方法、图像生成装置以及使用其的缺陷确定方法制造方法及图纸

公开了图像生成方法、图像生成装置以及使用其的缺陷确定方法。提供了一种图像生成方法，其生成目标物体的表面的图像，包括：使放置在第一位置处的图像捕获单元通过周期性结构体捕获目标物体的表面作为第一图像捕获，所述周期性结构体包括以预定周期P交替的透射区域和透射率比透射区域低的非透射区域，使放置在不同于第一位置的第二位置处的图像捕获单元通过周期性结构体捕获目标物体的表面作为第二图像捕获，和使用第一捕获图像和第二捕获图像来生成表面图像，其中第一和第二位置在周期性结构体的周期性方向上彼此不同。

Image generation method, image generation device and defect determination method using it

An image generation method, an image generation device and a defect determination method using the image generation device are disclosed. An image generation method is provided, which generates an image of the surface of a target object, including: capturing the surface of the target object by an image capture unit placed at the first position as a first image capture through a periodic structure, which includes a transmission region alternating with a predetermined period P and a non-transmission region with a lower transmittance than the transmission region, so as to place it in a different position. The image capturing unit at the second position of the first position captures the surface of the target object as a second image capture through the periodic structure, and generates the surface image using the first captured image and the second captured image, where the first and second positions are different from each other in the periodic direction of the periodic structure.

【技术实现步骤摘要】
图像生成方法、图像生成装置以及使用其的缺陷确定方法
本公开涉及图像生成方法或图像生成装置，其用于获取具有表面(该表面具有光泽度)的待检查物体(目标物体)的图像，并且用于生成用于光学地评估目标物体的表面图像。
技术介绍
作为用于检测工件(该工件是具有光泽度的目标物体)的表面上存在的缺陷的技术，已知使用发射周期性条纹图案的光的光源照明工件并且用照相机捕获由工件反射的光的技术(日本专利申请特开No.2004-198263)。在日本专利申请特开No.2004-198263中讨论的检查方法用其亮度(luminance)周期性变化的光照射工件。然后，该检查方法计算反射光的捕获图像的变化亮度的幅度、相位和平均值。此外，该检查方法在移动工件的同时计算多个位置处的幅度、相位和平均值，从而检测整个工件上的缺陷。
技术实现思路
根据实施例，用于生成目标物体的表面的表面图像的图像生成方法，包括：作为第一图像捕获，使放置在第一位置处的图像捕获单元通过周期性结构体捕获目标物体的表面，所述周期性结构体包括预定周期P交替布置的透射区域和透射率比透射区域低的非透射区域；作为第二图像捕获，使放置在不同于第一位置的第二位置处本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于生成目标物体的表面的表面图像的图像生成方法，其特征在于，所述图像生成方法包括：作为第一图像捕获，使放置在第一位置处的图像捕获单元通过周期性结构体捕获目标物体的表面，所述周期性结构体包括透射区域和透射率比透射区域低的非透射区域，所述透射区域和非透射区域在周期性方向上以预定周期P交替布置；作为第二图像捕获，使放置在不同于第一位置的第二位置处的图像捕获单元通过所述周期性结构体捕获目标物体的表面；和使用在第一图像捕获中获得的第一捕获图像和在第二捕获中获得的第二捕获图像来生成表面图像，其中第一位置和第二位置在所述周期性结构体的周期性方向上彼此不同。

【技术特征摘要】
2017.10.31 JP 2017-2112221.一种用于生成目标物体的表面的表面图像的图像生成方法，其特征在于，所述图像生成方法包括：作为第一图像捕获，使放置在第一位置处的图像捕获单元通过周期性结构体捕获目标物体的表面，所述周期性结构体包括透射区域和透射率比透射区域低的非透射区域，所述透射区域和非透射区域在周期性方向上以预定周期P交替布置；作为第二图像捕获，使放置在不同于第一位置的第二位置处的图像捕获单元通过所述周期性结构体捕获目标物体的表面；和使用在第一图像捕获中获得的第一捕获图像和在第二捕获中获得的第二捕获图像来生成表面图像，其中第一位置和第二位置在所述周期性结构体的周期性方向上彼此不同。2.根据权利要求1所述的图像生成方法，其中，在第一图像捕获中捕获第一图像的图像捕获单元和在第二图像捕获中捕获第二图像的图像捕获单元是相同的图像捕获单元。3.根据权利要求1所述的图像生成方法，其中，在第一图像捕获之后且在第二图像捕获之前，图像捕获单元从第一位置移动到第二位置。4.根据权利要求1所述的图像生成方法，其中，第一位置和第二位置之间在周期性结构体的周期性方向上的距离小于周期P。5.根据权利要求1所述的图像生成方法，其中，位于第一位置处的图像捕获单元的光轴与目标物体的交点和位于第二位置处的图像捕获单元的光轴与目标物体的交点之间在周期性结构体的周期性方向上的距离是(n+1/4)L×P/2D以上且(n+3/4)L×P/2D以下，其中从目标物体的表面到图像捕获单元的光瞳平面的距离是L，从目标物体的表面到周期性结构体的光程长度是D，并且n是任何整数。6.根据权利要求1所述的图像生成方法，其中，在第一图像捕获中，图像捕获单元在多个状态中多次捕获目标物体，其中，周期性结构体的位置在所述多个状态中的每个状态中不同，并且其中，在第二图像捕获中，图像捕获单元在多个状态中多次捕获目标物体，其中，周期性结构体的位置在所述多个状态中的每个状态中不同。7.根据权利要求6所述的图像生成方法，其中，在所述周期性方向上，在所述多个状态中的所述周期性结构体的所述多个位置的最小差小于所述周期P。8.根据权利要求6所述的图像生成方法，其中，在所述多个状态中，被配置为发射用于照明目标物体的光的发光单元与所述周期性结构体共同移动。9.根据权利要求1所述的图像生成方法，其中，生成表面图像包括：使目标物体中的检查区域中的第一捕获图像和第二捕获图像对准，以及组合第一捕获图像和第二捕获图像。10.根据权利要求1所述的图像生成方法，其中，所述目标物体的表面是平坦的。11.根据权利要求1所述的图像生成方法，其中，捕获第二捕获图像的图像捕获单元相对于捕获第一捕获图像的图像捕获单元倾斜。12.一种用于生成目标物体的表面的表面图像的图像生成方法，其特征在于，所述图像生成方法包括：在图像捕获单元和目标物体的表面以第一角度倾斜的情况下，使图像捕获单元通过周期性结构体捕获目标物体的表面作为第一图像，在所述周期性结构体中，以预定周期P交替设置透射区域和透射率比透射区域低的非透射区域；在图像捕获单元和目标物体的表面以不同于第一角度的第二角度倾斜的状态下，使图像捕获单元通...

【专利技术属性】
技术研发人员：桥口英则，植村卓典，
申请(专利权)人：佳能株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP