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图像生成方法、图像生成装置以及使用其的缺陷确定方法制造方法及图纸
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文档序号:21057659
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公开了图像生成方法、图像生成装置以及使用其的缺陷确定方法。提供了一种图像生成方法,其生成目标物体的表面的图像,包括:使放置在第一位置处的图像捕获单元通过周期性结构体捕获目标物体的表面作为第一图像捕获,所述周期性结构体包括以预定周期P交替的透...
该专利属于佳能株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过佳能株式会社授权不得商用。
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