编码器标尺、编码器标尺的制造方法以及编码器技术

本发明专利技术提供能够一面实现低成本化、一面提高检测精度的编码器标尺、编码器标尺的制造方法以及编码器，另外，提供具备该编码器标尺的编码器、机器人、电子部件输送装置、打印机以及投影仪。编码器标尺其特征在于，具备板状的基材、以及设于所述基材的一面并排列有第一区域和第二区域的光学图案，所述第一区域具有配置于所述基材上并构成为包括感光性树脂的树脂层、以及配置于所述树脂层上并由金属材料构成的金属膜，所述第一区域的表面将以所述基材的厚度方向为法线的第一面作为主体而构成，所述第二区域的表面将相对于所述第一面倾斜的第二面作为主体而构成。

The Manufacturing Method of Encoder Scale, Encoder Scale and Encoder

The invention provides an encoder ruler, a manufacturing method of the encoder ruler and an encoder capable of realizing low cost and improving detection accuracy at the same time. In addition, it provides an encoder, a robot, an electronic component conveying device, a printer and a projector with the encoder ruler. The encoder ruler is characterized in that it has a plate-like substrate and an optical pattern arranged on one side of the substrate and arranged in the first and second regions. The first region has a resin layer disposed on the substrate and composed of a photosensitive resin layer, and a metal film disposed on the resin layer and composed of metal materials. The surface of the first region will be as follows: The thickness direction of the substrate is composed of the first side of the normal as the main body, and the surface of the second area is composed of the main body with respect to the second side of the first inclined surface.

【技术实现步骤摘要】
编码器标尺、编码器标尺的制造方法以及编码器
本专利技术涉及编码器标尺、编码器标尺的制造方法以及编码器。
技术介绍
作为编码器的一种，已知有光学式编码器。例如，专利文献1所记载的反射型光学式编码器具备光源和光检测器、以及具有相对于光源和光检测器相对移动的光学图案的标尺，光源朝向标尺射出光束，光检测器检测由标尺反射/调制的光束。在此，专利文献1所记载的标尺具有玻璃基板和形成于玻璃基板的表面的周期性的光学图案，光学图案由沿标尺的移动方向一维排列的多个金属薄膜构成。专利文献1：日本特开2012-159518号公报专利文献1所记载的标尺将玻璃基板用作基材，因此存在形状自由度低、并且难以低成本化的问题。另外，专利文献1所记载的标尺中，玻璃基板的没有形成金属膜的部分的面沿着与金属膜的面相同的方向，因此，未在该部分透过而反射的光束的一部分被光检测器检测，其结果是，也存在难以提高检测精度的问题。
技术实现思路
本专利技术的目的在于，提供能够一面实现低成本化、一面提高检测精度的编码器标尺及其制造方法，另外，提供具备该编码器标尺的编码器。本专利技术解决上述课题的至少一部分，作为以下的应用例或方式能够实现。本应本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种编码器标尺，其特征在于，具备：板状的基材；以及光学图案，设于所述基材的一面，并且，在所述光学图案中排列有第一区域和第二区域，所述第一区域具有：树脂层，配置于所述基材上，并包括感光性树脂；以及金属膜，配置于所述树脂层上，所述第一区域的表面将以所述基材的厚度方向为法线的第一面作为主体而构成，所述第二区域的表面将相对于所述第一面倾斜的第二面作为主体而构成。

【技术特征摘要】
2017.10.30 JP 2017-2093851.一种编码器标尺，其特征在于，具备：板状的基材；以及光学图案，设于所述基材的一面，并且，在所述光学图案中排列有第一区域和第二区域，所述第一区域具有：树脂层，配置于所述基材上，并包括感光性树脂；以及金属膜，配置于所述树脂层上，所述第一区域的表面将以所述基材的厚度方向为法线的第一面作为主体而构成，所述第二区域的表面将相对于所述第一面倾斜的第二面作为主体而构成。2.根据权利要求1所述的编码器标尺，其特征在于，所述基材由能够进行各向异性蚀刻的结晶材料构成。3.根据权利要求2所述的编码器标尺，其特征在于，所述结晶材料是单晶硅。4.根据权利要求3所述的编码器标尺，其特征在于，所述单晶硅的面取向是...

【专利技术属性】
技术研发人员：小西晃雄，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP