一种溅镀机轨道测试装置及测试方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种溅镀机轨道测试装置，包括机架，机架上设有测试平台；驱动机构安装在测试平台上，驱动机构被配置为驱动溅镀机轨道正向运行和反向运行；可编程逻辑控制器安装在机架上，可编程逻辑控制器与驱动机构连接；电源供应器安装在机架上，电源供应器与可编程逻辑控制器连接。一种测试方法，包括S1：在机架的测试平台上设置待测试的溅镀机轨道；S2：接通电源，驱动机构回复原点；S3：驱动机构驱动溅镀机轨道正向运行，测试溅镀机轨道的正转顺畅度；S4：驱动机构驱动溅镀机轨道反向运行，测试溅镀机轨道的反转顺畅度。本发明专利技术在安装前进行轨道顺畅度的检测，可以确保轨道安装后机台的稳定性，减少停机次数，提升机台的产能。

A Track Testing Device for Sputtering Machine and Its Testing Method

The invention discloses a track test device of a sputtering machine, which comprises a rack and a test platform on the rack; a driving mechanism is installed on the test platform, and the driving mechanism is configured to drive the forward and reverse running of the track of the sputtering machine; a programmable logic controller is installed on the rack, and the programmable logic controller is connected with the driving mechanism; a power supply device is installed on the rack, and a power supply is provided. The supplier is connected with the programmable logic controller. A test method includes: S1: setting the track of the sputtering machine to be tested on the test platform of the rack; S2: turning on the power supply and driving mechanism to restore the original point; S3: driving mechanism driving the forward running of the sputtering machine track, testing the smooth degree of the positive rotation of the sputtering machine track; S4: driving mechanism driving the reverse running of the sputtering machine track, testing the smooth degree of the reverse rotation of the sputtering machine track. The invention detects the track smoothness before installation, ensures the stability of the rear platform of the track installation, reduces the number of downtime, and improves the productivity of the platform.

【技术实现步骤摘要】
一种溅镀机轨道测试装置及测试方法
本专利技术涉及溅镀机
，特别是一种溅镀机轨道测试装置及测试方法。
技术介绍
溅镀机轨道需要定期保养维护，溅镀机轨道的组装工序比较复杂，唯有安装在溅镀机上后才可以判断轨道保养维护的效果，轨道安装在溅镀机上后无法从其运转中看到轨道的运行顺畅度。若保养维护失败则需将轨道从溅镀机上卸下重新检查再装配，而且无法确保每次检查后轨道的稳定度，机台停机浪费生产工时。
技术实现思路
针对以上技术的不足，本专利技术的目的就是提供一种溅镀机轨道测试装置及测试方法，在安装前进行轨道顺畅度的检测，可以确保轨道安装后机台的稳定性，减少停机次数，提升机台的产能。本专利技术的目的是通过这样的技术方案实现的，一种溅镀机轨道测试装置，用于检测溅镀机轨道的运行顺畅度，其特征在于：包括机架，所述机架上设有测试平台；驱动机构，所述驱动机构安装在所述测试平台上，所述驱动机构被配置为驱动溅镀机轨道正向运行和反向运行；可编程逻辑控制器，所述可编程逻辑控制器安装在所述机架上，所述可编程逻辑控制器与所述驱动机构连接；以及电源供应器，所述电源供应器安装在所述机架上，所述电源供应器与所述可编程逻辑控制器连接。进一步地，还包括用于将溅镀机轨道限定在所述测试平台上的限位件，所述限位件固定在所述测试平台上。进一步地，所述限位件包括横向限位块和纵向限位块，所述横向限位块和纵向限位块均固定在所述测试平台上，所述横向限位块和纵向限位块互相垂直设置。进一步地，所述驱动机构包括动力设备和传动部，所述动力设备与所述传动部连接，并可驱动所述传动部，所述传动部与溅镀机轨道连接。进一步地，所述动力设备为伺服电机，所述传动部为磁性传动联轴器，所述伺服电机通过所述磁性传动联轴器驱动溅镀机轨道运行。进一步地，所述可编程逻辑控制器通过驱动器与所述伺服电机连接。进一步地，所述测试平台上安装有停止按钮、正转按钮和反转按钮，所述停止按钮、正转按钮和反转按钮分别与所述伺服电机连接。一种采用溅镀机轨道测试装置的测试方法，包括以下步骤：S1：在所述机架的所述测试平台上设置待测试的溅镀机轨道；S2：接通电源，驱动机构回复原点；S3：驱动机构驱动溅镀机轨道正向运行，测试溅镀机轨道的正转顺畅度；S4：驱动机构驱动溅镀机轨道反向运行，测试溅镀机轨道的反转顺畅度。进一步地，所述步骤S3包括：S31：通过可编程逻辑控制器进行测试参数的设定，所述测试参数包括加速度、减速度、目标频率、输出脉冲数和启动频率；S32：驱动机构驱动溅镀机轨道按照设定的测试参数正向运行，测试溅镀机轨道的正转顺畅度。进一步地，所述步骤S4包括：S41：通过可编程逻辑控制器进行测试参数的设定，所述测试参数包括加速度、减速度、目标频率、输出脉冲数和启动频率；S42：驱动机构驱动溅镀机轨道按照设定的测试参数反向运行，测试溅镀机轨道的反转顺畅度。由于采用了上述技术方案，本专利技术的有益效果为：本专利技术提供的测试装置可以对轨道进行机台外的检测，在保养维护后，将轨道在测试装置上进行顺畅度测试，测试合格后方将轨道安装在溅镀机上，确保了机台的稳定性，与现有技术相比，可以大大减少停机的次数，降低工人的工作量，大大提高机台的产能，机台稼动率提升50％。本专利技术的其他优点、目标和特征在某种程度上将在随后的说明书中进行阐述，并且在某种程度上，基于对下文的考察研究对本领域技术人员而言将是显而易见的，或者可以从本专利技术的实践中得到教导。本专利技术的目标和其他优点可以通过下面的说明书来实现和获得。附图说明本专利技术的附图说明如下。图1为溅镀机轨道测试装置的俯视结构示意图。图2为图1的正视结构示意图。图3为图1的左视结构示意图。图中：1.机架；2.测试平台；3.限位件；301.横向限位块；302.纵向限位块；4.可编程逻辑控制器；5.电源供应器；6.伺服电机；7.磁性传动联轴器；8.驱动器；9.停止按钮；10.正转按钮；11.反转按钮；12.空气开关；13.垫脚架；14.线槽；15.溅镀机轨道。具体实施方式下面结合附图和实施例对本专利技术作进一步说明。如附图1至图3所示，本专利技术公开了一种溅镀机轨道测试装置，用于检测溅镀机轨道15的运行顺畅度，包括机架1、驱动机构、可编程逻辑控制器4和电源供应器5；机架1上设有测试平台2。驱动机构安装在测试平台2上，驱动机构被配置为驱动溅镀机轨道15正向运行和反向运行。驱动机构包括动力设备和传动部，动力设备与传动部连接，并可驱动传动部，传动部与溅镀机轨道15连接，由此动力设备可驱动溅镀机轨道15。动力设备为伺服电机6，传动部为磁性传动联轴器7，伺服电机6通过磁性传动联轴器7驱动溅镀机轨道15运行。可编程逻辑控制器4通过驱动器8与伺服电机6连接。驱动器8可以控制伺服电机6的正转和反转，从为完成对溅镀机轨道15的正转驱动和反转驱动。伺服电机6为R7M-A10030-S1型号。测试平台2上安装有停止按钮9、正转按钮10和反转按钮11，停止按钮9、正转按钮10和反转按钮11分别与伺服电机6连接。停止按钮9控制伺服电机6停止工作，正转按钮10控制伺服电机6正向转动，反转按钮11控制伺服电机6反向转动。可编程逻辑控制器4安装在机架1上，可编程逻辑控制器4为CP1H-X40DT-D型号，可编程逻辑控制器4里设有PLS2指令。电源供应器5，电源供应器5安装在机架1上，电源供应器5与可编程逻辑控制器4连接，电源供应器5与外接电源电连接，电源供应器5将220V交流电转换为24V直流电和12V直流电。电源供应器5通过空气开关12与外接电源连接，确保用电的安全性。还包括用于将溅镀机轨道15限定在测试平台2上的限位件3，限位件3固定在测试平台2上。限位件3包括横向限位块301和纵向限位块302，横向限位块301和纵向限位块302均固定在测试平台2上，横向限位块301和纵向限位块302互相垂直设置。限位块和纵向限位块302构成L形，限位块和纵向限位块302可以一体成型，也可以通过焊接或者螺栓连接等方式固定。横向限位块301对溅镀机轨道15的顶端进行限位，纵向限位块302对溅镀机轨道15的长度方向进行限位。限位件3可以避免溅镀机轨道15晃动，影响测试的结果。机架1的底端设有垫脚架13，提高机架1的稳定性，从而确保测试的准确性。机架1上设有用于收纳连接线的线槽14。一种采用溅镀机轨道测试装置的测试方法，包括以下步骤：S1：在机架1的测试平台2上设置待测试的溅镀机轨道15，通过限位件3将待测试的溅镀机轨道15固定在测试平台2上；此时磁性传动联轴器7的公里输出端位于溅镀机轨道15的内；S2：接通电源，驱动机构回复原点；S3：正转顺畅度的测试：通过可编程逻辑控制器4的PLS2指令进行测试参数的设定，测试参数包括加速度、减速度、目标频率、输出脉冲数和启动频率；驱动机构驱动溅镀机轨道15按照设定的测试参数正向运行，测试溅镀机轨道15的正转顺畅度；S4：反转顺畅度的测试：通过可编程逻辑控制器4的PLS2指令进行测试参数的设定，测试参数包括加速度、减速度、目标频率、输出脉冲数和启动频率；驱动机构驱动溅镀机轨道15按照设定的测试参数反向运行，测试溅镀机轨道15的反转顺畅度。本专利技术提供的测试装置可以对轨道进行机台外的检测，在保养维护后，将轨道在测试装置上进行顺畅度测试，测试本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种溅镀机轨道测试装置，用于检测溅镀机轨道的运行顺畅度，其特征在于：包括机架，所述机架上设有测试平台；驱动机构，所述驱动机构安装在所述测试平台上，所述驱动机构被配置为驱动溅镀机轨道正向运行和反向运行；可编程逻辑控制器，所述可编程逻辑控制器安装在所述机架上，所述可编程逻辑控制器与所述驱动机构连接；以及电源供应器，所述电源供应器安装在所述机架上，所述电源供应器与所述可编程逻辑控制器连接。

【技术特征摘要】
1.一种溅镀机轨道测试装置，用于检测溅镀机轨道的运行顺畅度，其特征在于：包括机架，所述机架上设有测试平台；驱动机构，所述驱动机构安装在所述测试平台上，所述驱动机构被配置为驱动溅镀机轨道正向运行和反向运行；可编程逻辑控制器，所述可编程逻辑控制器安装在所述机架上，所述可编程逻辑控制器与所述驱动机构连接；以及电源供应器，所述电源供应器安装在所述机架上，所述电源供应器与所述可编程逻辑控制器连接。2.根据权利要求1所述的溅镀机轨道测试装置，其特征在于：还包括用于将溅镀机轨道限定在所述测试平台上的限位件，所述限位件固定在所述测试平台上。3.根据权利要求2所述的溅镀机轨道测试装置，其特征在于：所述限位件包括横向限位块和纵向限位块，所述横向限位块和纵向限位块均固定在所述测试平台上，所述横向限位块和纵向限位块互相垂直设置。4.根据权利要求1所述的溅镀机轨道测试装置，其特征在于：所述驱动机构包括动力设备和传动部，所述动力设备与所述传动部连接，并可驱动所述传动部，所述传动部与溅镀机轨道连接。5.根据权利要求4所述的溅镀机轨道测试装置，其特征在于：所述动力设备为伺服电机，所述传动部为磁性传动联轴器，所述伺服电机通过所述磁性传动联轴器驱动溅镀机轨道运行。6.根据权利要求5所述的溅镀机轨...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨振军，李振芳，
申请(专利权)人：台晶重庆电子有限公司，
类型：发明
国别省市：重庆,50