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本发明公开了一种溅镀机轨道测试装置，包括机架，机架上设有测试平台；驱动机构安装在测试平台上，驱动机构被配置为驱动溅镀机轨道正向运行和反向运行；可编程逻辑控制器安装在机架上，可编程逻辑控制器与驱动机构连接；电源供应器安装在机架上，电源供应器与...
该专利属于台晶(重庆)电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过台晶(重庆)电子有限公司授权不得商用。

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