图形化金膜电极电阻值自动化测量系统技术方案

本实用新型专利技术提供了一种图形化金膜电极电阻值自动化测量系统，涉及电阻检测领域技术领域，该图形化金膜电极电阻值自动化测量系统，包括：机架、视觉定位装置、电阻值探测装置和移动载物平台；所述视觉定位装置固定在所述机架上，所述电阻值探测装置与所述机架滑动连接，所述机架上固定有第一驱动装置，且所述第一驱动装置的活动端与所述电阻值探测装置连接，用于带动所述电阻值探测装置朝所述移动载物平台；所述移动载物平台包括载台和第二驱动装置，所述第二驱动装置与所述载台连接，用于带动所述载台在沿垂直于所述电阻值探测装置运动方向所在的面上进行水平运动。可以全自动的检测图形化电极的电阻，减少人力成本，提升生产效率。

Automatic Measurement System of Resistance Value of Graphical Gold Film Electrode

The utility model provides a graphical gold film electrode resistance automatic measurement system, which relates to the technical field of resistance detection. The graphical gold film electrode resistance automatic measurement system comprises a frame, a visual positioning device, a resistance value detection device and a mobile carrier platform. The visual positioning device is fixed on the frame, and the resistance value detection device and the mobile carrier platform are fixed on the frame. The rack sliding connection is fixed with a first drive device, and the movable end of the first drive device is connected with the resistance value detecting device for driving the resistance value detecting device toward the mobile carrier platform; the mobile carrier platform includes a carrier platform and a second drive device, and the second drive device is connected with the carrier platform for driving the carrier platform. Horizontal motion is carried out on a surface perpendicular to the direction of motion of the resistance value detecting device. It can automatically detect the resistance of graphical electrodes, reduce labor costs and improve production efficiency.

【技术实现步骤摘要】
图形化金膜电极电阻值自动化测量系统
本技术涉及电阻检测领域
，尤其是涉及一种图形化金膜电极电阻值自动化测量系统。
技术介绍
随着大规模集成电路和微纳器件向高集成、小尺寸、窄距离方向发展，在半导体芯片、LED行业、微波半导体以及光波导等领域，对芯片间电极相连接的金属薄膜质量要求越来越高。例如，金作为金属材料用来制备薄膜电极,不仅具有优良的导电性，而且具有较高的可见光透光性。在高温下金的稳定性非常好，不容易被氧化，大大拓宽了金薄膜的应用领域。同时，金属于正温度系数的材料，导电性随着温度的降低变得更好，这使金薄膜电极在低温物性测量系统和严寒地区显示出氧化物薄膜电极无可比拟的特性。目前在图形化金膜电极生产工艺过程中，大部份都是依赖生产线人员借助电阻测量仪手动测量金膜电极的电阻值进行判断金膜电极的质量问题。这样将存在一些缺点，首先，通过生产线人员进行手动逐一测量，存在很大的人员的主观性，易造成误检、漏检；第二，由于是由生产线人员进行人眼判断，其中人眼易疲劳，并且检测效率较低。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种图形化金膜电极电阻值自动化测量系统，以缓解了人员进行手动逐一测量，存在很大的人员的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种图形化金膜电极电阻值自动化测量系统，其特征在于，包括：机架、视觉定位装置、电阻值探测装置和移动载物平台；所述视觉定位装置固定在所述机架上，所述电阻值探测装置与所述机架滑动连接，所述机架上固定有第一驱动装置，且所述第一驱动装置的活动端与所述电阻值探测装置连接，用于带动所述电阻值探测装置朝所述移动载物平台；所述移动载物平台包括载台和第二驱动装置，所述第二驱动装置与所述载台连接，用于带动所述载台在沿垂直于所述电阻值探测装置运动方向所在的面上进行水平运动。

【技术特征摘要】
1.一种图形化金膜电极电阻值自动化测量系统，其特征在于，包括：机架、视觉定位装置、电阻值探测装置和移动载物平台；所述视觉定位装置固定在所述机架上，所述电阻值探测装置与所述机架滑动连接，所述机架上固定有第一驱动装置，且所述第一驱动装置的活动端与所述电阻值探测装置连接，用于带动所述电阻值探测装置朝所述移动载物平台；所述移动载物平台包括载台和第二驱动装置，所述第二驱动装置与所述载台连接，用于带动所述载台在沿垂直于所述电阻值探测装置运动方向所在的面上进行水平运动。2.根据权利要求1所述的图形化金膜电极电阻值自动化测量系统，其特征在于，所述第一驱动装置包括第一丝杆导轨滑台，所述第一丝杆导轨滑台包括第一滑块，所述第一丝杆导轨滑台固定在所述机架上，所述电阻值探测装置固定在所述第一滑块上。3.根据权利要求2所述的图形化金膜电极电阻值自动化测量系统，其特征在于，所述第二驱动装置包括第一驱动机构和第二驱动机构，所述第二驱动机构与所述第一驱动机构的活动端连接，以使所述第一驱动机构驱动所述第二驱动机构运动；所述载台固定在所述第二驱动机构的活动端，以使所述第二驱动机构驱动所述载台运动。4.根据权利要求3所述的图形化金膜电极电阻值自动化测量系统，其特征在于，所述第一驱动机构包括第二丝杆导轨滑台，所述第二丝杆导轨滑台包括第二滑块，所述第二丝杆导轨滑台固定在所述机架上，所述第二驱动机构固定在所述第二滑...

【专利技术属性】
技术研发人员：谭耀成，姜豪，陈龙，张太鹏，
申请(专利权)人：浙江水晶光电科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江,33