The invention relates to a method for detecting yttrium oxide coated parts particles applied in the field of semiconductors. The method for detecting the particles adopts LPC equipment. The particle detection method mainly includes the following steps: (1) wiping parts with IPA; (2) spraying parts with pure water; (3) spraying parts with hot water; (4) vibration in an ultrasonic tank filled with pure water; (5) washing parts with pure water; (6) drying parts with nitrogen; (7) testing blank in LPC; (8) testing parts in the tank with LPC; (9) recording the results after testing, cleaning, drying and packaging parts. This method can detect whether the particulate matter on the surface of the parts meets the standard within the prescribed range, whether it meets the requirements, and at the same time reduce the pollution of assembly between the parts, which can effectively improve the service life of the parts.
【技术实现步骤摘要】
应用于半导体领域的氧化钇涂层零件颗粒的检测方法
本专利技术涉及一种热喷涂制备陶瓷涂层领域，特别是一种应用于半导体领域的氧化钇涂层零件颗粒的检测方法。
技术介绍
由于半导体设备零部件的使用要求越来越高，对半导体设备企业的要求也越来越严格，因此半导体零部件的发展直接影响着半导体设备企业的发展与晋升。对于新专利技术的氧化钇涂层零件表面的颗粒要求也越来越高，因此一般的检测方法不能达到使用要求。由于单独操作LPC(LiquidParticleCounter)测试结果不准确，因此有必要建立一套完善的操作流程，提升LPC测试准确度及精确度，所以此专利技术能够诠释最终想要的结果。为此专利技术出一种特殊处理工艺的LPC检测方法，根据测出来的10组数值，每5组数值为一组，取其平均值，利用公式进行计算，通过计算结果可以判断出氧化钇涂层零件颗粒数是否合格，能否进行组装。
技术实现思路
本专利技术涉及一种应用于半导体领域的氧化钇涂层零件颗粒的检测方法，该技术的检测方法采用LPC设备。采用该方法可以检测到零件表面颗粒物在规定的范围内是否达标，能否符合文件要求，同时降低了零件之间组装的污染，可有效...
【技术保护点】
1.一种应用于半导体领域的氧化钇涂层零件颗粒的检测方法，其特征在于，检测方法主要包括以下几个步骤：1)将零件用IPA擦拭；2)纯水喷洗零件；3)使用热水喷洗零件；4)放入装有纯水的超声波槽里振；5)使用纯水冲洗零件；6)使用氮气吹干零件；7)LPC测试空白颗粒，超声波槽里纯水及夹具表面的颗粒；8)LPC测试槽体中零件表面所带的颗粒；9)检测完后记录结果，将零件清洗、吹干、包装。
【技术特征摘要】
1.一种应用于半导体领域的氧化钇涂层零件颗粒的检测方法，其特征在于，检测方法主要包括以下几个步骤：1)将零件用IPA擦拭；2)纯水喷洗零件；3)使用热水喷洗零件；4)放入装有纯水的超声波槽里振；5)使用纯水冲洗零件；6)使用氮气吹干零件；7)LPC测试空白颗粒，超声波槽里纯水及夹具表面的颗粒；8)LPC测试槽体中零件表面所带的颗粒；9)检测完后记录结果，将零件清洗、吹干、包装。2.如权利要求1所述的氧化钇涂层零件颗粒的检测方法，其特征在于，所述步骤1)IPA采用电子级。3.如权利要求1所述的氧化钇涂层零件颗粒的检...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘红霞，郭昊，郁忠杰，李加，宁尚清，
申请(专利权)人：沈阳富创精密设备有限公司，
类型：发明
国别省市：辽宁,21
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