一种用于晶硅废料回收的去胶装置制造方法及图纸

技术编号:21003653 阅读:30 留言:0更新日期:2019-04-30 21:25
本实用新型专利技术公布了一种用于晶硅废料回收的去胶装置,包括弧形上盖、机体,机体内设置有清洗筒和第二安装架,将机体分隔为净化室、湿法去胶室以及燃烧去胶室,湿法去胶室内设置有去胶液,燃烧去胶室的底部设置有燃烧器;本实用新型专利技术的目的是针对以上问题,提供一种用于晶硅废料回收的去胶装置,该装置通过水洗,防止灰尘对去胶液的造成污染,为防止溶液去胶质量不佳,通过烘干、燃烧,保证其去胶效率;灰尘的废液通过净化达到循环使用要求。

A Degumming Device for Recycling Crystalline Silicon Waste

The utility model discloses a degumming device for reclaiming crystal silicon waste, which comprises an arc top cover, a body, a cleaning cylinder and a second mounting frame arranged in the body, and divides the body into a purification chamber, a wet degumming chamber and a combustion degumming chamber. The degumming liquid is arranged in the wet degumming chamber, and a burner is arranged at the bottom of the combustion degumming chamber. A degumming device for reclaiming crystal silicon waste is provided. The device can prevent dust from polluting the degumming solution by washing, and ensure its degumming efficiency by drying and burning in order to prevent the poor degumming quality of the solution. The dust waste liquid can meet the requirements of recycling use through purification.

【技术实现步骤摘要】
一种用于晶硅废料回收的去胶装置
本专利技术属于晶硅废料的回收领域,具体为一种用于晶硅废料回收的去胶装置。
技术介绍
人类进入21世纪后,随着半导体工业的快速发展,高纯晶体硅材料得到了广泛应用,在制成芯片过程中,经常会由于质量不合格,或切割过程中产生晶硅废料,如果能将这些废料综合回收利用,将会减少环境污染,提高能源的利用率,对缓解我国单晶硅和多晶硅的紧缺,减少进口有重大意义。单晶废料和多晶废料与其他原料有区别,废料上具有残留的UV胶水和粘胶条,若不完全去除将导致多晶硅锭纯度不达标等问题,目前现有的对晶硅废料在去胶技术中,其去胶质量还远远达不到要求,导致这种低纯度硅无法制取半导体材料,只能用于配制成一些特殊性能的合金,其价值远远降低。
技术实现思路
本专利技术的目的是针对以上问题,提供一种用于晶硅废料回收的去胶装置,该装置通过水洗,防止灰尘对去胶液的造成污染,为防止溶液去胶质量不佳,通过烘干、燃烧,保证其去胶效率;灰尘的废液通过净化达到循环使用要求。为实现以上目的,本专利技术采用的技术方案是:一种用于晶硅废料回收的去胶装置,包括弧形上盖,所述上盖下端设置有机体,其特征在于,所述机体内设置有清洗筒和第二安装架,将机体分隔为净化室、湿法去胶室以及燃烧去胶室,所述的湿法去胶室内设置有去胶液,燃烧去胶室的底部设置有燃烧器;所述机体的上端设置有第一安装架,所述第一安装架内设置有电机,所述电机的丝杆转轴穿过机体伸入清洗筒内与清洗筒轴承连接,所述丝杆转轴上设置有与向湿法去胶室相倾斜的沥板,所述沥板与丝杆转轴螺纹连接,所述沥板上开设有滤孔,所述清洗筒的上端开设有连通湿法去胶室的下料口;位于清洗筒的外侧机体内设置有抽水泵,循环水管连接抽水泵,一端伸入净化室,另一端与清洗筒的底部连通;所述净化室内设置有与水平面倾斜的净化室底板,所述循环水管口位于净化室底板的上端,所述上盖上插入有过滤柄杆,所述过滤柄杆由柄头、柄杆、柄杆架组成,所述柄杆架内设置有滤网,所述过滤柄杆伸入机体内,其柄杆架与滤网所形成的槽口正对循环水管口。进一步的,所述清洗筒内设置有限位块。进一步的,所述第一安装架上设置有旋转气缸,所述旋转气缸的活塞转杆上安装有锥形滚筒、引料锥筒以及翻料板,所述锥形滚筒和引料锥筒位于湿法去胶室内,翻料板位于燃烧去胶室内,所述锥形滚筒的筒身上设置有多个滤水孔和卷料折板,所述的引料锥筒上开设有多个用于衔接物料从卷料折板处掉落的引料槽,所述的清洗筒为方形筒,其底部和机体上设置有密封块,引料锥筒与密封块配合将湿法去胶室与燃烧去胶室隔开,所述机体上的底板其截面与锥形滚筒齐平。进一步的,所述的卷料折板为“Z”型结构,所述锥形滚筒的侧部设置有侧挡板。进一步的,所述的密封块由密封槽以及第二连接部组成,所述密封槽与第二连接部通过第一连接部连接,且第一连接部与第二连接部之间形成不小于90度的夹角。进一步的,所述引料锥筒上固定有密封环,所述密封环与密封槽配合。进一步的,所述燃烧去胶室与燃烧器之间设置有置料网板,其燃烧去胶室的下端设置有燃烧仓,所述置料网板与燃烧仓通过销轴铰接,所述燃烧仓上设置有燃烧壳体,所述燃烧壳体上固定有连杆,所述置料网板的末端底部设置有支撑板,所述支撑板上开设有滑槽,所述支撑板通过滑槽与连杆活动连接,所述支撑板的另一端连接有卸料门,所述卸料门一端与燃烧壳体铰接,另一端通过旋关块与燃烧仓配合,所述的卸料门上设置有拉环,所述的旋关块通过轴芯与燃烧仓连接。进一步的,所述燃烧壳体的上端设置有弧形引射板,所述弧形引射板上开设有多个引射喷头,位于燃烧壳体的内壁上设置有多个引射管,所述引射管与引射喷头连接,所述引射管的下端与氧气管连接,所述燃烧器置于燃烧壳体中部。本专利技术的有益效果为:1.该装置通过水洗,防止灰尘对去胶液的造成污染,为防止溶液去胶质量不佳,通过烘干、燃烧,保证其去胶效率;灰尘的废液通过净化达到循环使用要求。2.抽水泵将污水抽至过滤柄杆的槽口处,将灰尘阻挡在滤网处,通过定期对积聚在槽口和滤网处的灰尘进行清洗,实现清洗筒的水循环。3.清洗后的晶硅废料落入湿法去胶室内,经锥形滚筒上的卷料折板将废料卷起实现搅拌,使去胶液充分浸入;当需要将废料排至燃烧去胶室时,搅拌的锥形滚筒,通过卷料折板将废料卷起,去胶液经滚筒上的滤水孔排出,防止去胶液同时进入燃烧去胶室;“Z”型结构的卷料折板可减少废料重新掉入去胶液中,通过折弯、锥形结构的滚筒,将大部分废料滑至引料锥筒的引料槽中,最终落入燃烧去胶室内。4.引料锥筒上固定有密封环与密封槽配合,实现密封,防止热量散发。5.通过拉动拉环打开卸料门,便可将深处内部的物料排出,操作简单,快速卸料,减少了热量的散发。6.为防止燃烧时,废料表面发黑,通过充入过量氧气,将火焰转化为氧化焰,充入的氧气通过弧形引射板,喷至燃烧区域,使其充分燃烧。附图说明图1为本专利技术的结构示意图。图2为图1中A处的局部放大结构示意图。图3为过滤柄杆的结构示意图。图4为锥形滚筒和引料锥筒的立体结构示意图。图5为图4另一角度的立体结构示意图。图6为图5的俯视结构示意图。图7为卸料和燃烧去胶的结构示意图。图8为图7中B处的局部放大结构示意图。图9为燃烧器与弧形引射板连接的立体结构示意图。图10为引射管42设置位置的立体结构示意图。图中所述文字标注表示为:1、机体;2、上盖;3、清洗筒;4、第一安装架;5、电机;6、过滤柄杆;7、净化室;8、湿法去胶室;9、燃烧去胶室;11、丝杆转轴;12、沥板;13、滤孔;14、限位块;15、循环水管;16、抽水泵;17、净化室底板;18、底板;19、旋转气缸;20、第二安装架;21、活塞转杆;23、锥形滚筒;24、侧挡板;25、卷料折板;26、引料锥筒;27、密封环;28、翻料板;29、燃烧仓;31、密封块;32、置料网板;33、销轴;34、支撑板;35、连杆;36、卸料门;37、拉环;38、燃烧壳体;39、燃烧器;40、燃烧腔;41、弧形引射板;42、引射管;43、氧气管;44、旋关块;45、轴芯;201、下料口;230、滤水孔;260、引料槽;301、下料口;310、密封槽;311、第一连接部;312、第二连接部;340、滑槽;420、引射喷口;601、柄头;602、柄杆;603、柄杆架;6030、滤网;6031、槽口。具体实施方式为了使本领域技术人员更好地理解本专利技术的技术方案,下面结合附图对本专利技术进行详细描述,本部分的描述仅是示范性和解释性,不应对本专利技术的保护范围有任何的限制作用。如图1-图10所示,本专利技术的具体结构为:包括弧形上盖2,所述上盖2下端设置有机体1,其特征在于,所述机体1内设置有清洗筒3和第二安装架20,将机体1分隔为净化室7、湿法去胶室8以及燃烧去胶室9,所述的湿法去胶室8内设置有去胶液,燃烧去胶室9的底部设置有燃烧器39;所述机体1的上端设置有第一安装架4,所述第一安装架4内设置有电机5,所述电机5的丝杆转轴11穿过机体1伸入清洗筒3内与清洗筒3轴承连接,所述丝杆转轴11上设置有与向湿法去胶室8相倾斜的沥板12,所述沥板12与丝杆转轴11螺纹连接,所述沥板12上开设有滤孔13,所述清洗筒3的上端开设有连通湿法去胶室8的下料口301;位于清洗筒3的外侧机体1内设置有抽水泵16,循环水管15连接抽本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于晶硅废料回收的去胶装置,包括弧形上盖(2),所述上盖(2)下端设置有机体(1),其特征在于,所述机体(1)内设置有清洗筒(3)和第二安装架(20),将机体(1)分隔为净化室(7)、湿法去胶室(8)以及燃烧去胶室(9),所述的湿法去胶室(8)内设置有去胶液,燃烧去胶室(9)的底部设置有燃烧器(39);所述机体(1)的上端设置有第一安装架(4),所述第一安装架(4)内设置有电机(5),所述电机(5)的丝杆转轴(11)穿过机体(1)伸入清洗筒(3)内与清洗筒(3)轴承连接,所述丝杆转轴(11)上设置有与向湿法去胶室(8)相倾斜的沥板(12),所述沥板(12)与丝杆转轴(11)螺纹连接,所述沥板(12)上开设有滤孔(13),所述清洗筒(3)的上端开设有连通湿法去胶室(8)的下料口(301);位于清洗筒(3)的外侧机体(1)内设置有抽水泵(16),循环水管(15)连接抽水泵(16),一端伸入净化室(7),另一端与清洗筒(3)的底部连通;所述净化室(7)内设置有与水平面倾斜的净化室底板(17),所述循环水管(15)口位于净化室底板(17)的上端,所述上盖(2)上插入有过滤柄杆(6),所述过滤柄杆(6)由柄头(601)、柄杆(602)、柄杆架(603)组成,所述柄杆架(603)内设置有滤网(6030),所述过滤柄杆(6)伸入机体(1)内,其柄杆架(603)与滤网(6030)所形成的槽口(6031)正对循环水管(15)口。...

【技术特征摘要】
1.一种用于晶硅废料回收的去胶装置,包括弧形上盖(2),所述上盖(2)下端设置有机体(1),其特征在于,所述机体(1)内设置有清洗筒(3)和第二安装架(20),将机体(1)分隔为净化室(7)、湿法去胶室(8)以及燃烧去胶室(9),所述的湿法去胶室(8)内设置有去胶液,燃烧去胶室(9)的底部设置有燃烧器(39);所述机体(1)的上端设置有第一安装架(4),所述第一安装架(4)内设置有电机(5),所述电机(5)的丝杆转轴(11)穿过机体(1)伸入清洗筒(3)内与清洗筒(3)轴承连接,所述丝杆转轴(11)上设置有与向湿法去胶室(8)相倾斜的沥板(12),所述沥板(12)与丝杆转轴(11)螺纹连接,所述沥板(12)上开设有滤孔(13),所述清洗筒(3)的上端开设有连通湿法去胶室(8)的下料口(301);位于清洗筒(3)的外侧机体(1)内设置有抽水泵(16),循环水管(15)连接抽水泵(16),一端伸入净化室(7),另一端与清洗筒(3)的底部连通;所述净化室(7)内设置有与水平面倾斜的净化室底板(17),所述循环水管(15)口位于净化室底板(17)的上端,所述上盖(2)上插入有过滤柄杆(6),所述过滤柄杆(6)由柄头(601)、柄杆(602)、柄杆架(603)组成,所述柄杆架(603)内设置有滤网(6030),所述过滤柄杆(6)伸入机体(1)内,其柄杆架(603)与滤网(6030)所形成的槽口(6031)正对循环水管(15)口。2.根据权利要求1所述的一种用于晶硅废料回收的去胶装置,其特征在于,所述清洗筒(3)内设置有限位块(14)。3.根据权利要求1所述的一种用于晶硅废料回收的去胶装置,其特征在于,所述第一安装架(4)上设置有旋转气缸(19),所述旋转气缸(19)的活塞转杆(21)上安装有锥形滚筒(23)、引料锥筒(26)以及翻料板(28),所述锥形滚筒(23)和引料锥筒(26)位于湿法去胶室(8)内,翻料板(28)位于燃烧去胶室(9)内,所述锥形滚筒(23)的筒身上设置有多个滤水孔(230)和卷料折板(25),所述的引料锥筒(26)上开设有多个用于衔接物料从卷料折板(25)处掉落的引料槽(260),所述的清洗筒(3)为方形...

【专利技术属性】
技术研发人员:邓君孙振忠李川陈海彬
申请(专利权)人:东莞理工学院
类型:新型
国别省市:广东,44

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