The utility model discloses a degumming device for reclaiming crystal silicon waste, which comprises an arc top cover, a body, a cleaning cylinder and a second mounting frame arranged in the body, and divides the body into a purification chamber, a wet degumming chamber and a combustion degumming chamber. The degumming liquid is arranged in the wet degumming chamber, and a burner is arranged at the bottom of the combustion degumming chamber. A degumming device for reclaiming crystal silicon waste is provided. The device can prevent dust from polluting the degumming solution by washing, and ensure its degumming efficiency by drying and burning in order to prevent the poor degumming quality of the solution. The dust waste liquid can meet the requirements of recycling use through purification.
【技术实现步骤摘要】
一种用于晶硅废料回收的去胶装置
本专利技术属于晶硅废料的回收领域,具体为一种用于晶硅废料回收的去胶装置。
技术介绍
人类进入21世纪后,随着半导体工业的快速发展,高纯晶体硅材料得到了广泛应用,在制成芯片过程中,经常会由于质量不合格,或切割过程中产生晶硅废料,如果能将这些废料综合回收利用,将会减少环境污染,提高能源的利用率,对缓解我国单晶硅和多晶硅的紧缺,减少进口有重大意义。单晶废料和多晶废料与其他原料有区别,废料上具有残留的UV胶水和粘胶条,若不完全去除将导致多晶硅锭纯度不达标等问题,目前现有的对晶硅废料在去胶技术中,其去胶质量还远远达不到要求,导致这种低纯度硅无法制取半导体材料,只能用于配制成一些特殊性能的合金,其价值远远降低。
技术实现思路
本专利技术的目的是针对以上问题,提供一种用于晶硅废料回收的去胶装置,该装置通过水洗,防止灰尘对去胶液的造成污染,为防止溶液去胶质量不佳,通过烘干、燃烧,保证其去胶效率;灰尘的废液通过净化达到循环使用要求。为实现以上目的,本专利技术采用的技术方案是:一种用于晶硅废料回收的去胶装置,包括弧形上盖,所述上盖下端设置有机体,其特征在于,所述机体内设置有清洗筒和第二安装架,将机体分隔为净化室、湿法去胶室以及燃烧去胶室,所述的湿法去胶室内设置有去胶液,燃烧去胶室的底部设置有燃烧器;所述机体的上端设置有第一安装架,所述第一安装架内设置有电机,所述电机的丝杆转轴穿过机体伸入清洗筒内与清洗筒轴承连接,所述丝杆转轴上设置有与向湿法去胶室相倾斜的沥板,所述沥板与丝杆转轴螺纹连接,所述沥板上开设有滤孔,所述清洗筒的上端开设有连通湿法去胶室的下 ...
【技术保护点】
1.一种用于晶硅废料回收的去胶装置,包括弧形上盖(2),所述上盖(2)下端设置有机体(1),其特征在于,所述机体(1)内设置有清洗筒(3)和第二安装架(20),将机体(1)分隔为净化室(7)、湿法去胶室(8)以及燃烧去胶室(9),所述的湿法去胶室(8)内设置有去胶液,燃烧去胶室(9)的底部设置有燃烧器(39);所述机体(1)的上端设置有第一安装架(4),所述第一安装架(4)内设置有电机(5),所述电机(5)的丝杆转轴(11)穿过机体(1)伸入清洗筒(3)内与清洗筒(3)轴承连接,所述丝杆转轴(11)上设置有与向湿法去胶室(8)相倾斜的沥板(12),所述沥板(12)与丝杆转轴(11)螺纹连接,所述沥板(12)上开设有滤孔(13),所述清洗筒(3)的上端开设有连通湿法去胶室(8)的下料口(301);位于清洗筒(3)的外侧机体(1)内设置有抽水泵(16),循环水管(15)连接抽水泵(16),一端伸入净化室(7),另一端与清洗筒(3)的底部连通;所述净化室(7)内设置有与水平面倾斜的净化室底板(17),所述循环水管(15)口位于净化室底板(17)的上端,所述上盖(2)上插入有过滤柄杆(6),所 ...
【技术特征摘要】
1.一种用于晶硅废料回收的去胶装置,包括弧形上盖(2),所述上盖(2)下端设置有机体(1),其特征在于,所述机体(1)内设置有清洗筒(3)和第二安装架(20),将机体(1)分隔为净化室(7)、湿法去胶室(8)以及燃烧去胶室(9),所述的湿法去胶室(8)内设置有去胶液,燃烧去胶室(9)的底部设置有燃烧器(39);所述机体(1)的上端设置有第一安装架(4),所述第一安装架(4)内设置有电机(5),所述电机(5)的丝杆转轴(11)穿过机体(1)伸入清洗筒(3)内与清洗筒(3)轴承连接,所述丝杆转轴(11)上设置有与向湿法去胶室(8)相倾斜的沥板(12),所述沥板(12)与丝杆转轴(11)螺纹连接,所述沥板(12)上开设有滤孔(13),所述清洗筒(3)的上端开设有连通湿法去胶室(8)的下料口(301);位于清洗筒(3)的外侧机体(1)内设置有抽水泵(16),循环水管(15)连接抽水泵(16),一端伸入净化室(7),另一端与清洗筒(3)的底部连通;所述净化室(7)内设置有与水平面倾斜的净化室底板(17),所述循环水管(15)口位于净化室底板(17)的上端,所述上盖(2)上插入有过滤柄杆(6),所述过滤柄杆(6)由柄头(601)、柄杆(602)、柄杆架(603)组成,所述柄杆架(603)内设置有滤网(6030),所述过滤柄杆(6)伸入机体(1)内,其柄杆架(603)与滤网(6030)所形成的槽口(6031)正对循环水管(15)口。2.根据权利要求1所述的一种用于晶硅废料回收的去胶装置,其特征在于,所述清洗筒(3)内设置有限位块(14)。3.根据权利要求1所述的一种用于晶硅废料回收的去胶装置,其特征在于,所述第一安装架(4)上设置有旋转气缸(19),所述旋转气缸(19)的活塞转杆(21)上安装有锥形滚筒(23)、引料锥筒(26)以及翻料板(28),所述锥形滚筒(23)和引料锥筒(26)位于湿法去胶室(8)内,翻料板(28)位于燃烧去胶室(9)内,所述锥形滚筒(23)的筒身上设置有多个滤水孔(230)和卷料折板(25),所述的引料锥筒(26)上开设有多个用于衔接物料从卷料折板(25)处掉落的引料槽(260),所述的清洗筒(3)为方形...
【专利技术属性】
技术研发人员:邓君,孙振忠,李川,陈海彬,
申请(专利权)人:东莞理工学院,
类型:新型
国别省市:广东,44
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