一种三轴机械手制造技术

本实用新型专利技术公开了一种三轴机械手，包括X轴机构、Y轴机构、Z轴机构、升降气缸和工装夹具；所述Y轴机构通过X轴滑座固定在X轴机构上，Z轴机构通过Y轴滑座垂直固定在Y轴机构上；Z轴机构下设有升降气缸和工装夹具，工装夹具上安装有物料、防撞传感器；通过PLC控制系统内的电气控制系统控制三轴机械手的各个机构运作，当抓取过程中出现错误，物料、防撞传感器会发送信息给PLC控制系统内的电气控制系统，停止各机构运行，并发出警报。本实用新型专利技术通过在插片清洗设备内设置三个轴独立的驱动装置，并在Z轴上安装特定的工装夹具，抓取插片机内的硅片花篮，实现其在插片机与清洗设备之间的快速交换。

A Three-Axis Manipulator

The utility model discloses a three-axis manipulator, which comprises an X-axis mechanism, a Y-axis mechanism, a Z-axis mechanism, a lifting cylinder and a fixture; the Y-axis mechanism is fixed on the X-axis mechanism through an X-axis sliding seat, and the Z-axis mechanism is vertically fixed on the Y-axis mechanism through a Y-axis sliding seat; the Z-axis mechanism consists of a lifting cylinder and a fixture, and the fixture is equipped with material and anti-collision sensors, which are controlled by PLC. The electrical control system in the system controls the operation of each mechanism of the three-axis manipulator. When there are errors in the grasping process, materials and anti-collision sensors will send information to the electrical control system in the PLC control system, stop the operation of each mechanism, and send out alarms. The utility model realizes the rapid exchange between the insertion machine and the cleaning equipment by installing three independent driving devices on the insertion cleaning equipment, and installing special fixtures on the Z axis to grasp the silicon flower basket in the insertion machine.

【技术实现步骤摘要】
一种三轴机械手
本技术涉及机械手臂，具体涉及半导体硅片插片清洗一体机机用的内置硅片承载器搬运机械手，属于机械臂的

技术介绍
目前，随着全自动高速插片机和清洗设备的不断升级，插片机中的硅片承载器(以下简称“花篮”)的搬运工作，通常是人工搬运硅片承载，严重影响了整个生产效率的提高，
技术实现思路
本技术的目的是提供一种解决插片机与清洗设备之间的花篮搬运问题，实现花篮在插片机与清洗设备之间的快速交换，并且中间无需人工搬运的全自动机械手装置。为了解决上述技术问题，本技术的技术方案是提供了一种三轴机械手，包括X轴机构、Y轴机构、Z轴机构、升降气缸和工装夹具；所述X轴机构包括X轴引拔臂，所述X轴引拔臂的一端设有X轴电机；所述X轴引拔臂上设有X轴线性滑轨，所述X轴滑座通过X轴带轮可移动的设在X轴线性滑轨上，通过X轴带轮，X轴滑座可在X轴引拔臂上的X轴线性滑轨内移动；所述Y轴机构包括Y轴引拔臂，所述Y轴引拔臂的一端设有Y轴电机；所述Y轴引拔臂上设有Y轴线性滑轨，所述Y轴滑座通过Y轴带轮可移动的设在Y轴线性滑轨上，通过Y轴带轮，Y轴滑座可在Y轴引拔臂上的Y轴线性滑轨内移动；所述Y轴机构通过X轴滑本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种三轴机械手，其特征在于，包括X轴机构(10)、Y轴机构(11)、Z轴机构(12)、升降气缸(6)和工装夹具(7)；所述X轴机构(10)包括X轴引拔臂(10‑1)，所述X轴引拔臂(10‑1)的一端设有X轴电机(10‑2)；所述X轴引拔臂(10‑1)上设有X轴线性滑轨(10‑3)，所述X轴滑座(3)通过X轴带轮(10‑4)可移动的设在X轴线性滑轨(10‑3)上，通过X轴带轮(10‑4)，X轴滑座(3)可在X轴引拔臂(10‑1)上的X轴线性滑轨(10‑3)内移动；所述Y轴机构(11)包括Y轴引拔臂(11‑1)，所述Y轴引拔臂(11‑1)的一端设有Y轴电机(11‑2)；所述Y轴引拔臂(11‑1...

【技术特征摘要】
1.一种三轴机械手，其特征在于，包括X轴机构(10)、Y轴机构(11)、Z轴机构(12)、升降气缸(6)和工装夹具(7)；所述X轴机构(10)包括X轴引拔臂(10-1)，所述X轴引拔臂(10-1)的一端设有X轴电机(10-2)；所述X轴引拔臂(10-1)上设有X轴线性滑轨(10-3)，所述X轴滑座(3)通过X轴带轮(10-4)可移动的设在X轴线性滑轨(10-3)上，通过X轴带轮(10-4)，X轴滑座(3)可在X轴引拔臂(10-1)上的X轴线性滑轨(10-3)内移动；所述Y轴机构(11)包括Y轴引拔臂(11-1)，所述Y轴引拔臂(11-1)的一端设有Y轴电机(11-2)；所述Y轴引拔臂(11-1)上设有Y轴线性滑轨(11-3)，所述Y轴滑座(5)通过Y轴带轮(11-4)可移动的设在Y轴线性滑轨(11-3)上，通过Y轴带轮(11-4)，Y轴滑座(5)可在Y轴引拔臂(11-1)上的Y轴线性滑轨(11-3)内移动；所述Y轴机构(11)通过X轴滑座(3)固定在X轴机构(10)上，所述Y轴机构(11)与X轴机构(10)在水平面上相互垂直；Y轴机构(11)通过X轴滑座(3)下的X轴带轮(10-4)在X轴机构(10)的X轴线性滑轨(10-3)内移动；所述Z轴机构(12...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡宏锋，
申请(专利权)人：上海釜川自动化设备有限公司，
类型：新型
国别省市：上海,31