【技术实现步骤摘要】
走道结构以及安装走道结构的方法
本专利技术的示例实施例涉及一种走道结构和一种安装走道的方法。更特别地说，本专利技术的示例实施例涉及一种用于使操作员沿其移动以维护吊运装置运输工具(在下方中被称为“OHT”)的走道以及一种安装走道结构的方法。
技术介绍
通常，OHT装置是沿设置用于半导体制造设备的半导体制造设施的空间的顶板设置的。为了维护OHT装置，可能需要操作员利用的走道结构以达到该空间的顶板。当半导体设备不位于OHT装置下方时，升降机工具，诸如电梯能够被用于将走道结构安装在与OHT装置相邻处的顶板上。然而，当按Z字形方式布置多个半导体制造设备时或当半导体制造设备位于OHT装置的下方时，由于不能使用升降机工具，因此难于安装走道结构。
技术实现思路
本专利技术的示例实施例提供了一种走道结构，其能够被安装在顶板上且位于半导体制造设备的上方。本专利技术的示例实施例提供了一种将走道安装在顶板上和在半导体制造设备的上方的方法。根据本专利技术的一个方面，提供了一种走道结构。一种走道结构包括导轨，其被固定至顶板且与上面有车辆行驶的走行轨相邻；以及走道，其被配置成可沿导轨移动以向维护所...
【技术保护点】
1.一种走道结构，其包括：导轨，其被固定至顶板且与上面有车辆行驶的走行轨相邻；以及走道，其被配置成可沿所述导轨移动以向维护所述车辆和所述走行轨的操作员提供通路。
【技术特征摘要】
2017.10.23 KR 10-2017-01372851.一种走道结构，其包括：导轨，其被固定至顶板且与上面有车辆行驶的走行轨相邻；以及走道，其被配置成可沿所述导轨移动以向维护所述车辆和所述走行轨的操作员提供通路。2.根据权利要求1所述的走道结构，其中所述走道包括：底部，其支撑所述操作员以使所述操作员移动；延伸部，其从所述底部的两侧端向上延伸；以及移动部，其被设置在所述延伸部的上端以被配置成与所述导轨相接触地沿所述导轨移动。3.根据权利要求1所述的走道结构，其还包括多个固定构件，其包括被固定至所述走道的下端和被固定至顶板的上端，以在确定所述走道相对于所述导轨的位置时分别防止所述走道移动。4.一种安装走道的方法，其包括：在顶板上且在与上面有车辆行驶的走行轨相邻处安装基础导轨；在所...
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