显示面板用基板的制造方法技术

提供一种显示面板用基板的制造方法，能削减工序数。其特征在于，具备：透明导电膜形成工序，在覆盖设置于玻璃基板(31)的TFT(32)的平坦化膜(47)上形成透明导电膜(51)；金属膜形成工序，在透明导电膜形成工序之后进行，以覆盖透明导电膜(51)的形式形成金属膜(52)；配线形成工序，在金属膜形成工序之后进行，通过对金属膜(52)进行蚀刻而形成配线(50)；以及透明电极形成工序，在配线形成工序之后进行，通过对透明导电膜(51)进行蚀刻而形成与配线(50)连接的像素电极(33)。

Manufacturing Method of Substrate for Display Panel

The invention provides a manufacturing method of a base plate for a display panel, which can reduce the number of working procedures. The characteristics are as follows: transparent conductive film forming process, transparent conductive film forming process on flat film (47) covered with TFT (32) set on glass substrate (31); metal film forming process, after the transparent conductive film forming process, metal film forming process in the form of covering transparent conductive film (51); wiring forming process, after the metal film forming process, through. The metal film (52) is etched to form a wiring (50); and the transparent electrode forming process is carried out after the wiring forming process, and the pixel electrode (33) connected to the wiring (50) is formed by etching the transparent conductive film (51).

【技术实现步骤摘要】
显示面板用基板的制造方法
本专利技术涉及显示面板用基板的制造方法。
技术介绍
以往，作为具备触摸面板功能的显示面板的一例，已知下述专利文献1所记载的显示面板。专利文献1所记载的显示面板构成为，包括透明导电膜的共用电极与传导性线(配线)被电连接，来自驱动器的触摸驱动信号经由传导性线供应到共用电极。由此，能使共用电极作为触摸电极发挥功能。现有技术文献专利文献专利文献1：特开2016-126336号公报
技术实现思路
专利技术要解决的问题在制造上述构成的显示面板用基板时，需要在玻璃基板等基板上形成多个膜，需要较多的制造工序。因此，希望削减工序数。本专利技术是基于上述的情况而完成的，其目的在于提供能削减工序数的显示面板用基板的制造方法。用于解决问题的方案为了解决上述问题，本专利技术的显示面板用基板的制造方法的特征在于，具备：透明导电膜形成工序，在覆盖设置于基板的开关元件的平坦化膜上形成透明导电膜；金属膜形成工序，在上述透明导电膜形成工序之后进行，以覆盖上述透明导电膜的形式形成金属膜；配线形成工序，在上述金属膜形成工序之后进行，通过对上述金属膜进行蚀刻而形成配线；以及透明电极形成工序，在上述配线形成工序之后进行，通过对上述透明导电膜进行蚀刻而形成与上述配线连接的透明电极。在上述方法中，通过使包括透明导电膜的透明电极介于配线(金属膜)与平坦化膜之间，从而与在平坦化膜上直接形成配线的情况相比，能提高配线的紧贴性。如果按平坦化膜、透明导电膜、配线、透明电极的顺序进行层叠，则需要分别具备在配线与平坦化膜之间形成透明导电膜的工序和形成用于构成透明电极的透明电极膜的工序。与之相比，在上述方法中，由于按平坦化膜、透明电极、配线的顺序进行层叠，因此能进一步减少形成透明电极膜的工序。另外，如果设为按平坦化膜、配线、透明电极的顺序进行层叠的构成，则在配线的形成部位，透明电极会以越过配线的形式配置，产生配线的厚度的量的台阶。其结果是，透明电极有可能在台阶部中部分地间断。通过如上述方法那样按平坦化膜、透明电极、配线的顺序进行层叠，能抑制在透明电极中产生台阶，能抑制透明电极部分地间断的情况。专利技术效果根据本专利技术，能实现提供能削减工序数的显示面板用基板的制造方法的目的。附图说明图1是将本专利技术的实施方式1的液晶显示装置按沿着长边方向(Y轴方向)的切断线切断的截面图。图2是示出阵列基板的截面图。图3是示出阵列基板的俯视图。图4是示出金属膜形成工序的截面图。图5是示出在金属膜的上层形成了抗蚀剂的状态的截面图。图6是示出通过蚀刻形成了配线的状态的截面图。图7是示出在配线的上层形成了抗蚀剂的状态的截面图。图8是示出比较例的截面图。图9是示出在比较例中共用电极发生了断线的状态的截面图。图10是示出实施方式2的阵列基板的截面图。附图标记说明11…液晶面板(显示面板)，31…玻璃基板(基板)，32…TFT(开关元件)，33…像素电极(透明电极)，36…漏极电极，39…共用电极，40…绝缘膜，45…接触孔，47…平坦化膜，50…配线，51…透明导电膜，52…金属膜，53…抗蚀剂。具体实施方式＜实施方式1＞根据图1至图9说明本专利技术的实施方式1。如图1所示，液晶显示装置10具备：液晶面板11(显示面板)；控制电路基板12(外部的信号供应源)，其对液晶面板11所具备的驱动器17供应各种输入信号；柔性基板13(外部连接部件)，其将液晶面板11和外部的控制电路基板12电连接；以及背光源装置14(照明装置)，其是向液晶面板11供应光的外部光源。如图1所示，背光源装置14具备：底座18，其呈朝向表侧(液晶面板11侧)开口的大致箱形；未图示的光源(例如冷阴极管、LED、有机EL等)，其配置在底座18内；以及未图示的光学构件，其以覆盖底座18的开口部的形式配置。光学构件具有将从光源发出的光转换为面状等功能。液晶面板11具有能显示图像的显示区域A1和包围显示区域A1的非显示区域A2。另外，如图1所示，液晶显示装置10具备用于收纳液晶面板11和背光源装置14的表里一对外装构件15、16，在表侧的外装构件15，形成有用于从外部视认显示于液晶面板11的显示区域A1的图像的开口部19。本实施方式的液晶显示装置10例如用于便携电话(包含智能手机等)、笔记本电脑(包含平板型笔记本电脑等)、可穿戴终端(包含智能手表等)、便携型信息终端(包含电子书、PDA等)、便携型游戏机、数码相框等各种电子设备(未图示)。如图1所示，液晶面板11具备：一对基板21、30，其配置为相对状；液晶层23(介质层)，其配置在一对基板21、30间，包含作为伴随着电场的施加而光学特性发生变化的物质的液晶分子；以及密封构件24，其配置在一对基板21、30之间并且通过包围液晶层23而密封液晶层23。一对基板21、30中的表侧(正面侧、图1的上侧)的基板为CF基板21(相对基板)，里侧(背面侧)的基板为阵列基板30(有源矩阵基板、元件侧基板)。此外，液晶层23所包含的液晶分子例如为水平取向，但是不限于此。另外，在两基板21、30的外面侧，分别贴附有未图示的偏振板。CF基板21是通过在玻璃基板(未图示)的内面侧(液晶层23侧)层叠彩色滤光片、覆膜、取向膜(均未图示)而构成的。彩色滤光片具备排列为矩阵状的R(红色)、G(绿色)、B(蓝色)这三色的着色部(未图示)。各着色部与阵列基板30的各像素相对配置。如图2所示，阵列基板30是通过光刻法在玻璃基板31(基板)的内面侧层叠形成各种膜而成的。另外，在玻璃基板31的一边(非显示区域A2的一部分)，设置有驱动液晶面板11的驱动器17(面板驱动部)(参照图1)。在显示区域A1中，在玻璃基板31的内面侧(液晶层23侧、图2的上侧)设置有作为开关元件的TFT32(ThinFilmTransistor(薄膜晶体管)：显示元件)和像素电极33。如图3所示，多个像素电极33在显示区域A1中排列为矩阵状(行列状)。此外，在图3中示出的像素电极33的个数比实际少。TFT32与像素电极33相比设置在下层，多个TFT32在显示区域A1中排列为矩阵状(行列状)，各TFT32分别连接到各像素电极33。TFT32具有栅极电极34、源极电极35、漏极电极36以及沟道部37。沟道部37以与栅极电极34重叠的形式配置，在沟道部37与栅极电极34之间隔着栅极绝缘膜38。沟道部37以将源极电极35和漏极电极36相连的形式配置。在沟道部37、源极电极35以及漏极电极36的上层，层叠有绝缘膜46和平坦化膜47，像素电极33形成在平坦化膜47上。漏极电极36连接着漏极配线41，漏极配线41经由形成于平坦化膜47的接触孔45和形成于绝缘膜46的接触孔48与像素电极33(透明电极)电连接。平坦化膜47(有机绝缘膜)例如包括丙烯酸树脂(例如PMMA)等有机材料，具有比其它绝缘膜38、46、40大的膜厚。栅极电极34、源极电极35以及漏极电极36例如包括钛(Ti)和铜(Cu)的层叠膜，但是不限于此。另外，在TFT32和像素电极33的周围，以呈格子状的形式配置有栅极配线和源极配线(未图示)。栅极电极34与栅极配线连接，源极电极35与源极配线连接。TFT32基于从驱动器17分别供应到栅极配线和源极配线的各种信号而被驱动，伴随着其驱动，电位向像素本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种显示面板用基板的制造方法，其特征在于，具备：透明导电膜形成工序，在覆盖设置于基板的开关元件的平坦化膜上形成透明导电膜；金属膜形成工序，在上述透明导电膜形成工序之后进行，以覆盖上述透明导电膜的形式形成金属膜；配线形成工序，在上述金属膜形成工序之后进行，通过对上述金属膜进行蚀刻而形成配线；以及透明电极形成工序，在上述配线形成工序之后进行，通过对上述透明导电膜进行蚀刻而形成与上述配线连接的透明电极。

【技术特征摘要】
2017.10.18 JP 2017-2017991.一种显示面板用基板的制造方法，其特征在于，具备：透明导电膜形成工序，在覆盖设置于基板的开关元件的平坦化膜上形成透明导电膜；金属膜形成工序，在上述透明导电膜形成工序之后进行，以覆盖上述透明导电膜的形式形成金属膜；配线形成工序，在上述金属膜形成工序之后进行，通过对上述金属膜进行蚀刻而形成配线；以及透明电极形成工序，在上述配线形成工序之后进行，通过对上述透明导电膜进行蚀刻而形成与上述配线连接的透明电极。2.根据权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员：伊藤俊克，大东彻，今井元，前田昌纪，北川英树，原义仁，川崎达也，
申请(专利权)人：夏普株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP