The invention provides a pressure sensor with a plurality of electrodes arranged in a gap between each other, which enlarges the range of pressure measurement that can be correctly measured. The pressure sensor (1) has a common electrode (9), a plurality of independent electrodes (31), a plurality of thin film transistors (33) and a pressure sensitive layer (11). The common electrode (9) is formed by expanding on one surface. A plurality of independent electrodes (31) and a common electrode (9) are arranged in a matrix form opposite to each other. A plurality of thin film transistors (30) and a plurality of independent electrodes (31) are correspondingly arranged on the opposite side of the common electrodes (9) of the plurality of independent electrodes (31), and one or more adjacent thin film transistors (30) are connected with an independent electrode (31). The pressure sensitive layer (11) is stacked on the surface of a plurality of independent electrodes (31) sides of the common electrode (9). A plurality of independent electrodes (31) comprise a first electrode (31X) and a second electrode (31Y), which is thicker than the first electrode (31X) and therefore has a shorter gap with the varistor layer (11) than the first electrode (31X).
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】压力传感器
本专利技术涉及一种压力传感器，尤其涉及一种具有压敏层和作为电极的多个薄膜晶体管的压力传感器。
技术介绍
作为压力传感器，已知有在压敏树脂中组合多个薄膜晶体管的压力传感器(例如，参照专利文献1)。压敏树脂是将导电性颗粒分散在硅橡胶等绝缘树脂内的树脂。在压敏树脂中，当施加压力时，在绝缘树脂内导电性颗粒彼此接触，从而电阻值降低。由此，能够检测施加于压敏树脂的压力。多个薄膜晶体管配置成矩阵状，作为电极发挥功能。在这种情况下，能够实现压力检测的高速化、低耗电化。现有技术文献专利文献专利文献1：日本专利特开2016-4940号公报另外，还已知有压敏层与多个电极隔开规定的间隙而对向配置的压力传感器。通常地，压力传感器存在压敏层的压力测定范围窄的问题。具体而言，在压力-电阻特性中，在压力较低的范围内，电阻的变化比例较大，但在压力较高的范围内，电阻的变化比例较小。其原因是，即使压力变高，压敏层与电极的接触面积也不会从中途变大，即，接触电阻不会追随压力。其结果，在压力较大的范围内，由于灵敏度不足而无法正确地测定压力。
技术实现思路
本专利技术的目的在于，在具有相互隔开间隙地配...
【技术保护点】
1.一种压力传感器，其特征在于，具备：公共电极，所述公共电极在一个面上扩展而形成；多个独立电极，所述多个独立电极与所述公共电极对向地设置成矩阵状；多个薄膜晶体管，所述多个薄膜晶体管与所述多个独立电极对应地设置在所述多个独立电极的与所述公共电极相反的一侧，一个或者相邻的两个以上的所述薄膜晶体管与一个独立电极连接；以及公共压敏层，所述公共压敏层被层叠于所述公共电极的所述多个独立电极侧的面，所述多个独立电极包括第一电极和第二电极，所述第二电极比所述第一电极厚因而与所述公共压敏层的间隙比所述第一电极短。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.09.16 JP 2016-1823471.一种压力传感器，其特征在于，具备：公共电极，所述公共电极在一个面上扩展而形成；多个独立电极，所述多个独立电极与所述公共电极对向地设置成矩阵状；多个薄膜晶体管，所述多个薄膜晶体管与所述多个独立电极对应地设置在所述多个独立电极的与所述公共电极相反的一侧，一个或者相邻的两个以上的所述薄膜晶体管与一个独立电极连接；以及公共压敏层，所述公共压敏层被层叠于所述公共电极的所述多个独立电极侧的面，所述多个独立电极包括第一电极和第二电极，所述第二电极比所述第一电极厚因而与所述公共压敏层的间隙比所述第一电极短。2.根据权利要求1所述的压力传感器，其特征在于，所述压力传感器具有按压区域，在所述按压区域中，在任意的按压部位所述第一电极和所述第二电极都是以包含在最低限按压面积内的方式排列。3.根据权利要求1或2所述的压力传感器，其特征在于，还具备间隔件，所述间隔件形成于所述公共电极的所述多个独立电极侧的面，并且与所述多个独立电极对向。4.根据权利要求1或2所述的压力传感器，其特征在于，还具备间隔件，所述间隔件形成于所述多个独立电极的所述公共电极侧的面，并且与所述公共电极对向。5.一种压力传感器，其特征在于，具备：公共电极，所述公共电极在一个面上扩展而形成；多个独立电极，所述多个独立电极与所述公共电极对向地设置成矩阵状；多个薄膜晶体管，所述多个薄膜晶体管与所述多个独立电极对应地设置在所述多个独立电极的与所述公共电极相反的一侧，一个或者相邻的两个以上的所述薄膜晶体管与一个独立电极连接；第一独立压敏层，所述第一独立压敏层被层叠于所述多个独立电极中的第一电极的所述公共电极侧的面；以及第二独立压敏层，所述第二独立压敏层被层叠于所述多个独立电极中的第二电极的所述公共电极侧的面，所述第二独立压敏层与所述公共电极之间的间隙比所述第一独立压敏层与所述公共电极的间隙短。6.根据权利要求5所述的压力传感器，其特征在于，所述第二电极的厚度大于所述第一电极的厚度。7.根据权利要求5所述的压力传感器，其特征在于，所述第二独立压敏层的厚度大于所述第一独立压敏层的厚度。8.根据权利要求5至7中任一项所述的压力传感器，其特征在于，所述压力传感...
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