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下载压力传感器的技术资料

文档序号:20985730

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本发明提供一种具有相互隔开间隙地配置的多个电极的压力传感器,其扩大了能够正确地测定的压力测定范围。压力传感器(1)具备公共电极(9)、多个独立电极(31)、多个薄膜晶体管(33)和压敏层(11)。公共电极(9)在一个面上扩展而形成。多个独立...
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