An automatic acid exchange device includes a controller, an image recognition module, a manipulator arm and a transfer module. The image recognition module, the manipulator arm and the transfer module connect the controller with the signal transmission line. When the image recognition module identifies the position and form of the first sealing cover of the chemical storage bucket, the controller controls the manipulator arm, moves the transfer module to the position of the first sealing cover of the chemical storage bucket, and couples the transfer module with the first sealing cover to facilitate the replacement of the chemical storage bucket.
【技术实现步骤摘要】
自动换酸装置
本新型是有关于一种换酸装置。特别是有关于一种自动换酸装置。
技术介绍
随着近年来国内外半导体市场因电脑及其周边产品材料的需求而蓬勃发展，半导体产业亦不断的持续扩展，更替国家创造了大量的外汇收入。半导体元件的制作流程非常复杂，所涉及的技术几乎含盖所有人类近代科学发展上最重要且关键的科技与专利技术。因此，半导体元件的生产不但是一项尖端科技的产业，也是一项需要庞大资金，以维持发展的需求。然而，由于半导体元件的设计日趋复杂，因此半导体元件制造技术愈趋精密与复杂化，所潜在的职业危害与财产损失也愈来愈复杂，举凡半导体制造过程中的磊晶、扩散、离子植入、化学气相沉积、蚀刻和微影等制造过程单元所常使用的化学品，虽然储存量与使用量皆远小于化学或石化工业所处理与使用量，但是由于具有着火性、可燃性、毒性、腐蚀性等特性，一旦发生泄漏或操作异常，亦造成人员伤亡，甚至可能造成重大财产损失。在半导体工厂，化学溶液以化学储存桶储存，使用时接上工厂中的供应线路。当化学溶液使用完毕，则需进行化学储存桶的更换。如何能方便地进行化学储存桶的更换，将有助于提升半导体厂工作的安全性，更有助于提升...
【技术保护点】
1.一种自动换酸装置，其特征在于，包含：控制器；影像识别模组，连接于该控制器；机械手臂，连接于该控制器；以及转接模组，连接于该控制器，其中，当该影像识别模组辨识化学储存桶的第一密封盖的位置与形式后，该控制器控制该机械手臂，移动该转接模组至该化学储存桶的该第一密封盖的位置，并使该转接模组与该第一密封盖耦合。
【技术特征摘要】
1.一种自动换酸装置，其特征在于，包含：控制器；影像识别模组，连接于该控制器；机械手臂，连接于该控制器；以及转接模组，连接于该控制器，其中，当该影像识别模组辨识化学储存桶的第一密封盖的位置与形式后，该控制器控制该机械手臂，移动该转接模组至该化学储存桶的该第一密封盖的位置，并使该转接模组与该第一密封盖耦合。2.根据权利要求1所述的自动换酸装置，其特征在于：其中该转接模组包含第一开盖器，具有三角形的旋转接头。3.根据权利要求2所述的自动换酸装置，其特征在于：其中该转接模组包含第二开盖器，具有四角形的旋转接头。4.根据权利要求3所述的自动换酸装置，其特征在于：其中该转接模组包含第三开盖器，具有十...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈炳旭，鲁建国，彭啟元，叶啟达，张绍赐，
申请(专利权)人：帆宣系统科技股份有限公司，张绍赐，
类型：新型
国别省市：中国台湾,71
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