激光刻蚀电化学微增材换热功能表面的制备装置及方法制造方法及图纸

激光刻蚀电化学微增材换热功能表面的制备装置及方法，属于电化学沉积制造技术领域，包括隔振平台、XY向滑台系统、Z向滑台系统、原子力悬臂阳极探头系统、纳米流体供给系统、纳秒激光辐照刻蚀系统、电解质溶液供给系统、电化学池、中央控制单元以及恒电位电源。本发明专利技术采用两步加工方案，第一步为电化学微增材制造三维亚微米级表面纹理，第二步为在亚微米级表面织构的前提下对其表面进行激光刻蚀，形成纳米级表面织构，最终获得具有高效率换热功能表面；利用这两种技术同时参与功能表面制备中，对于制造大体积空气容腔的功能表面具有显著优势。

Fabrication Device and Method of Heat Exchange Functional Surface of Laser Etching Electrochemical Micro-additives

\u6fc0\u5149\u523b\u8680\u7535\u5316\u5b66\u5fae\u589e\u6750\u6362\u70ed\u529f\u80fd\u8868\u9762\u7684\u5236\u5907\u88c5\u7f6e\u53ca\u65b9\u6cd5\uff0c\u5c5e\u4e8e\u7535\u5316\u5b66\u6c89\u79ef\u5236\u9020\u6280\u672f\u9886\u57df\uff0c\u5305\u62ec\u9694\u632f\u5e73\u53f0\u3001XY\u5411\u6ed1\u53f0\u7cfb\u7edf\u3001Z\u5411\u6ed1\u53f0\u7cfb\u7edf\u3001\u539f\u5b50\u529b\u60ac\u81c2\u9633\u6781\u63a2\u5934\u7cfb\u7edf\u3001\u7eb3\u7c73\u6d41\u4f53\u4f9b\u7ed9\u7cfb\u7edf\u3001\u7eb3\u79d2\u6fc0\u5149\u8f90\u7167\u523b\u8680\u7cfb\u7edf\u3001\u7535\u89e3\u8d28\u6eb6\u6db2\u4f9b\u7ed9\u7cfb\u7edf\u3001\u7535\u5316\u5b66\u6c60\u3001\u4e2d\u592e\u63a7\u5236\u5355\u5143\u4ee5\u53ca\u6052\u7535 Bit power. The invention adopts two-step processing scheme, the first step is to fabricate three-dimensional sub-micron surface texture for electrochemical micro-additives, the second step is to laser etch its surface on the premise of sub-micron surface texture, to form nano surface texture, and ultimately to obtain high efficiency heat transfer functional surface; using these two technologies to participate in functional surface preparation at the same time, for the manufacture of large volume voids. The functional surface of the gas chamber has significant advantages.

【技术实现步骤摘要】
激光刻蚀电化学微增材换热功能表面的制备装置及方法
本专利技术属于电化学沉积制造
，特别是涉及到一种激光辅助电化学微增材制造功能表面制备方法。
技术介绍
电化学微增材制造技术是指电解质溶液中的金属阳离子在外加电场的作用下，在阴极基底表面发生氧化还原反应，形成金属原子，金属原子相互之间形成晶格，进而促进晶体成核和晶体生长，最后在基底上形成沉积物。制备的样品无内应力且表面质量好，加工重复性高。基于以上种种优势，微细电化学增材技术逐步被广泛应用在工程应用中，特别是在航空航天工业中可以利用该技术制造很多特定要求的微小零部件以满足特定的工艺要求，相比于其他传统微细加工技术，微细电化学沉积体现出了自己独有的加工优势。相比于电沉积技术，电化学微增材制造技术，也叫做电化学微3D打印技术，是一种具有亚微米级打印精度，纳米级定位精度的高分辨率的增材制造先进技术，利用该种技术可以打印许多传统加工难以实现的异形三维亚微米级结构，具有广泛的应用前景。激光表面刻蚀技术是指利用高亮度、方向性强、高强度的高能脉冲激光束直接作用于材料，属于宏观非接触加工，该种激光可以通过调整激光功率、加工速度、加工间距等参数，在本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.激光刻蚀电化学微增材换热功能表面的制备装置，其特征是：包括隔振平台(1)、XY向滑台系统、Z向滑台系统、原子力悬臂阳极探头系统、纳米流体供给系统(303)、纳秒激光辐照刻蚀系统、电解质溶液供给系统(601)、电化学池(602)、中央控制单元(7)以及恒电位电源(8)，所述隔振平台(1)为长方体结构，下部设置有支座；所述XY向滑台系统包括X向精密移动断电自锁滑台固定装置(201)、X向精密移动断电自锁滑台移动平台(202)、Y向精密移动断电自锁滑台固定装置(203)以及Y向精密移动断电自锁滑台移动平台(204)，所述X向精密移动断电自锁滑台固定装置(201)设置在隔振平台(1)的上部，所述X...

【技术特征摘要】
1.激光刻蚀电化学微增材换热功能表面的制备装置，其特征是：包括隔振平台(1)、XY向滑台系统、Z向滑台系统、原子力悬臂阳极探头系统、纳米流体供给系统(303)、纳秒激光辐照刻蚀系统、电解质溶液供给系统(601)、电化学池(602)、中央控制单元(7)以及恒电位电源(8)，所述隔振平台(1)为长方体结构，下部设置有支座；所述XY向滑台系统包括X向精密移动断电自锁滑台固定装置(201)、X向精密移动断电自锁滑台移动平台(202)、Y向精密移动断电自锁滑台固定装置(203)以及Y向精密移动断电自锁滑台移动平台(204)，所述X向精密移动断电自锁滑台固定装置(201)设置在隔振平台(1)的上部，所述X向精密移动断电自锁滑台移动平台(202)设置在X向精密移动断电自锁滑台固定装置(201)上部，所述Y向精密移动断电自锁滑台固定装置(203)设置在X向精密移动断电自锁滑台移动平台(202)上部，所述Y向精密移动断电自锁滑台移动平台(204)设置在Y向精密移动断电自锁滑台固定装置(203)上部；所述Z向滑台系统包括Z向立柱精密移动断电自锁导轨固定装置(301)以及Z向立柱精密移动断电自锁导轨移动平台(302)，所述Z向立柱精密移动断电自锁导轨固定装置(301)设置在隔振平台(1)上，所述Z向立柱精密移动断电自锁导轨移动平台(302)设置在Z向立柱精密移动断电自锁导轨固定装置(301)上；所述纳米流体供给系统(303)设置有微电解质储存槽，纳米流体供给系统(303)安装在Z向立柱精密移动断电自锁导轨移动平台(302)上部；所述原子力悬臂阳极探头系统包括原子力悬臂阳极悬臂(304)、锥形的空心探针(305)，所述原子力悬臂阳极悬臂(304)的一端设置在纳米流体供给系统(303)上，所述锥形的空心探针(305)设置在原子力悬臂阳极悬臂(304)的另一端上；所述纳秒激光辐照刻蚀系统包括纳秒激光头旋转装置(501)、纳秒激光头摇臂(502)、光纤纳秒激光器(503)、纳秒激光头旋转固定装置(504)、纳秒激光头(505)，所述纳秒激光头旋转固定装置(504)设置在隔振平台(1)上，所述纳秒激光头旋转装置(501)设置在纳秒激光头旋转固定装置(504)上，所述纳秒激光头摇臂(502)的一端设置在纳秒激光头旋转装置(501)的顶部，所述纳秒激光头摇臂(502)的另一端设置有光纤纳秒激光器(503)，所述光纤纳秒激光器(503)的下部设置有纳秒激光头(505)；所述电化学池(602)设置在Y向精密移动断电自锁滑台移动平台(204)上部，内部...

【专利技术属性】
技术研发人员：任万飞，许金凯，于化东，于占江，刘启蒙，廉中旭，张向辉，于朋，翟昌太，
申请(专利权)人：长春理工大学，
类型：发明
国别省市：吉林,22