The invention provides an interruption protection system for MPCVD synthesis equipment and its control method, in which the interruption protection system includes an uninterrupted power supply device, a power supply voltage measuring device and a control center, and the uninterrupted power supply device and a power supply voltage measuring device are respectively connected with the control center. During the working process of MPCVD synthesis equipment, the invention can continue to supply power to the equipment when the external power supply is interrupted for a short time, so that the synthesis reaction is not affected by the power cut, and the quality of the synthetic product is guaranteed. Under the condition that the external power supply is not restored for a long time, the automatic shutdown procedure of the equipment can be started, and the microwave power supply, gas supply device and cold can be shut down in turn according to the set shutdown process. However, the device protects the safety of microwave power supply, magnetron and internal components of lifting system, minimizes the impact of power failure on equipment and synthetic products, and effectively protects the personal safety of equipment operators, improves the service life of equipment and saves production costs.
【技术实现步骤摘要】
一种MPCVD合成设备断电保护系统及控制方法
本专利技术涉及一种微波等离子体化学气相沉积合成设备自动控制装置及控制方法,具体涉及一种MPCVD合成设备断电保护系统及控制方法,属于化学气相沉积设备领域。
技术介绍
MPCVD(MicrowavePlasmaChemicalVaporDeposition的英文缩写,中文意思为微波等离子体化学气相沉积,以下简称“MPCVD”)法不仅可以用于合成金刚石,还适用于很多其他材料的制备,MPCVD法合成设备的微波系统中磁控管是产生微波的重要器件,其微波输出的稳定性直接影响金刚石产品的性能和批次稳定性,同时金刚石在合成过程中对温度、气压等关键参数也需要保持稳定,在金刚石合成过程中若遇到外部供电断电的情况,将极大地影响金刚石合成的品质,并对微波电源和磁控管造成冲击,甚至损坏微波电源和磁控管,因此对MPCVD合成设备进行断电保护,将防止短时间断电影响金刚石合成的品质并保护微波电源和磁控管,同时在遇到长时间断电的情况下自动控制设备按设定的关机工艺流程逐步关闭各工作的器件、控制系统和测量系统,实现安全关机。当前MPCVD合成设备普遍没有对外部供电采取进行断电保护的措施,在外部电网断电时设备将直接关机,因此合成的产品的品质会受到极大影响,甚至全部报废,设备内部的微波电源和磁控管将收到冲击甚至损坏,同时反应腔体和升降系统也将因冷却系统(包括水冷和风冷)停止工作而受高温影响性能下降,并可能造成内部元器件损坏。
技术实现思路
本专利技术要解决的技术问题是提供一种能解决当前MPCVD合成设备在外部供电中断时对设备短时间持续供电,保护内部的重要器 ...
【技术保护点】
1.一种MPCVD合成设备断电保护系统,其特征在于,包括不间断电源装置、供电电压测量器件以及控制中心;所述不间断电源装置、供电电压测量器件分别与控制中心连接;所述供电电压测量器件用于测量外部供电电源的电压值并反馈至控制中心;所述不间断电源装置用于在外部供电中断时继续为设备供电;所述控制中心用于接收供电电压测量器件反馈的电压值信号并判定外部供电是否中断,在外部供电判定为中断时开始计时,在外部供电中断超过断电时间警戒值后,启动设备自动关机程序关闭设备。
【技术特征摘要】
1.一种MPCVD合成设备断电保护系统,其特征在于,包括不间断电源装置、供电电压测量器件以及控制中心;所述不间断电源装置、供电电压测量器件分别与控制中心连接;所述供电电压测量器件用于测量外部供电电源的电压值并反馈至控制中心;所述不间断电源装置用于在外部供电中断时继续为设备供电;所述控制中心用于接收供电电压测量器件反馈的电压值信号并判定外部供电是否中断,在外部供电判定为中断时开始计时,在外部供电中断超过断电时间警戒值后,启动设备自动关机程序关闭设备。2.根据权利要求1所述的MPCVD合成设备断电保护系统,其特征在于,所述的MPCVD设备断电保护系统还包括MPCVD设备设置的冷却装置,所述冷却装置与控制中心连接,所述冷却装置用于给MPCVD设备的器件进行降温,所述冷却装置包括水冷机及其循环管路。3.根据权利要求1或2所述的MPCVD合成设备断电保护系统,其特征在于,所述不间断电源装置为在线式UPS电源或离线式UPS电源。4.根据权利要求2所述的MPCVD合成设备断电保护系统,其特征在于,所述MPCVD合成设备的器件包括设备的反应腔、基板台、磁控管。5.权利要求1或2所述MPCVD合成设备断电保护系统的控制方法,其特征在于,包含如下步骤:S1、当外部电源供电中断时,不间断电源继续为设备供电,供电电压测量器件检测外部供电电源的供电状况,并将测量结果实时反馈至控制中心;S2、同时,控制中心从检测到外部供电中断后开始计时,当断电时间超过断电时间警戒值时,控制中心启动设备自动关机程序;当断电时间未超过断电时间警戒值期间恢复了外部供电,设备继续正常运行;S3、设备自动关机程序启动后,按设定的关机流程,逐步降低微波电源输出功率和反应腔内部气压直至符合关机要求,然后依次关闭微波电源、气压调节装置和供气装置,并在反应腔体冷却后依次关闭冷却装置和设备供电开关。6.根据权利要求5所述MPCVD合成设备断电保护系统的控制方法,其特征在于,步骤S3中的调节方法具体为:(1)首先降低微波电源输出功率50W~500W,然后降低反应腔体内部气压2mbar~30mbar;若微波反射功率系数调整之后的测量值未超过微波反射功率系数警戒值则依此继续降低微波电源输出功率和...
【专利技术属性】
技术研发人员:黄翀,唐跃强,
申请(专利权)人:长沙新材料产业研究院有限公司,
类型:发明
国别省市:湖南,43
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