The invention discloses a laser resistance regulator, which comprises a body, a cover body, a laser launcher mechanism arranged inside the cover body and a laser step-by-step motion control system motion system. The laser launcher mechanism comprises a first laser launcher cylinder and a second laser launcher cylinder, the first laser launcher cylinder and the second laser launcher cylinder are symmetrically inclined, and the first laser launcher cylinder are symmetrically inclined. A laser emitter is arranged inside the launching cylinder and the second laser launching cylinder, and a screw hole is arranged on both sides of the first laser launching cylinder and the second laser launching cylinder. A locking bolt is connected through the screw thread in the screw hole, and the laser launcher is fine-tuned through the locking bolt. The invention sets the first laser launching cylinder in the laser launching cylinder mechanism. Laser emitters are installed in the body of the first and second laser launchers, which can simultaneously emit two lasers, thus improving the efficiency of the laser resistance regulator.
【技术实现步骤摘要】
一种镭射调阻机
本专利技术涉及机械领域,特别涉及一种镭射调阻机。
技术介绍
激光调阻工艺已经成熟应用在厚膜、薄膜及半导体电路中,现今由于人们对器件的微型化要求越来越高甚至到苛刻的地步,电路的微型化要求也越来越高,在一些精密的厚、薄膜电路以及一些半导体电路中,对精密激光调阻机有着相当高的要求,而且这些电路的工艺只有激光调阻才能解决。激光调阻机是利用一束极细的激光束打在厚、薄膜电阻上,通过对电阻体气化蒸发实现厚、薄膜电路的切割。激光束按计算机预定的程序切割厚、薄膜电阻,通过改变厚、薄膜电阻的几何形状从而改变电阻的阻值。随着激光切割过程的进行,通过实时测量电路能够实时监视厚、薄膜电阻阻值的变化,使厚、薄膜电阻的阻值不断接近目标阻值。当厚、薄膜电阻达到目标阻值后激光束关闭,即实现激光调阻的过程。现有的激光调阻机的工作台罩有两种形式:上拉式或侧拉式。上拉式工作台罩的工作门沉重,当向上开启工作门时,需要较大气力,开启和关闭过程均不方便。侧拉式工作台罩的工作门为侧向开门方式,占用较大空间,开启后,如不小心依靠工作门,容易致使工作门变形,无法回位,同时,可能伤及工作人员。另外,由 ...
【技术保护点】
1.一种镭射调阻机,包括机体(1)、罩体(2)、设置在罩体(2)内部的激光发射筒机构(5)和激光器分步动作控制系统运动系统(6),其特征在于:所述激光发射筒机构(5)包括一号激光发射筒体(16)和二号激光发射筒体(19),所述一号激光发射筒体(16)和二号激光发射筒体(19)对称倾斜设置,所述一号激光发射筒体(16)和二号激光发射筒体(19)的内部均设置有激光发射器(17),所述一号激光发射筒体(16)和二号激光发射筒体(19)的两个侧壁上均开设有螺孔,该螺孔内均通过螺纹连接有锁紧螺栓(18),所述激光发射器(17)均通过锁紧螺栓(18)微调位置。
【技术特征摘要】
1.一种镭射调阻机,包括机体(1)、罩体(2)、设置在罩体(2)内部的激光发射筒机构(5)和激光器分步动作控制系统运动系统(6),其特征在于:所述激光发射筒机构(5)包括一号激光发射筒体(16)和二号激光发射筒体(19),所述一号激光发射筒体(16)和二号激光发射筒体(19)对称倾斜设置,所述一号激光发射筒体(16)和二号激光发射筒体(19)的内部均设置有激光发射器(17),所述一号激光发射筒体(16)和二号激光发射筒体(19)的两个侧壁上均开设有螺孔,该螺孔内均通过螺纹连接有锁紧螺栓(18),所述激光发射器(17)均通过锁紧螺栓(18)微调位置。2.根据权利要求1所述的一种镭射调阻机,其特征在于:所述激光器分步动作控制系统运动系统(6)包括驱动电机(9)和二号环形电磁铁(11),所述驱动电机(9)的外围固定有一圈一号环形电磁铁(10),所述二号环形电磁铁(11)设置在一号环形电磁铁(10)的外侧,且所述驱动电机(9)通过一号环形电磁铁(10)和二号环形电磁铁(11)相互间的斥力悬浮在空中。3.根据权利要求1所述的一种镭射调阻机,其特征在于:所述罩体(2)的前侧设置有前罩门(4),所述罩体(2)的两侧壁为侧框架(3),一个侧框架(3)的内部底端的一角设置有一号主动轮(12),该侧框架(3)的内部其他三角处均设置有从动轮(13),且该一号主动轮(12)...
【专利技术属性】
技术研发人员:孙标,
申请(专利权)人:安徽翔胜科技有限公司,
类型:发明
国别省市:安徽,34
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