一种动态特性测试的激波底座激励装置及其工作方法制造方法及图纸

一种动态特性测试的激波底座激励装置及其工作方法，属于微型机械电子技术领域。该装置包括筒体、安装在筒体底部的底板、微结构激励单元和光加热单元，微结构激励单元中在十字弹簧片顶部中心通过微结构安装板粘接安装有MEMS微结构，在十字弹簧片底部中心通过陶瓷片粘接安装有板电极；光加热单元中使用了四个遮光板，使得由光加热单元发出的平行光仅能照射在MEMS微结构上；该装置可以实现对MEMS微结构整体的同时加热，确保了微结构表面的温度分布均匀，降低了微结构表面的温度梯度，大幅提高了高温环境下微结构动态特性参数测试的准确性。

A Shock Base Excitation Device for Dynamic Characteristic Testing and Its Working Method

The invention relates to a shock excitation device for testing dynamic characteristics and a working method thereof, which belongs to the field of micro-mechanical and electronic technology. The device consists of a cylinder, a bottom plate mounted on the bottom of the cylinder, a micro-structure excitation unit and a light heating unit. In the micro-structure excitation unit, a micro-structure is bonded to the top center of the cross spring sheet by a micro-structure installation plate, and a plate electrode is bonded to the bottom center of the cross spring sheet by a ceramic plate; in the light heating unit, four light-shielding plates are used to make the light heating unit consist of a light heating unit. The parallel light emitted can only be irradiated on the micro-structure of MEMS. The device can heat the whole micro-structure at the same time, ensure the uniform temperature distribution of the micro-structure surface, reduce the temperature gradient of the micro-structure surface, and greatly improve the accuracy of the measurement of dynamic characteristics parameters of micro-structure under high temperature environment.

【技术实现步骤摘要】
一种动态特性测试的激波底座激励装置及其工作方法
本专利技术涉及一种动态特性测试的激波底座激励装置及其工作方法，属于微型机械电子

技术介绍
由于MEMS微器件具有成本低、体积小、重量轻、集成度高和智能化程度高等一系列特点，目前已经在汽车、航空航天、信息通讯、生物化学、医疗、自动控制、消费品及国防等很多领域都得到广泛的应用。在设计和开发MEMS时，由于系统功能主要是通过微结构的微小位移和变形实现，需要测量微机械部件的动态性能，因此对MEMS的机械运动参数如位移、速度、振幅、频率和振动模态等进行精确测量已经成为开发MEMS的重要内容。随着MEMS产品应用领域的不断拓展，对其动态机械特性的测试和研究不能够仅局限在常态环境下，而是需要结合实际的使用环境，比如高温环境，测试其在高温环境影响下的动态特性，从而能够对产品的稳定性和可靠性进行评估，对器件在设计、制作工艺的改进、以及器件的封装等方面起到指导作用，还可以降低研发成本，减少开发时间。为了测试微结构在高温环境下的动态特性参数，一方面需要使微结构产生振动，也就是需要对微结构进行激励。由于MEMS微结构具有尺寸小、重量轻和固有频率高等特本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种动态特性测试的激波底座激励装置，包括筒体（1）和安装在筒体（1）底部的底板（6），在底板1上设有微结构激励单元（5），其特征是：所述微结构激励单元（5）包括第一手动三轴位移台（501）和第二手动三轴位移台（502），在第一手动三轴位移台（501）的Z轴溜板上安装有第一连接板（503），在第一连接板（503）顶面中心设有阶梯状安装孔，在安装孔内的环形阶梯处安装有十字弹簧片（510），在十字弹簧片（510）顶部中心通过微结构安装板（509）粘接安装有MEMS微结构（508），在十字弹簧片（510）底部中心通过陶瓷片（511）粘接安装有板电极（512）；在第二手动三轴位移台（502）的Z轴溜...

【技术特征摘要】
1.一种动态特性测试的激波底座激励装置，包括筒体（1）和安装在筒体（1）底部的底板（6），在底板1上设有微结构激励单元（5），其特征是：所述微结构激励单元（5）包括第一手动三轴位移台（501）和第二手动三轴位移台（502），在第一手动三轴位移台（501）的Z轴溜板上安装有第一连接板（503），在第一连接板（503）顶面中心设有阶梯状安装孔，在安装孔内的环形阶梯处安装有十字弹簧片（510），在十字弹簧片（510）顶部中心通过微结构安装板（509）粘接安装有MEMS微结构（508），在十字弹簧片（510）底部中心通过陶瓷片（511）粘接安装有板电极（512）；在第二手动三轴位移台（502）的Z轴溜板上安装有第二连接板（504），在第二连接板（504）底部中心通孔内通过紧定螺钉（506）安装有陶瓷管（507），在陶瓷管（507）内套装连接有针电极（505）；所述针电极（505）和板电极（512）分别与高压电容（10）的两极电联接，在针电极（505）和高压电容（10）之间设有第一开关（9）控制通断；所述高压电容（10）的两极分别电联接至高压电源（12）的正负极，并通过第二开关（11）控制通断；在筒体（1）的顶部圆周均布的安装有四个光加热单元（4），每个光加热单元（4）依次通过光加热单元安装板（3）、销轴（7）、固定板（2）与筒体（1）相连接，光加热单元（4）可绕销轴（7）转动，在光加热单元安装板（3）上与销轴（7）套装部的螺纹孔内有紧定螺钉（8）；所述光加热单元（4）包括螺纹连接的前套筒（402）和后套筒（401），在后套筒（401）尾部中心孔内安装有平行光源（412）；在前套筒（402）内部设有台阶孔，在前套筒（402）前端设有第一遮光板（408）、第二遮光板（409）、第三遮光板（410）和第四遮光板（411），四个遮光板在前套筒（402）前端面上的投影呈圆周均布，其中第一遮光板（408）和第四遮光板（...

【专利技术属性】
技术研发人员：田江平，隆武强，冯立岩，崔靖晨，田华，崔泽川，
申请(专利权)人：大连理工大学，
类型：发明
国别省市：辽宁,21