液态试剂监测系统技术方案

本公开涉及一种液态试剂监测系统。该系统包括：重量监测装置，用于实时检测液态试剂瓶中液态试剂的重量，生成重量数据；容量检测装置，用于实时检测蓄液箱中液态试剂的容量，生成容量数据；以及报警装置，用于根据所述重量数据与所述容量数据判断当前液态试剂状态是否满足第一安全条件和/或第二安全条件，并在当前液态试剂状态不满足第一安全条件和/或第二安全条件时，生成报警信息。本公开涉及的液态试剂监测系统及方法，能够在液态试剂不满足安全条件时给出警告信息，从而提高机台利用率，预防光阻管路空管导致产品的报废。

Liquid reagent monitoring system

The present disclosure relates to a liquid reagent monitoring system. The system includes: a weight monitoring device for real-time detection of the weight of liquid reagents in liquid reagent bottles to generate weight data; a capacity detecting device for real-time detection of the capacity of liquid reagents in liquid storage tanks to generate capacity data; and an alarm device for judging whether the current state of liquid reagents meets the first safety condition according to the weight data and capacity data. And/or the second safety condition, and generate alarm information when the current liquid reagent state does not meet the first and/or second safety conditions. The liquid reagent monitoring system and method mentioned in the present disclosure can give warning information when the liquid reagent does not satisfy the safety conditions, thereby improving the utilization ratio of the machine and preventing the rejection of the product caused by the empty pipe of the photoresistive pipeline.

【技术实现步骤摘要】
液态试剂监测系统
本公开涉及芯片制造领域，具体而言，涉及一种液态试剂监测系统。
技术介绍
试剂，又称生物化学试剂或试药。主要是实现化学反应、分析化验、研究试验、教学实验、化学配方使用的纯净化学品。一般按用途分为通用试剂、高纯试剂、分析试剂、仪器分析试剂、临床诊断试剂、生化试剂、无机离子显色剂试剂等。在芯片制造中，经常需要用到的液态试剂为光刻胶，光刻胶是一个用在许多工业制程上的光敏材料。光刻胶根据其化学反应机理和显影原理，可分负性胶和正性胶两类。光照后形成不可溶物质的是负性胶；反之，对某些溶剂是不可溶的，经光照后变成可溶物质的即为正性胶。利用这种性能，将光刻胶作涂层，就能在硅片表面刻蚀所需的电路图形。光刻胶是一种感光介质，因而上述承载光阻剂所用的光阻瓶均为不透明的塑料瓶或者玻璃瓶，从而使得工作人员很难观察每瓶光阻剂的剩余量，无法对光阻瓶内光阻剂的剩余状态进行监控，给生产带来了不便。而且，光刻胶随着使用被消耗，如果不能及时的对光刻胶进行替换会导致产品质量出现严重的问题。但是现有技术中暂时没有对光阻瓶内的光阻剂进行监控的方案。因此，需要一种新的液态试剂监测系统。在所述背景技术部分公开的上述本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种液态试剂监测系统，其特征在于，包括：重量监测装置，用于实时检测液态试剂瓶中液态试剂的重量，生成重量数据；容量检测装置，用于实时检测蓄液箱中液态试剂的容量，生成容量数据；以及报警装置，用于根据所述重量数据与所述容量数据判断当前液态试剂状态是否满足第一安全条件和/或第二安全条件，并在当前液态试剂状态不满足第一安全条件和/或第二安全条件时，生成报警信息。

【技术特征摘要】
1.一种液态试剂监测系统，其特征在于，包括：重量监测装置，用于实时检测液态试剂瓶中液态试剂的重量，生成重量数据；容量检测装置，用于实时检测蓄液箱中液态试剂的容量，生成容量数据；以及报警装置，用于根据所述重量数据与所述容量数据判断当前液态试剂状态是否满足第一安全条件和/或第二安全条件，并在当前液态试剂状态不满足第一安全条件和/或第二安全条件时，生成报警信息。2.如权利要求1所述的系统，其特征在于，所述重量监测装置包括：电子磅秤、模数转换器、以及通信线路；其中，所述电子磅秤位于所述液态试剂瓶底部。3.如权利要求2所述的系统，其特征在于，所述容量检测装置包括：容量传感器和通信线路；其中，所述容量传感器放置于所述蓄液箱内，所述容量传感器放置于所述蓄液箱底部。4.如权利要求1所述的系统，其特征在于，所述报警装置包括：判断模块，用于根据所述重量数据与所述容量数据判断当前液态试剂状态是否满足第一安全条件和/或第二安全条件；以及警告模块，用于在当前液态试剂状态不满足第一安全条件和/或第二安全...

【专利技术属性】
技术研发人员：不公告发明人，
申请(专利权)人：长鑫存储技术有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽,34