一种产生飞秒级高通量和超高重复频率极紫外射线的装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种产生飞秒级高通量和超高重复频率极紫外射线的装置，包括：所述超高重复频率的飞秒激光器用于输出飞秒量级的激光脉冲，其重复频率最高可达MHz；所述聚焦光学元件用于将激光脉冲引导并聚焦至真空腔体内的连续性气体装置中；所述连续性气体装置用于释放气体并与聚焦后的激光脉冲相互作用后产生飞秒级极紫外射线；所述真空系统用于吸收气体装置中多余气体，确保装置内的真空度；所述监控系统用于监控激光和气体装置的相互作用，避免装置被激光击穿。本发明专利技术结构简单，操作便捷，所形成的高通量和超高重复频率极紫外射线具有飞秒级别的脉冲宽度，能够为光电子能谱等科学仪器应用提供优质光源，大大提高测量效率，有助于超快领域研究。

A Femtosecond EUV Generator with High Flux and Ultra High Repetition Frequency

The invention discloses a device for generating femtosecond high-throughput and ultra-high-repetition-rate ultraviolet rays, which includes: the ultra-high-repetition-rate femtosecond laser is used to output femtosecond laser pulses with a repetition rate up to MHz; the focusing optical element is used for guiding and focusing laser pulses into a continuous gas device in a vacuum chamber; and the continuous gas. The volume device is used for releasing gas and interacting with focused laser pulses to generate femtosecond ultraviolet rays; the vacuum system is used to absorb excess gas in the gas device to ensure the vacuum in the device; and the monitoring system is used to monitor the interaction between the laser and the gas device to avoid the device being broken down by the laser. The invention has the advantages of simple structure, convenient operation, high throughput and ultra-high repetition frequency ultra-ultraviolet radiation with femtosecond pulse width, can provide high quality light source for the application of scientific instruments such as photoelectron spectroscopy, greatly improve the measuring efficiency, and contribute to the research of ultra-fast field.

【技术实现步骤摘要】
一种产生飞秒级高通量和超高重复频率极紫外射线的装置
本专利技术涉及一种产生飞秒级高通量和超高重复频率极紫外射线的装置，属于极紫外射线领域。
技术介绍
随着科学技术的不断进步和发展，极紫外射线甚至X射线已经在诸多领域得到了广泛应用，比如光电子能谱、极紫外光刻等。过去极紫外射线只能通过同步辐射光源或者倍频晶体等设备产生。同步辐射光源可以满足诸多科研实验的要求，但是其设备巨大，机时紧张，且脉冲宽度较长，因此在实际应用中有很多局限性。另外采用倍频晶体的方式虽然能够克服脉冲宽度的问题，但是波长范围较窄，很难满足科研实验中宽谱的要求。随着飞秒激光器的出现和高次谐波研究的进展，强激光与惰性气体相互作用产生飞秒级的宽谱极紫外射线成为可能。但是目前实验设备大多采用脉冲喷嘴释放惰性气体和激光相互作用，这种脉冲喷嘴虽然能够很好地控制真空腔体的真空度，其效率却很低，因此这种极紫外射线多是低重复频率、光通量较小的极紫外射线，这大大限制了科研实验中的效率，也无法满足光刻技术中心高通量的要求。
技术实现思路
专利技术目的：为了克服现有技术中存在的不足，本专利技术提供一种产生飞秒级高通量和超高重复频率极紫外射线的装置，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种产生飞秒级高通量和超高重复频率极紫外射线的装置，其特征在于，包括超高重复频率的飞秒激光器(1)、聚焦光学元件(2)、连续性气体装置(3)、真空系统(4)、监控系统(5)及真空腔体(6)；其中，所述超高重复频率的飞秒激光器(1)用于输出飞秒级别的激光脉冲，其重复频率高达MHz；所述聚焦光学元件(2)用于将激光脉冲引导并聚焦至真空腔体(6)内的连续性气体装置(3)中；所述连续性气体装置(3)用于释放气体使其与聚焦后的激光脉冲相互作用后产生飞秒级极紫外射线；所述真空系统(4)用于吸收连续性气体装置(3)释放的多余气体，确保真空腔体(6)内的真空度；所述监控系统(5)用于监控激光脉冲和连续性气...

【技术特征摘要】
1.一种产生飞秒级高通量和超高重复频率极紫外射线的装置，其特征在于，包括超高重复频率的飞秒激光器(1)、聚焦光学元件(2)、连续性气体装置(3)、真空系统(4)、监控系统(5)及真空腔体(6)；其中，所述超高重复频率的飞秒激光器(1)用于输出飞秒级别的激光脉冲，其重复频率高达MHz；所述聚焦光学元件(2)用于将激光脉冲引导并聚焦至真空腔体(6)内的连续性气体装置(3)中；所述连续性气体装置(3)用于释放气体使其与聚焦后的激光脉冲相互作用后产生飞秒级极紫外射线；所述真空系统(4)用于吸收连续性气体装置(3)释放的多余气体，确保真空腔体(6)内的真空度；所述监控系统(5)用于监控激光脉冲和连续性气体装置(3)的相对位置，以及激光脉冲透射过连续性气体装置(3)的光斑位置和形状。2.根据权利要求1所述的一种产生飞秒级高通量和超高重复频率极紫外射线的装置，其特征在于，所述聚焦光学元件(2)包括离轴抛物面镜(2.2)或者短焦平凸透镜。3.根据权利要求1所述的一种产生飞秒级高通量和超高重复频率极紫外射线的装置，其特征在于，所述连续性气体装置(3)包括外层保护腔体(3.1)和连接于外层保护腔体(3.1)内的连续气体喷嘴(3.2)。4.根据权利要求3...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐永兵，聂忠辉，黎遥，何亮，
申请(专利权)人：南京大学，
类型：发明
国别省市：江苏,32