The invention discloses a composite metal layer for forming a metal grating, comprising a first metal layer and a second metal layer, the first metal layer being a chromium layer or an aluminium layer, the second metal layer being a chromium layer or a gold layer, and the first metal layer and the second metal layer having different materials. The metal grating formed by the metal composite layer in the invention can resist oxidation and improve the polarization contrast of the metal grating.
【技术实现步骤摘要】
用于形成金属光栅的复合金属层及相关器件
本专利技术涉及光电
，尤其涉及一种用于形成金属光栅的复合金属层及相关器件。
技术介绍
光电成像系统具有体积小、重量轻、成本低、性能高的特点是一个发展的趋势，为了达到这些特点，应运而生多功能光电探测器，即将光电成像系统的多种功能集成到由一个或多个光电探测器芯片堆叠而成的功能块中。偏振成像技术将传统探测器对强度的探测能力进一步扩展，可以实现电磁波强度和偏振两个特性探测,将难以识别的杂乱背景和目标分开来，提高目标识别率,有效克服一些特殊自然环境和气候条件对目标识别构成的障碍，增强光电成像系统的探测能力。在光电探测器表面设计和制造偏振器件，可以使光电探测器成为一个具有强度及偏振探测功能的芯片，这个芯片可以代替光电成像系统中复杂、庞大的偏振光机结构及配套的驱动系统，实现体积小、重量轻、成本低、性能高的偏振成像系统。在军民两用领域，对集成偏振光电探测器的需求迫切。集成偏振光电探测器、偏振器件通常选择结构紧凑、易于集成的金属光栅，制备金属光栅的金属层材料通常选择铝、铬、银、金、铜五种金属，在光电探测器表面覆盖一定厚度的金属层，在金属...
【技术保护点】
1.一种用于形成金属光栅的复合金属层，其特征在于，包括第一金属层和第二金属层，所述第一金属层为铬层或铝层；所述第二金属层为铬层或金层；所述第一金属层和所述第二金属层的材质不同。
【技术特征摘要】
1.一种用于形成金属光栅的复合金属层，其特征在于，包括第一金属层和第二金属层，所述第一金属层为铬层或铝层；所述第二金属层为铬层或金层；所述第一金属层和所述第二金属层的材质不同。2.如权利要求1所述的用于形成金属光栅的复合金属层，其特征在于，所述第一金属层的厚度范围为0.05μm-20μm；所述第二金属层的厚度范围为0.05μm-20μm。3.一种偏振光电探测器，其特征在于，包括探测器本体，所述探测器本体上镀设有如权利要求1-2任意一项所述的用于形成金属光栅的复合金属层；其中，所述复合金属层中的第一金属...
【专利技术属性】
技术研发人员：林国画，刘明，张敏，宁提，梁宗久，
申请(专利权)人：中国电子科技集团公司第十一研究所，
类型：发明
国别省市：北京,11
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