下载用于形成金属光栅的复合金属层及相关器件的技术资料

文档序号:20913328

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本发明公开了一种用于形成金属光栅的复合金属层包括第一金属层和第二金属层,所述第一金属层为铬层或铝层;所述第二金属层为铬层或金层;所述第一金属层和所述第二金属层的材质不同。利用本发明中的金属复合层形成的金属光栅,能够抗氧化,并且能提高金属光栅...
该专利属于中国电子科技集团公司第十一研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国电子科技集团公司第十一研究所授权不得商用。

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