一种平板玻璃缺陷复检系统及复检方法技术方案

本发明专利技术公开了一种平板玻璃缺陷复检系统及复检方法，该系统包括能够在生产线上沿着X方向和Y方向移动的X/Y向移送机构，X/Y向移送机构上固定安装有CCD探头、激光发射器和光电接收器，激光发射器和光电接收器分别在CCD探头的两侧；检测过程确定缺陷的位置时，激光发射器和光电接收器共同确认CCD探头的聚焦基准面，CCD探头对设置的平板玻璃的N层的每一层进行拍照，共拍摄N张照片，从N张照片中找出缺陷最清晰的照片，确定缺陷位置，从而进行后续工艺。通过该装置找出的缺陷位置精度高，拍摄出的照片能够精确的反应出缺陷的大小尺寸和其它图像特征，有利于精准识别缺陷，方便人工干预改判。

【技术实现步骤摘要】
一种平板玻璃缺陷复检系统及复检方法
本专利技术属于平板玻璃制备领域，涉及一种平板玻璃缺陷复检系统及复检方法。
技术介绍
平板平板玻璃对缺陷有非常严苛的品质要求，例如G60.5mm基板玻璃缺陷小于等于100um，整板缺陷数小于等于5个，且任意缺陷间距大于等于300mm，玻璃基板面工作面层不允许固态缺陷，内部固态缺陷小于等于100um。通过图像对平板玻璃缺陷进行分类是一项复杂工作，缺陷大小在微米级，光学变形图像相差不大，缺陷分类比较复杂。在溢流下拉法生产平板玻璃过程，半成品平板玻璃经切割、研磨和清洗加工后，进行自动缺陷检测，包括面检和复检，获得缺陷的数量、种类、尺寸和位置。面检的主要作用是对缺陷进行简单识别和粗浅分类，缺陷识别和分类准确率达到约80％水平。由于面检分辨率在20um以上，对60um以内小缺陷识别能力较差。复检分辨率1um，可以实现对小缺陷进行精确检测识别，测量缺陷尺寸误差小于3％，缺陷图像清晰度同100倍的显微镜。现有的复检系统尺寸误差偏大，无法精确的检测出缺陷所在的位置。
技术实现思路
本专利技术的目的在于克服上述现有技术的缺点，提供一种平板玻璃缺陷复检系统及复检本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种平板玻璃缺陷复检系统，其特征在于，包括安装在平板玻璃的生产线上的X/Y向移送机构(5)，X/Y向移送机构(5)能够在生产线上沿着X方向和Y方向移动，Y方向为平板玻璃(3)的长度方向，X方向为平板玻璃(3)的宽度方向；X/Y向移送机构(5)上固定安装有CCD探头(4)和第一激光传感测距系统(11)，第一激光传感测距系统(11)包括激光发射器(6)和光电接收器(7)，激光发射器(6)和光电接收器(7)分别在CCD探头(4)的两侧；测量平板玻璃(3)的缺陷(2)在厚度的位置时，CCD探头(4)在缺陷(2)的上方，对缺陷(2)进行拍照；CCD探头(4)对缺陷(2)拍照时，设定将平板玻璃(3)从...

【技术特征摘要】
1.一种平板玻璃缺陷复检系统，其特征在于，包括安装在平板玻璃的生产线上的X/Y向移送机构(5)，X/Y向移送机构(5)能够在生产线上沿着X方向和Y方向移动，Y方向为平板玻璃(3)的长度方向，X方向为平板玻璃(3)的宽度方向；X/Y向移送机构(5)上固定安装有CCD探头(4)和第一激光传感测距系统(11)，第一激光传感测距系统(11)包括激光发射器(6)和光电接收器(7)，激光发射器(6)和光电接收器(7)分别在CCD探头(4)的两侧；测量平板玻璃(3)的缺陷(2)在厚度的位置时，CCD探头(4)在缺陷(2)的上方，对缺陷(2)进行拍照；CCD探头(4)对缺陷(2)拍照时，设定将平板玻璃(3)从上至下分为N层；第一层为平板玻璃(3)的上表面(8)，第N层为平板玻璃(3)的下表面(10)，N为≥3的自然数。2.根据权利要求1所述的一种平板玻璃缺陷复检系统，其特征在于，X/Y向移送机构(5)的垂直度≤2/10000。3.根据权利要求1所述的一种平板玻璃缺陷复检系统，其特征在于，CCD探头(4)上固定安装有复检光源，复检光源选用LED发光二极管，发射出波长400nm-800nm，功率＜1.3W的可见光。4.根据权利要求1所述的一种平板玻璃缺陷复检系统，其特征在于，激光发射器(6)发射出的激光束的波长为650nm。5.根据权利要求1所述的一种平板玻璃缺陷复检系统，其特征在于，CCD探头(4)选用分辨率为1um矩阵黑白摄像头。6.根据权利要求1所述的一种平板玻璃缺陷复检系统，其特征在于，X/Y向移送机构(5)上固定安装有第二激光传感测距系统(12...

【专利技术属性】
技术研发人员：焦宗平，梁中慧，
申请(专利权)人：彩虹显示器件股份有限公司，
类型：发明
国别省市：陕西,61