一种平板玻璃缺陷复检系统及复检方法技术方案

技术编号:20901704 阅读:22 留言:0更新日期:2019-04-17 16:30
本发明专利技术公开了一种平板玻璃缺陷复检系统及复检方法,该系统包括能够在生产线上沿着X方向和Y方向移动的X/Y向移送机构,X/Y向移送机构上固定安装有CCD探头、激光发射器和光电接收器,激光发射器和光电接收器分别在CCD探头的两侧;检测过程确定缺陷的位置时,激光发射器和光电接收器共同确认CCD探头的聚焦基准面,CCD探头对设置的平板玻璃的N层的每一层进行拍照,共拍摄N张照片,从N张照片中找出缺陷最清晰的照片,确定缺陷位置,从而进行后续工艺。通过该装置找出的缺陷位置精度高,拍摄出的照片能够精确的反应出缺陷的大小尺寸和其它图像特征,有利于精准识别缺陷,方便人工干预改判。

【技术实现步骤摘要】
一种平板玻璃缺陷复检系统及复检方法
本专利技术属于平板玻璃制备领域,涉及一种平板玻璃缺陷复检系统及复检方法。
技术介绍
平板平板玻璃对缺陷有非常严苛的品质要求,例如G60.5mm基板玻璃缺陷小于等于100um,整板缺陷数小于等于5个,且任意缺陷间距大于等于300mm,玻璃基板面工作面层不允许固态缺陷,内部固态缺陷小于等于100um。通过图像对平板玻璃缺陷进行分类是一项复杂工作,缺陷大小在微米级,光学变形图像相差不大,缺陷分类比较复杂。在溢流下拉法生产平板玻璃过程,半成品平板玻璃经切割、研磨和清洗加工后,进行自动缺陷检测,包括面检和复检,获得缺陷的数量、种类、尺寸和位置。面检的主要作用是对缺陷进行简单识别和粗浅分类,缺陷识别和分类准确率达到约80%水平。由于面检分辨率在20um以上,对60um以内小缺陷识别能力较差。复检分辨率1um,可以实现对小缺陷进行精确检测识别,测量缺陷尺寸误差小于3%,缺陷图像清晰度同100倍的显微镜。现有的复检系统尺寸误差偏大,无法精确的检测出缺陷所在的位置。
技术实现思路
本专利技术的目的在于克服上述现有技术的缺点,提供一种平板玻璃缺陷复检系统及复检方法。在实际自动在线检测中,面检和复检采用同一坐标系,根据面检提供的坐标精确定位,复检对单个缺陷进行逐个检测。复检头移动到缺陷上方位置,CCD以较小景深模式和递增的焦距从上表面向下表面依次拍摄多张图像,自动选出最清晰一张,根据对应焦距,判断缺陷在平板玻璃厚度方向上的位置,实现缺陷在平板玻璃厚度方向的分层。为达到上述目的,本专利技术采用以下技术方案予以实现:一种平板玻璃缺陷复检系统,包括安装在平板玻璃的生产线上的X/Y向移送机构,X/Y向移送机构能够在生产线上沿着X方向和Y方向移动,Y方向为平板玻璃的长度方向,X方向为平板玻璃的宽度方向;X/Y向移送机构上固定安装有CCD探头和第一激光传感测距系统,第一激光传感测距系统包括激光发射器和光电接收器,激光发射器和光电接收器分别在CCD探头的两侧;测量平板玻璃的缺陷在厚度的位置时,CCD探头在缺陷的上方,对缺陷进行拍照;CCD探头对缺陷拍照时,设定将平板玻璃从上至下分为N层;第一层为平板玻璃的上表面,第N层为平板玻璃的下表面,N为≥3的自然数。本专利技术的进一步改进在于:优选的,X/Y向移送机构的垂直度≤2/10000。优选的,CCD探头上固定安装有复检光源,复检光源选用LED发光二极管,发射出波长400nm-800nm,功率<1.3W的可见光。优选的,激光发射器发射出的激光束的波长为650nm。优选的,CCD探头选用分辨率为1um矩阵黑白摄像头。优选的,X/Y向移送机构上固定安装有第二激光传感测距系统,第二激光传感测距系统包括激光发射器和光电接收器;第一激光传感测距系统的激光发射器和第二激光传感测距系统的激光发射器相对于CCD探头镜面对称。优选的,第一激光传感测距系统的激光发射器发出的激光束与水平线形成的夹角α=45°,第二激光传感器系统的激光发射器发出的激光束与水平线形成的夹角β=45°;两个激光束相对于竖直方向对称,两个激光束之间的夹角为90°。一种基于上述的平板玻璃缺陷复检系统的复检方法,包括以下步骤:步骤1,X/Y向移送机构驱动CCD探头移动到缺陷的上方位置,第一激光传感测距系统和第二激光传感测距系统同时移动到缺陷的上方;步骤2,第一激光传感测距系统和第二激光传感测距系统的激光发射器同时发射出激光束,根据激光束的返回至各自激光传感测距系统的光电接收器时间,计算出第一激光传感测距系统和平板玻璃之间的距离和第二激光传感测距系统和平板玻璃之间的距离,通过两个长度计算出CCD探头的下端和平板玻璃的上表面之间距离,CCD探头自动聚焦平板玻璃的上表面;步骤3,确定平板玻璃厚度方向的分层数N,CCD探头对每层的缺陷的位置进行拍照,拍摄N张照片;通过图像清晰度自动评价算法,获得最清晰照片,根据最清晰照片所在的层数,确定缺陷在平板玻璃上厚度的位置。与现有技术相比,本专利技术具有以下有益效果:本专利技术公开了一种平板玻璃缺陷复检系统,该系统包括能够在生产线上沿着X方向和Y方向移动的X/Y向移送机构,X/Y向移送机构上固定安装有CCD探头、激光发射器和光电接收器,激光发射器和光电接收器分别在CCD探头的两侧;确定缺陷的位置时,激光发射器和光电接收器共同确认CCD探头的聚焦基准面,CCD探头对设置的平板玻璃的N层的每一层进行拍照,共拍摄N张照片,从N张照片中找出缺陷最清晰的照片,确定缺陷位置,从而进行后续工艺。通过该装置找出的缺陷位置精度高,拍摄出的照片能够精确的反应出缺陷的大小尺寸和其它图像特征,有利于精准识别缺陷,方便人工干预改判。进一步,X/Y向移送机构垂直度在2/10000以内,保证CCD探头、激光发射器和光电接收器移动至缺陷上方时,位置的精准性。进一步的,CCD探头上固定设置有光源,保证拍照过程的光线满足拍照要求。进一步的,激光发射器发射出的激光束的波长为650nm,保证发射出的激光束能够摄入至玻璃中。进一步的,CCD探头选用分辨率为1um矩阵黑白摄像头,保证拍摄出的照片能够满足附件要求。进一步的,复检系统安装有两个传感系统,使得CCD探头的初始聚焦值能够通过两个传感系统的测出的距离精准确定,避免平板玻璃的翘曲和倾斜对基准面测量的影响。本专利技术还公开了一种平板玻璃复检方法,该方法通过两个激光传感测距系统,减小平板玻璃的翘曲和倾斜不利因素,精准的确定平板玻璃内缺陷的位置。【附图说明】图1是复检单激光传感测距系统测距图;图2是复检缺陷分层原理图;图3是面检和复检关联图;图4是复检双激光传感测距系统测距图;图5是平板玻璃下移动双激光传感测距系统测距图;图6是平板玻璃顺时针倾斜双激光传感测距系统测距图;其中:1-面检系统;2-缺陷;3-平板玻璃;4-CCD探头;5-X/Y向移送机构;6-激光发射器;7-光电接收器;8-上表面;9-中间面;10-下表面;11-第一激光传感测距系统;12-第二激光传感测距系统。【具体实施方式】下面结合附图对本专利技术做进一步详细描述。参见图1,本专利技术的复检系统在面检系统1传送机流水线下游,复检系统包括CCD探头4、X/Y向移送机构5、第一激光传感测距系统11,第一激光传感测距系统11包括一个激光发射器6和光电接收器7;X/Y向移送机构5为整个复检系统的支撑和移动驱动机构,固定安装在流水线上,通过平移机构能够沿着玻璃的移动方向-Y向和玻璃的横向方向-X向(Y的垂直方向)移动,X/Y向移送机构5的垂直度≤2/10000;X/Y向移送机构5上固定安装有CCD探头4、激光发射器6和光电接收器7,三者不接触;CCD探头4上固定安装有复检光源,复检光源选用LED发光二极管,波长400nm-800nm,最大功率1.3W,CCD探头4选用分辨率1um矩阵黑白摄像头;复检系统的上游面检系统1通过探测元件对平板玻璃3板边部检测定位,复检使用光栅测定停止平板玻璃3边部位置定位,光栅位置测量装置安装在设备基座上,选用精度0.1mm、响应速度2ms的光栅测位系统。根据光栅测量装置测量玻璃板3边部停留位置值作为复检测量坐标原点,经过伺服电机、编码器和PLC构成闭环控制系统处理,驱动CCD探头4按照面检坐标位本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种平板玻璃缺陷复检系统,其特征在于,包括安装在平板玻璃的生产线上的X/Y向移送机构(5),X/Y向移送机构(5)能够在生产线上沿着X方向和Y方向移动,Y方向为平板玻璃(3)的长度方向,X方向为平板玻璃(3)的宽度方向;X/Y向移送机构(5)上固定安装有CCD探头(4)和第一激光传感测距系统(11),第一激光传感测距系统(11)包括激光发射器(6)和光电接收器(7),激光发射器(6)和光电接收器(7)分别在CCD探头(4)的两侧;测量平板玻璃(3)的缺陷(2)在厚度的位置时,CCD探头(4)在缺陷(2)的上方,对缺陷(2)进行拍照;CCD探头(4)对缺陷(2)拍照时,设定将平板玻璃(3)从上至下分为N层;第一层为平板玻璃(3)的上表面(8),第N层为平板玻璃(3)的下表面(10),N为≥3的自然数。

【技术特征摘要】
1.一种平板玻璃缺陷复检系统,其特征在于,包括安装在平板玻璃的生产线上的X/Y向移送机构(5),X/Y向移送机构(5)能够在生产线上沿着X方向和Y方向移动,Y方向为平板玻璃(3)的长度方向,X方向为平板玻璃(3)的宽度方向;X/Y向移送机构(5)上固定安装有CCD探头(4)和第一激光传感测距系统(11),第一激光传感测距系统(11)包括激光发射器(6)和光电接收器(7),激光发射器(6)和光电接收器(7)分别在CCD探头(4)的两侧;测量平板玻璃(3)的缺陷(2)在厚度的位置时,CCD探头(4)在缺陷(2)的上方,对缺陷(2)进行拍照;CCD探头(4)对缺陷(2)拍照时,设定将平板玻璃(3)从上至下分为N层;第一层为平板玻璃(3)的上表面(8),第N层为平板玻璃(3)的下表面(10),N为≥3的自然数。2.根据权利要求1所述的一种平板玻璃缺陷复检系统,其特征在于,X/Y向移送机构(5)的垂直度≤2/10000。3.根据权利要求1所述的一种平板玻璃缺陷复检系统,其特征在于,CCD探头(4)上固定安装有复检光源,复检光源选用LED发光二极管,发射出波长400nm-800nm,功率<1.3W的可见光。4.根据权利要求1所述的一种平板玻璃缺陷复检系统,其特征在于,激光发射器(6)发射出的激光束的波长为650nm。5.根据权利要求1所述的一种平板玻璃缺陷复检系统,其特征在于,CCD探头(4)选用分辨率为1um矩阵黑白摄像头。6.根据权利要求1所述的一种平板玻璃缺陷复检系统,其特征在于,X/Y向移送机构(5)上固定安装有第二激光传感测距系统(12...

【专利技术属性】
技术研发人员:焦宗平梁中慧
申请(专利权)人:彩虹显示器件股份有限公司
类型:发明
国别省市:陕西,61

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