运动平台及其工作方法、检测设备及检测方法技术

本发明专利技术属于半导体处理设备技术领域，尤其涉及一种运动平台及其工作方法、检测设备及检测方法，运动平台包括：底座；设置于所述底座的第一旋转机构，包括第一旋转台和第一驱动组件；设置在所述第一旋转台上的第二旋转机构，用于绕第二旋转轴旋转；设置在所述第一旋转台上的第一卡盘；第二卡盘，固定于所述第一旋转台外露于所述第一卡盘的一侧，所述第二旋转机构用于驱动所述第二卡盘绕所述第二旋转轴旋转，所述第一卡盘的顶面与所述第二卡盘的顶面齐平。本发明专利技术的运动平台，由于第一旋转机构和第二旋转机构采用层叠设计，能保证对两个半片基板进行旋转的独立性，也能完成一个半片基板或对整片基板的旋转，适用性大大提高。

【技术实现步骤摘要】
运动平台及其工作方法、检测设备及检测方法
本专利技术属于半导体处理设备
，尤其涉及一种运动平台及其工作方法、检测设备及检测方法。
技术介绍
在工业加工的过程中，常需要对成品进行检测或对半成品进一步加工，需要使用具有旋转功能的运动平台进行支撑，例如在OLED玻璃基板的检测与加工的过程就常使用这些运动平台。随着技术的发展，基板的工艺越来越优化，检测的方式也多种多样；在传统的基板检测领域，如对OLED玻璃基板的缺陷检测，一台检测设备中的运动平台大多只能满足同一代整片基板下的运动检测，不能满足同一代基板2个半片的检测，单台检测设备的功能较为单一，需要检测两个半片基板时要购置另外的检测设备，使得检测成本较大。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种运动平台，旨在解决现有技术中的运动平台适用性较小的技术问题。为实现上述目的，本专利技术采用的技术方案是：一种运动平台，包括：底座；设置于所述底座的第一旋转机构，包括第一旋转台和用于驱动所述第一旋转台绕第一旋转轴旋转的第一驱动组件；设置在所述第一旋转台上的第二旋转机构，用于绕第二旋转轴旋转，所述第二旋转轴与所述第一旋转轴平行；设置在所述第一旋转台上的第一卡盘，所述第一旋转台的一侧外露于所述第一卡盘；第二卡盘，固定于所述第一旋转台外露于所述第一卡盘的一侧，所述第二旋转机构用于驱动所述第二卡盘绕所述第二旋转轴旋转，所述第一卡盘的顶面与所述第二卡盘的顶面齐平。进一步地，所述底座设置有第一直线滑轨，所述第一旋转机构与所述第一直线滑轨滑动连接。进一步地，所述第一旋转机构还包括设置于所述底座和所述第一旋转台之间的承载板，所述第一驱动组件包括设置于所述承载板的第一驱动源，所述承载板与所述第一旋转台之间设有第一弧形滑轨组件，所述第一旋转台与所述第一弧形滑轨组件滑动连接，所述第一驱动源用于驱动所述第一旋转台沿所述第一弧形滑轨组件滑动，进而带动所述第一卡盘和所述第二卡盘绕所述第一旋转轴旋转。进一步地，所述第二旋转机构包括设置在所述第一旋转台的第二驱动源，所述第二卡盘底面连接固定有第二旋转台，所述第二旋转台与所述第一旋转台之间设有第二弧形滑轨组件，所述第二旋转台与所述第二弧形滑轨组件滑动连接，所述第二驱动源用于驱动所述第二旋转台沿所述第二弧形滑轨组件滑动，进而带动所述第二卡盘绕所述第二旋转轴旋转。进一步地，所述运动平台还包括多个第一辅助支撑机构和/或多个第二辅助支撑机构，所述第一辅助支撑机构设置于所述承载板与所述第一旋转台之间，第一辅助支撑机构用于支撑所述第一旋转台并用于使所述第一旋转台绕所述第一旋转轴旋转，所述第二辅助支撑机构设置于所述第一旋转台与所述第二旋转台之间，第二辅助支撑机构用于支撑所述第二旋转台并用于使所述第二旋转台绕所述第二旋转轴旋转。进一步地，所述第一辅助支撑机构包括固定于所述承载板上的第二直线滑轨、滑动连接于所述第二直线滑轨的第一滑板和设置在所述第一滑板上的第三直线滑轨，所述第三直线滑轨与所述第二直线滑轨的延伸方向不相同，所述第一旋转台与所述第三直线滑轨滑动连接；所述第二辅助支撑机构包括固定于所述第一旋转台上的第四直线滑轨、滑动连接于所述第四直线滑轨的第二滑板和设置在所述第二滑板上的第五直线滑轨，所述第五直线滑轨与所述第四直线滑轨的延伸方向不相同，所述第二旋转台与所述第五直线滑轨滑动连接。进一步地，所述第一弧形滑轨组件包括至少一组弧形滑轨，每组弧形滑轨包括两段弧形滑轨，所述两段弧形滑轨的圆心重合且相对设置；和/或所述第二弧形滑轨组件包括至少一组弧形滑轨，每组弧形滑轨包括两段弧形滑轨，所述两段弧形滑轨的圆心重合且相对设置。一种上述运动平台的工作方法，包括以下步骤：提供第一半片基板；将所述第一半片基板安装于所述第一卡盘或第二卡盘；控制所述第一驱动组件带动所述第一旋转台旋转第一预定角度。进一步地，还包括：提供第二半片基板；安装所述第二半片基板，使所述第二半片基板和第一半片基板分别位于所述第一卡盘和第二卡盘上；所述第一旋转台旋转第一预定角度之后，还包括：使所述第二旋转机构带动所述第二卡盘绕第二旋转轴旋转第二预定角度。一种上述运动平台的工作方法，包括以下步骤：提供第二半片基板；将所述第二半片基板安装于所述第二卡盘；控制所述第二旋转机构带动所述第二旋转台旋转第三预定角度；或者，提供一整片基板；将所述一整片基板安装于第一卡盘和第二卡盘；控制所述第一驱动组件带动所述第一旋转台旋转第四预定角度，以带动所述整片基板旋转第四预定角度。一种检测设备，包括：上述运动平台；检测装置，用于对所述第一卡盘和/或所述第二卡盘表面的基板进行检测。一种检测方法，包括以下步骤：提供上述检测设备；提供基板，所述基板包括第一半片基板、第二半片基板或整片基板；采用上述运动平台的工作方法对所述运动平台进行调整处理；所述调整处理之后，通过检测装置对所述基板进行检测。进一步地，所述运动平台还包括设置于所述底座的第一直线滑轨；对所述基板进行检测的步骤包括：通过所述第一卡盘带动所述基板沿所述第一直线滑轨移动，使所述检测装置对所述基板进行扫描。本专利技术的有益效果：本专利技术的运动平台，由于第一旋转机构和第二旋转机构采用层叠设计，能保证对两个半片基板进行旋转的独立性，也能完成一个半片、两个半片或对整片基板进行旋转，减少了额外购置检测设备或加工设备的成本，第一驱动组件驱动第一旋转台旋转至预定角度后，能带动安装于第一卡盘和第二卡盘的整片基板旋转，或者带动安装于第一卡盘和/或第二卡盘的半片基板旋转，第二旋转机构驱动第二卡盘旋转至预定角度后，能带动安装于第二卡盘的半片基板旋转，适用性大大提高，拓展了运动平台的功能。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本专利技术实施例提供的运动平台的立体结构示意图；图2为图1所示运动平台的侧视结构示意图；图3为图1所示运动平台另一角度的侧视结构示意图；图4为图1所示运动平台的俯视结构示意图；图5为图1所示运动平台的爆炸结构示意图；图6为图5所示运动平台中承载板的立体结构示意图；图7为图5所示运动平台中第一驱动源的放大示意图；图8为图5所示运动平台中第一辅助支撑机构的放大示意图；图9为一实施例提供的运动平台的工作方法的流程框图；图10为另一实施例提供的运动平台的工作方法的流程框图；图11为又一实施例提供的运动平台的工作方法的流程框图；图12为一实施例提供的检测方法的流程框图。其中，图中各附图标记：10—运动平台100—底座110—第一直线滑轨111—定子112—动子113—光栅尺114—光栅尺读数头120—支撑台121—支撑地脚130—隔振器200—承载板201—凹槽210—第一弧形滑轨组件220—第一辅助支撑机构221—第二直线滑轨222—第一滑板223—第三直线滑轨224—第一连接件300—第一旋转台310—第二弧形滑轨组件320—第二辅助支撑机构400—第一驱动源410—固定座420—驱动电机430—第六直线导轨440—丝杆450—螺母固定块451—第七直线导轨460—第二连接件461本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种运动平台，其特征在于：包括：底座；设置于所述底座的第一旋转机构，包括第一旋转台和用于驱动所述第一旋转台绕第一旋转轴旋转的第一驱动组件；设置在所述第一旋转台上的第二旋转机构，用于绕第二旋转轴旋转，所述第二旋转轴与所述第一旋转轴平行；设置在所述第一旋转台上的第一卡盘，所述第一旋转台的一侧外露于所述第一卡盘；第二卡盘，固定于所述第一旋转台外露于所述第一卡盘的一侧，所述第二旋转机构用于驱动所述第二卡盘绕所述第二旋转轴旋转，所述第一卡盘的顶面与所述第二卡盘的顶面齐平。

【技术特征摘要】
1.一种运动平台，其特征在于：包括：底座；设置于所述底座的第一旋转机构，包括第一旋转台和用于驱动所述第一旋转台绕第一旋转轴旋转的第一驱动组件；设置在所述第一旋转台上的第二旋转机构，用于绕第二旋转轴旋转，所述第二旋转轴与所述第一旋转轴平行；设置在所述第一旋转台上的第一卡盘，所述第一旋转台的一侧外露于所述第一卡盘；第二卡盘，固定于所述第一旋转台外露于所述第一卡盘的一侧，所述第二旋转机构用于驱动所述第二卡盘绕所述第二旋转轴旋转，所述第一卡盘的顶面与所述第二卡盘的顶面齐平。2.根据权利要求1所述的运动平台，其特征在于：所述底座设置有第一直线滑轨，所述第一旋转机构与所述第一直线滑轨滑动连接。3.根据权利要求1所述的运动平台，其特征在于：所述第一旋转机构还包括设置于所述底座和所述第一旋转台之间的承载板，所述第一驱动组件包括设置于所述承载板的第一驱动源，所述承载板与所述第一旋转台之间设有第一弧形滑轨组件，所述第一旋转台与所述第一弧形滑轨组件滑动连接，所述第一驱动源用于驱动所述第一旋转台沿所述第一弧形滑轨组件滑动，进而带动所述第一卡盘和所述第二卡盘绕所述第一旋转轴旋转。4.根据权利要求1或3所述的运动平台，其特征在于：所述第二旋转机构包括设置在所述第一旋转台的第二驱动源，所述第二卡盘底面连接固定有第二旋转台，所述第二旋转台与所述第一旋转台之间设有第二弧形滑轨组件，所述第二旋转台与所述第二弧形滑轨组件滑动连接，所述第二驱动源用于驱动所述第二旋转台沿所述第二弧形滑轨组件滑动，进而带动所述第二卡盘绕所述第二旋转轴旋转。5.根据权利要求3所述的运动平台，其特征在于：所述运动平台还包括多个第一辅助支撑机构和/或多个第二辅助支撑机构，所述第一辅助支撑机构设置于所述承载板与所述第一旋转台之间，第一辅助支撑机构用于支撑所述第一旋转台并用于使所述第一旋转台绕所述第一旋转轴旋转，所述第二辅助支撑机构设置于所述第一旋转台与所述第二旋转台之间，第二辅助支撑机构用于支撑所述第二旋转台并用于使所述第二旋转台绕所述第二旋转轴旋转。6.根据权利要求5所述的运动平台，其特征在于：所述第一辅助支撑机构包括固定于所述承载板上的第二直线滑轨、滑动连接于所述第二直线滑轨的第一滑板和设置在所述第一滑板上的第三直线滑轨，所述第三直线滑轨与所述第二直线滑轨的延伸方向不相同，所述第一旋转台与所述第三直线...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈鲁，庞芝亮，黄有为，
申请(专利权)人：深圳中科飞测科技有限公司，
类型：发明
国别省市：广东,44