实现超真空状态的冷凝头控制系统技术方案

技术编号:20890720 阅读:22 留言:0更新日期:2019-04-17 14:09
本实用新型专利技术提出了一种实现超真空状态的冷凝头控制系统,包括:冷头控制器隔离阀控制端连接隔离阀工作端,冷头控制器加热工作端连接加热器工作端,冷头控制器真空规控制端连接真空规工作端,冷头控制器清洗工作端连接清洗阀工作端,冷头控制器粗抽控制端连接粗抽阀工作端,冷头控制器电机工作端连接冷头电机工作端,冷头控制器显示工作端连接触摸屏工作端,冷头控制器远程控制端连接远程终端工作端。

【技术实现步骤摘要】
实现超真空状态的冷凝头控制系统
本技术涉及电子电路领域,尤其涉及一种实现超真空状态的冷凝头控制系统。
技术介绍
现有技术中,实现超真空状态主要采用冷凝的方式,将冷凝罐中的空气进行冷却凝结,使冷却后的气体形成固态,吸附在冷凝头上,但是吸附之后的固体状态的空气物质,无法进行清除,这就造成了冷凝头无法再次使用,或者吸附气体的能力降低,无法达到预先设置的真空环境,这就亟需本领域技术人员解决相应的技术问题。
技术实现思路
本技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题,特别创新地提出了一种实现超真空状态的冷凝头控制系统。为了实现本技术的上述目的,本技术提供了一种实现超真空状态的冷凝头控制系统,包括:冷头控制器隔离阀控制端连接隔离阀工作端,冷头控制器加热工作端连接加热器工作端,冷头控制器真空规控制端连接真空规工作端,冷头控制器清洗工作端连接清洗阀工作端,冷头控制器粗抽控制端连接粗抽阀工作端,冷头控制器电机工作端连接冷头电机工作端,冷头控制器显示工作端连接触摸屏工作端,冷头控制器远程控制端连接远程终端工作端;温度测量电路信号输出端连接MCU温度信号输入端,真空测量电路信号输出端连接MCU真空信号输入端,远程隔离输入电路信号端连接MCU输入信号端,远程隔离输出电路信号端连接MCU输出信号端,冷头电机信号端连接电机变频驱动电路信号输出端,电机变频驱动电路信号输入端连接MCU电机工作信号端。所述的实现超真空状态的冷凝头控制系统,优选的,所述温度测量电路包括:第一温度传感器第一端分别连接第31二极管负极和第32电阻一端,第31二极管正极分别连接第34电阻一端和第一稳压器电源负极端,第32电阻另一端连接第31可调电阻一端,第31可调电阻调节端连接第33电阻一端,第33电阻另一端连接第34电阻另一端,第31可调电阻另一端连接第一稳压器电阻端,第一稳压器电源正极端分别连接第31电容一端和第30电阻一端,第31电容另一端接地,第30电阻另一端分别连接第31电阻一端和第30电容一端,第30电容另一端接地,第30电容一端还连接第10电感一端,第10电感另一端连接5V电源端,第31电阻另一端分别连接第二稳压器电源正极端和第32电容一端,第32电容另一端接地,第一温度传感器第二端连接第34电容一端,第34电容另一端分别连接第35电阻一端和第一运算放大器第一正极输入端,第35电阻另一端分别连接第31二极管负极和第33电容一端,第33电容另一端分别连接第34电容一端和接地,第二温度传感器第一端分别连接第32二极管负极和第36电阻一端,第36电阻另一端分别连接第32可调电阻一端和第32可调电阻调节端,第32可调电阻另一端连接第二稳压器电阻端,第32可调电阻调节端连接第37电阻一端,第37电阻另一端连接第38电阻一端,第38电阻另一端分别连接地点32二极管正极和第二稳压器电源负极端,第36电容一端分别连接第一运算放大器第二正极输入端和第39电阻一端,第39电阻另一端分别连接第32二极管负极和第35电容一端,第35电容另一端分别连接第36电容另一端和第二温度传感器第二端,第一运算放大器第一输出端连接第310电阻一端,第310电阻另一端连接第一称重芯片信号输入端,第一运算放大器第二输出端连接第312电阻一端,第312电阻另一端分别连接第313电阻一端和第39电容一端,第39电容另一端分别连接第313电阻另一端和第38电容一端,第38电容另一端分别连接第311电阻一端和第310电阻另一端,第311电阻另一端分别连接第38电容一端和第37电阻另一端,第一称重芯片信号输出端连接MCU温度测量信号端。所述的实现超真空状态的冷凝头控制系统,优选的,远程隔离输出电路包括:第三稳压器输入端连接24V电源端,第三稳压器输出端连接第47电阻一端,第47电阻另一端分别连接第三稳压器校正端和第24二极管负极,第24二极管正极接地,第47电阻另一端还连接真空规控制继电器常开触点一端,真空规控制继电器常开触点另一端连接清洗阀控制继电器常开触点一端,清洗阀控制继电器常开触点另一端连接粗抽阀控制继电器常开触点一端,真空规控制继电器线圈一端连接IC控制器第一输出端,清洗阀控制继电器线圈一端连接IC控制器第二输出端,粗抽阀控制继电器线圈一端连接IC控制器第三输出端,真空规控制继电器线圈另一端分别连接清洗阀控制继电器线圈另一端、粗抽阀控制继电器线圈另一端、开关控制继电器线圈一端和24V电源,开关控制继电器线圈另一端连接IC控制器第四输出端,IC控制器第五输出端连接第23电阻一端,第23电阻另一端连接第一加热器单相固态继电器第四端,第一加热器单相固态继电器第三端分别连接第一加热器控制继电器线圈一端和第二加热器控制继电器线圈一端,第一加热器单相固态继电器第二端分别连接开关控制继电器常开触点一端和第二加热器单相固态继电器第二端,第一加热器单相固态继电器第一端连接第22保险丝一端,第22保险丝另一端连接第一加热器,IC控制器第六输出端连接第24电阻一端,第24电阻另一端连接第二加热器单相固态继电器第四端,IC控制器第七输出端连接第一加热器控制继电器线圈另一端,IC控制器第八输出端连接第二加热器控制继电器线圈另一端,第二加热器单相固态继电器第一端连接第21保险丝一端,第21保险丝另一端连接第二加热器。所述的实现超真空状态的冷凝头控制系统,优选的,所述真空测量电路包括:通过真空控制信号端连接第42电阻一端,第42电阻另一端分别连接第43电阻一端和第43电容一端,第43电阻一端还连接第二称重芯片正极输入端,第二称重芯片工作信号端连接MCU真空测量信号端。所述的实现超真空状态的冷凝头控制系统,优选的,远程隔离接口电源端连接第四稳压器输出端,第四稳压器输入端连接直流隔离电路输出端,远程隔离接口输出端还连接第一光耦输入端,第一光耦输出端连接MCU远程隔离信号输入端。所述的实现超真空状态的冷凝头控制系统,优选的,所述电源管理电路包括:跳线一端分别连接第01二极管正极和第01单向可控硅正极,第01二极管负极分别连接第01电阻一端和第03电容一端,第01电阻另一端分别连接第02二极管正极和第二光耦输入端,第02二极管负极连接第01单向可控硅输出端,第01单向可控硅负极分别连接第二光耦使能端和第01稳压二极管正极,第01稳压二极管负极分别连接第02二极管正极和第04电容一端,第04电容另一端分别连接第01稳压二极管正极和第03电阻一端,第03电阻另一端分别连接第二光耦正极输出端和第02稳压二极管负极,第02稳压二极管正极分别连接整流桥负极电源端和第03电容另一端,整流桥正极电源端连接跳线一端,第03稳压二极管正极分别连接第02稳压二极管正极和第06电阻一端,第06电阻另一端分别连接第03稳压二极管输出端和第05电阻一端,第05电阻另一端分别连接第04电阻一端,第04电阻另一端分别连接第03电阻一端和跳线另一端,跳线另一端还分别连接第07电阻一端和第09电阻一端,第07电阻另一端分别连接第04稳压二极管负极、第08电阻一端和过压保护器电源端,过压保护器输出端分别连接第012电阻一端和第01三极管栅极,第012电阻另一端分别连接第011电阻一端和第05稳压二极管正极,第05稳压二极管负极分别本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种实现超真空状态的冷凝头控制系统,其特征在于,包括:冷头控制器隔离阀控制端连接隔离阀工作端,冷头控制器加热工作端连接加热器工作端,冷头控制器真空规控制端连接真空规工作端,冷头控制器清洗工作端连接清洗阀工作端,冷头控制器粗抽控制端连接粗抽阀工作端,冷头控制器电机工作端连接冷头电机工作端,冷头控制器显示工作端连接触摸屏工作端,冷头控制器远程控制端连接远程终端工作端;温度测量电路信号输出端连接MCU温度信号输入端,真空测量电路信号输出端连接MCU真空信号输入端,远程隔离输入电路信号端连接MCU输入信号端,远程隔离输出电路信号端连接MCU输出信号端,冷头电机信号端连接电机变频驱动电路信号输出端,电机变频驱动电路信号输入端连接MCU电机工作信号端。

【技术特征摘要】
1.一种实现超真空状态的冷凝头控制系统,其特征在于,包括:冷头控制器隔离阀控制端连接隔离阀工作端,冷头控制器加热工作端连接加热器工作端,冷头控制器真空规控制端连接真空规工作端,冷头控制器清洗工作端连接清洗阀工作端,冷头控制器粗抽控制端连接粗抽阀工作端,冷头控制器电机工作端连接冷头电机工作端,冷头控制器显示工作端连接触摸屏工作端,冷头控制器远程控制端连接远程终端工作端;温度测量电路信号输出端连接MCU温度信号输入端,真空测量电路信号输出端连接MCU真空信号输入端,远程隔离输入电路信号端连接MCU输入信号端,远程隔离输出电路信号端连接MCU输出信号端,冷头电机信号端连接电机变频驱动电路信号输出端,电机变频驱动电路信号输入端连接MCU电机工作信号端。2.根据权利要求1所述的实现超真空状态的冷凝头控制系统,其特征在于,所述温度测量电路包括:第一温度传感器第一端分别连接第31二极管负极和第32电阻一端,第31二极管正极分别连接第34电阻一端和第一稳压器电源负极端,第32电阻另一端连接第31可调电阻一端,第31可调电阻调节端连接第33电阻一端,第33电阻另一端连接第34电阻另一端,第31可调电阻另一端连接第一稳压器电阻端,第一稳压器电源正极端分别连接第31电容一端和第30电阻一端,第31电容另一端接地,第30电阻另一端分别连接第31电阻一端和第30电容一端,第30电容另一端接地,第30电容一端还连接第10电感一端,第10电感另一端连接5V电源端,第31电阻另一端分别连接第二稳压器电源正极端和第32电容一端,第32电容另一端接地,第一温度传感器第二端连接第34电容一端,第34电容另一端分别连接第35电阻一端和第一运算放大器第一正极输入端,第35电阻另一端分别连接第31二极管负极和第33电容一端,第33电容另一端分别连接第34电容一端和接地,第二温度传感器第一端分别连接第32二极管负极和第36电阻一端,第36电阻另一端分别连接第32可调电阻一端和第32可调电阻调节端,第32可调电阻另一端连接第二稳压器电阻端,第32可调电阻调节端连接第37电阻一端,第37电阻另一端连接第38电阻一端,第38电阻另一端分别连接地点32二极管正极和第二稳压器电源负极端,第36电容一端分别连接第一运算放大器第二正极输入端和第39电阻一端,第39电阻另一端分别连接第32二极管负极和第35电容一端,第35电容另一端分别连接第36电容另一端和第二温度传感器第二端,第一运算放大器第一输出端连接第310电阻一端,第310电阻另一端连接第一称重芯片信号输入端,第一运算放大器第二输出端连接第312电阻一端,第312电阻另一端分别连接第313电阻一端和第39电容一端,第39电容另一端分别连接第313电阻另一端和第38电容一端,第38电容另一端分别连接第311电阻一端和第310电阻另一端,第311电阻另一端分别连接第38电容一端和第37电阻另一端,第一称重芯片信号输出端连接MCU温度测量信号端。3.根据权利要求1所述的实现超真空状态的冷凝头控制系统,其特征在于,远程隔离输出电路包括:第三稳压器输入端连接24V电源端,第三稳压器输出端连接第47电阻一端,第47电阻另一端分别连接第三稳压器校正端和第24二极管负极,第24二极管正极接地,第47电阻另一端还连接真空规控制继电器常开触点一端,真空规控制继电器常开触点另一端连接清洗阀控制继电器常开触点一端,清洗阀控制继电器常开触点另一端连接粗抽阀控制继电器常开触点一端,真空规控制继电器线圈一端连接IC控制器第一输出端,清洗阀控制继电器线圈一端连接IC控制器第二输出端,粗抽阀控制继电器线圈一端连接IC控制器第三输出端,真空规控制继电器线圈另一端分别连接清洗阀控制继电器线圈另一端、粗抽阀控制继电器线圈另一端、开关控制继电器线圈一端和24V电源,开关控制继电器线圈另一端连接IC控制器第四输出端,IC控制器第五输出端连接第23电阻一端,第23电阻另一端连接第一加热器单相固态继电器第四端,第一加热器单相固态继电器第三端分别连接第一加热器控制继电器线圈一端和第二加热器控制继电器线圈一端,第一加热器单相固态继电器第二端分别连接开关控制继电器常开触点一端和第二加热器单相固态继电器第二端,第一加热器单相固态继电器第一端连接第22保险丝一端,第22保险丝另一端连接第一加热器,IC控制器第六输出端连接第24电阻一端,第24电阻另一端连接第二加热器单相固态继电器第四端,IC控制器第七输出端连接第一加热器控制继电器线圈另一端,IC控制器第八输出端连接第二加热器控制继电器线圈另一端,第二加热器单相固态继电器第一端连接第21保险丝一端,第21保险丝另一端连接第二加热器。4.根据权利要求1所述的实现超真空状态的冷凝头控制系统,其特征在于,所述真空测量电路包括:通过真空控制信号端连接第42电阻一端,第42电阻另一端分别连接第43电阻一端和第43电容一端,第43电阻一端还连接第二称重芯片正极输入端,第二称重芯片工作信号端连接MCU真空测量信号端。5.根据权利要求1所述的实现超真空状态的冷凝头控制系统,其特征在于,远程隔离接口电源端连接第四稳压器输出端,第四稳压器输入端连接直流隔离电路输出端,远程隔离接口输出端还连接第一光耦输入端,第一光耦输出端连接MCU远程隔离信号输入端。6.根据权利要求1所述的实现超真空状态的冷凝头控制系统,其特征在于,还包括:电源管理电路,该电源管理电路为,跳线一端分别连接第01二极管正极和第01单向可控硅正极,...

【专利技术属性】
技术研发人员:蔡国进杨世刚
申请(专利权)人:重庆金鹰自动化工程有限公司
类型:新型
国别省市:重庆,50

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