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本实用新型提出了一种实现超真空状态的冷凝头控制系统,包括:冷头控制器隔离阀控制端连接隔离阀工作端,冷头控制器加热工作端连接加热器工作端,冷头控制器真空规控制端连接真空规工作端,冷头控制器清洗工作端连接清洗阀工作端,冷头控制器粗抽控制端连接粗...该专利属于重庆金鹰自动化工程有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过重庆金鹰自动化工程有限公司授权不得商用。
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本实用新型提出了一种实现超真空状态的冷凝头控制系统,包括:冷头控制器隔离阀控制端连接隔离阀工作端,冷头控制器加热工作端连接加热器工作端,冷头控制器真空规控制端连接真空规工作端,冷头控制器清洗工作端连接清洗阀工作端,冷头控制器粗抽控制端连接粗...