一种高透射率的原子束显微装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及对材料的显微技术领域，一种高透射率的原子束显微装置，包括储气罐、气管、由腔体I和腔体II连接成的真空腔体、喷射头、分流器、气体透射窗片、原子衍射片、第一阶菲涅尔环带透射区域上的通孔、第二阶菲涅尔环带透射区域上的通孔、探测器I、样品、样品台、计算机、探测器II、抽气口I、真空泵组I、抽气口II、真空泵组II，探测器I和探测器II分别探测被样品表面反射的原子，并以差分对模式工作，采用具有通孔的原子衍射片，原子衍射片易于加工，且通孔按照相应的菲涅尔区有序排列，增加了一定原子束流横截面积上的通孔总面积，提高了原子束流的透射率，能够得到锐利的聚焦束斑，并能够抑制更高阶的衍射，增加了装置的信噪比。

【技术实现步骤摘要】
一种高透射率的原子束显微装置
本技术涉及对材料的显微
，尤其是一种具有特殊设计的原子衍射片的一种高透射率的原子束显微装置。
技术介绍
在显微
，现有电子显微镜只能对导电样品进行成像，且其工作时发射出的电子束的能量较高，会使某些较为敏感的样品表面受到辐射损伤。原子束显微镜能够克服以上缺陷，对易损或绝缘样品进行成像，其通常采用惰性气体原子作为发射原子，惰性气体原子束能量很低，且化学性质非常稳定，这些因素使原子束显微镜能够非破坏性地得到样品表面图像。原子束显微镜的工作原理是：在高真空中，自由原子流通过喷嘴和孔径形成一束气体原子束射向样品表面，同时令样品或孔径在二维平面内扫描，采用质量过滤探测器探测被样品表面反射的原子，并根据气体分压输出图像密度信号。现有技术存在的缺陷是在原子束显微镜的一种工作方式中，采用菲涅尔波带片将原子以德布罗意物质波的形式聚焦，终极的分辨率由菲涅尔区最外侧的波带的波长所决定，由于原子束流的能量较低，原子不会穿透固态材料，因此菲涅尔波带片上用于透射原子的环必须采用无支撑的结构，这在加工上具有较大难度，另外，某些采用通孔结构的原子衍射片的通孔是随机分布的，其缺本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种高透射率的原子束显微装置，主要包括储气罐(1)、气管(2)、由腔体I(3‑1)和腔体II(3‑2)连接成的真空腔体(3)、喷射头(4)、分流器(5)、气体透射窗片(6)、原子衍射片(7)、第一阶菲涅尔环带透射区域上的通孔(7‑1)、第二阶菲涅尔环带透射区域上的通孔(7‑2)、探测器I(8)、样品(9)、样品台(10)、计算机(11)、探测器II(12)、抽气口I(13)、真空泵组I(14)、抽气口II(15)、真空泵组II(16)，所述腔体I(3‑1)和腔体II(3‑2)通过分流器(5)连接，腔体II(3‑2)通过抽气口I(13)连接真空泵组I(14)，腔体I(3‑1)通过抽气口II(...

【技术特征摘要】
1.一种高透射率的原子束显微装置，主要包括储气罐(1)、气管(2)、由腔体I(3-1)和腔体II(3-2)连接成的真空腔体(3)、喷射头(4)、分流器(5)、气体透射窗片(6)、原子衍射片(7)、第一阶菲涅尔环带透射区域上的通孔(7-1)、第二阶菲涅尔环带透射区域上的通孔(7-2)、探测器I(8)、样品(9)、样品台(10)、计算机(11)、探测器II(12)、抽气口I(13)、真空泵组I(14)、抽气口II(15)、真空泵组II(16)，所述腔体I(3-1)和腔体II(3-2)通过分流器(5)连接，腔体II(3-2)通过抽气口I(13)连接真空泵组I(14)，腔体I(3-1)通过抽气口II(15)连接真空泵组II(16)，探测器I(8)和探测器II(12)相同；喷射头(4)位于腔体I(3-1)内，喷射头(4)通过气管(2)与真空腔体(3)外的储气罐(1)连接，喷射头(4)出口与分流器(5)的入口相对，所述气体透射窗片(6)、原子衍射片(7)、探测器I(8)、探测器II(12)、样品(9)和样品台(10)均位于腔体II(3-2)内，气体透射窗片(6)位于分流器(5)与原子衍射片(7)之间，样品(9)固定于样品台(10)上且位于原子衍射片(7)后方，样品(9)表面垂直于喷射头(4)出口与分流器(5)的入口的连线，探测器I(8)和探测器II(12)分别位于样品(9)表面两侧，样品台(10)能够三维移动，样品台(10)、探测器I(8)和探测器II(12)分别电...

【专利技术属性】
技术研发人员：李凡，张向平，
申请(专利权)人：金华职业技术学院，
类型：新型
国别省市：浙江,33