一种设有金属隔离层的内衬式防腐装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种设有金属隔离层的内衬式防腐装置，包括管件本体和防腐内衬层，防腐内衬层与管件本体的内壁之间设有隔离层，隔离层与管件本体的内壁连接和固定，同时隔离层与防腐内衬层连接形成整体结构。隔离层由氟塑料制成，隔离层通过注塑方式与管件本体连接和固定；所述防腐内衬层通过注塑方式与隔离层连接和固定。本发明专利技术在管件本体和防腐内衬层之间增设隔离层，隔绝了管件注塑过程中金属离子的渗透和污染，使得注塑的防腐内衬层更加洁净，从而保证化学清洗剂不受污染。本发明专利技术解决了传统注塑方式金属离子易渗透到注塑内衬层中，并污染化学清洗剂的问题，从而能够有效保障半导体器件的产品质量。

【技术实现步骤摘要】
一种设有金属隔离层的内衬式防腐装置
本专利技术涉及防腐管件
，尤其是一种设有金属隔离层的内衬式防腐装置。
技术介绍
在半导体器件的生产中，硅片是制造半导体器件的核心材料。由于硅片表面存在着自由力场，因而与硅片接触的杂质微粒将被它吸住，例如，一些不利的杂质(有机杂质和无机杂质)沾污硅片表面，它往往会改变半导体表面的性质，对于金属离子沾污，必须采用化学的方法才能清洗其沾污。因此，半导体行业对于储存和输送化学清洗剂的容器和管道要求极高，不能产生金属离子污染。目前，半导体行业用的管道及其管件，通常是在金属管件内部通过注塑获得的防腐内衬层来隔离金属和化学清洗剂，但是在管件加工的注塑操作过程中，仍然会有少量的金属离子渗透到注塑内衬层中，使用时有可能污染化学清洗剂，进而影响半导体器件的产品质量。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种管件本体和防腐内衬层之间增设隔离层的设有金属隔离层的内衬式防腐装置。本专利技术的目的是通过采用以下技术方案来实现的：一种设有金属隔离层的内衬式防腐装置，包括管件本体和防腐内衬层，防腐内衬层与管件本体的内壁连接和固定，所述防腐内衬层与管件本体的内壁之间设有隔离层，隔离层与管件本体的内壁连接和固定，同时隔离层与防腐内衬层连接形成整体结构。作为本专利技术的优选技术方案，所述隔离层的材料包括塑料或涂料，隔离层通过注塑或喷涂方式覆盖到管件本体内壁的表面。作为本专利技术的优选技术方案，所述隔离层由氟塑料制成，氟塑料包括PFA、PTFE、PVDF、FEP、ECTFE、ETFE。作为本专利技术的优选技术方案，所述隔离层通过注塑方式与管件本体连接和固定。作为本专利技术的优选技术方案，所述防腐内衬层由氟塑料制成，氟塑料包括PFA、PTFE、PVDF、FEP、ECTFE、ETFE。作为本专利技术的优选技术方案，所述防腐内衬层通过注塑方式与隔离层连接和固定。作为本专利技术的优选技术方案，所述管件本体由金属材料制成，管件本体包括管道、塔节、三通、四通、弯头、大小头、管帽、管接头、短节。本专利技术的有益效果是：相对于现有技术，本专利技术在管件本体和防腐内衬层之间增设隔离层，隔绝了管件注塑过程中金属离子的渗透和污染，使得注塑的防腐内衬层更加洁净，从而保证化学清洗剂不受污染。本专利技术解决了传统注塑方式金属离子易渗透到注塑内衬层中，并污染化学清洗剂的问题，从而能够有效保障半导体器件的产品质量。附图说明图1是本专利技术的结构示意图。图中：1、管件本体，2、防腐内衬层，3、隔离层，4、法兰。具体实施方式下面结合附图与具体实施例对本专利技术作进一步说明：如图1所示，一种设有金属隔离层的内衬式防腐装置，包括管件本体1和防腐内衬层2，防腐内衬层2与管件本体1的内壁连接和固定，防腐内衬层2与管件本体1的内壁之间设有隔离层3，隔离层3与管件本体1的内壁连接和固定，同时隔离层3与防腐内衬层2连接形成整体结构。所述隔离层3的材料包括塑料或涂料，隔离层3通过注塑或喷涂方式覆盖到管件本体内壁的表面。本实施例管件本体1的两端设有法兰4，所述隔离层3由氟塑料制成，氟塑料包括PFA、PTFE、PVDF、FEP、ECTFE、ETFE；隔离层3通过注塑方式与管件本体1连接和固定。本实施例所述防腐内衬层2由氟塑料制成，氟塑料包括PFA、PTFE、PVDF、FEP、ECTFE、ETFE；所述防腐内衬层2通过注塑方式与隔离层3连接和固定。所述管件本体1由金属材料制成，管件本体1包括管道、塔节、三通、四通、弯头、大小头、管帽、管接头、短节。本专利技术上述实施例以带法兰的管道或塔节为例，管件本体在注塑形成防腐内衬层之前，在管件本体内表面增设隔离层，有效隔绝管件传统注塑工艺过程中金属离子的渗透和污染，使得防腐内衬层更加洁净，从而保证了化学清洗剂不受污染，从而能够进一步提高半导体器件的产品质量。上述实施例仅限于说明本专利技术的构思和技术特征，其目的在于让本领域的技术人员了解专利技术的技术方案和实施方式，并不能据此限制本专利技术的保护范围。凡是根据本专利技术技术方案所作的等同替换或等效变化，都应涵盖在本专利技术权利要求书的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种设有金属隔离层的内衬式防腐装置，包括管件本体和防腐内衬层，防腐内衬层与管件本体的内壁连接和固定，其特征是：所述防腐内衬层与管件本体的内壁之间设有隔离层，隔离层与管件本体的内壁连接和固定，同时隔离层与防腐内衬层连接形成整体结构。

【技术特征摘要】
1.一种设有金属隔离层的内衬式防腐装置，包括管件本体和防腐内衬层，防腐内衬层与管件本体的内壁连接和固定，其特征是：所述防腐内衬层与管件本体的内壁之间设有隔离层，隔离层与管件本体的内壁连接和固定，同时隔离层与防腐内衬层连接形成整体结构。2.根据权利要求1所述的设有金属隔离层的内衬式防腐装置，其特征是：所述隔离层的材料包括塑料或涂料，隔离层通过注塑或喷涂方式覆盖到管件本体内壁的表面。3.根据权利要求2所述的设有金属隔离层的内衬式防腐装置，其特征是：所述隔离层由氟塑料制成，氟塑料包括PFA、PTFE、PVDF、FEP、ECTFE、ETFE。4....

【专利技术属性】
技术研发人员：洪厚军，
申请(专利权)人：江苏瑞能防腐设备有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32