一种磁耦合驱动器及其受力件制造技术

本实用新型专利技术涉及一种磁耦合驱动器及其受力件，受力件包括柱状本体，柱状本体具有供传动轴穿装的中心孔，柱状本体的外周面形成与安装管的内壁面相适配的配合面以使受力件能够依靠该配合面与安装管的内壁面之间实现周向旋转配合和轴向导向移动配合，该配合面上沿周向间隔设置有多个长度沿受力件的轴向方向延伸的通槽。受力件感受磁铁的磁力，不用将传动杆整体做大，而柱状本体的外周面与安装管的内壁面相适配，使得受力件与强磁卡套之间的距离变小，强磁卡套运动时受力件可以很快的反应并带动转动轴做相应运动，同时通槽的设置可以使安装管内受力件两端的安装管腔连通，避免受力件前后移动时形成真空区域阻碍传动轴的运动。

【技术实现步骤摘要】
一种磁耦合驱动器及其受力件
本技术涉及真空设备上用的驱动器,具体涉及一种磁耦合驱动器及其受力件。
技术介绍
在真空镀膜、半导体以及航空航天领域均会用到真空设备，真空设备一般包括真空腔体和设置于真空腔体上的驱动器，传统的驱动器一般为机械式的驱动器，采用电机或驱动缸的方式作为动力输出，但是该方式导致驱动器体积较大，重量较大，而且在工作时电机或驱动缸产生的振动会导致驱动器与真空腔体之间的密封不严等问题。而且采用电机或驱动缸导致整个驱动器的体积较大，安装不方便，尤其对于一些空间狭小的地方。授权公告号为CN204546080U的中国技术专利公开了一种磁耦合真空直线旋转驱动器，包括手柄、强磁卡套、外部主管路、内部移动管路即传动轴和角度调节器，手柄设置于强磁卡套上，结构简单，在操作时通过手柄移动强磁卡套即可带动内部移动管路的移动，解决了上述问题而且整个驱动器通过真空法兰与真空腔体完成密封连接。但是该驱动器在工作时依靠内部移动管路与安装在强磁卡套内的磁铁之间的磁耦合力进行移动的,此时内部移动管路充当受力件,但是在移动强磁卡套时发现内部移动管路反应慢,要使内部移动管路反应快的话需要增加其管径以使内部移本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种磁耦合驱动器受力件，其特征在于：包括柱状本体，柱状本体具有供传动轴穿装的中心孔，柱状本体的外周面形成与安装管的内壁面相适配的配合面以使受力件能够依靠该配合面与安装管的内壁面之间实现周向旋转配合和轴向导向移动配合，该配合面上沿周向间隔设置有多个长度沿受力件的轴向方向延伸的通槽。

【技术特征摘要】
1.一种磁耦合驱动器受力件，其特征在于：包括柱状本体，柱状本体具有供传动轴穿装的中心孔，柱状本体的外周面形成与安装管的内壁面相适配的配合面以使受力件能够依靠该配合面与安装管的内壁面之间实现周向旋转配合和轴向导向移动配合，该配合面上沿周向间隔设置有多个长度沿受力件的轴向方向延伸的通槽。2.根据权利要求1所述的磁耦合驱动器受力件，其特征在于：至少一个通槽的槽底上设有螺钉孔，螺钉孔中安装有顶紧螺丝实现受力件与传动轴的连接。3.根据权利要求1或2所述的磁耦合驱动器受力件，其特征在于：所述通槽为弧形槽。4.根据权利要求1所述的磁耦合驱动器受力件，其特征在于：所述柱状本体采用电磁纯铁材质。5.一种磁耦合驱动器，包括安装管，安装管的端部设置有用于与真空腔体密封连接的安装...

【专利技术属性】
技术研发人员：白红帅，
申请(专利权)人：郑州科锐真空设备有限公司，
类型：新型
国别省市：河南,41