一种多功能磁耦合驱动器及使用该驱动器的真空设备制造技术

本发明专利技术涉及一种多功能磁耦合驱动器及使用该驱动器的真空设备，耦合驱动器包括安装管，安装管的端部设有用于与真空腔体密封连接的安装法兰，安装管内部设置有传动轴，传动轴的端部设置有夹头，传动轴上设置有第一受力件和第二受力件,安装管上设有用于驱动传动轴向前动作及启闭夹头的第一磁耦合驱动结构，安装管上还设有用于驱动传动轴向后动作及旋转夹头的第二耦合驱动结构。传动轴可以在安装管的内部前后动作，第一磁耦合驱动结构可以带动传动轴与夹头一起向前动作且能够使夹头打开和闭合，第二磁耦合驱动结构可以带动传动轴和夹头一起转动且能够带动传动轴和夹头一起转动。使得该驱动器具有多种功能于一身，很好的满足了实际生产中的需要。

【技术实现步骤摘要】
一种多功能磁耦合驱动器及使用该驱动器的真空设备
本专利技术涉及真空设备上用的驱动器,具体涉及一种多功能磁耦合驱动器及使用该驱动器的真空设备。
技术介绍
在真空镀膜、半导体以及航空航天领域均会用到真空设备，真空设备一般包括真空腔体和设置于真空腔体上的驱动器，传统的驱动器一般为机械式的驱动器，采用电机或驱动缸的方式作为动力输出，但是该方式导致驱动器体积较大，重量较大，而且在工作时电机或驱动缸产生的振动会导致驱动器与真空腔体之间的密封不严等问题。而且采用电机或驱动缸导致整个驱动器的体积较大，安装不方便，尤其对于一些空间狭小的地方。授权公告号为CN204546080U的中国专利技术专利公开了一种磁耦合真空直线旋转驱动器，包括手柄、强磁卡套、外部主管路、内部移动管路和角度调节器，手柄设置于强磁卡套上，结构简单，在操作时通过手柄移动强磁卡套即可带动内部移动管路的移动，解决了上述问题而且整个驱动器通过真空法兰与真空腔体完成密封连接。但是该驱动器功能单一，只能进行水平方向上的移动，无法旋转传动轴进行夹头的角度调节等，无法满足实际生产中多动作的要求。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种多功能磁耦合驱动器，以解决现有技术中的驱动器功能单一无法满足实际生产中多工作的要求；同时，本专利技术的目的还在于提供一种使用该驱动器的真空设备。为实现上述目的，本专利技术的一种多功能磁耦合驱动器采用如下技术方案：一种多功能磁耦合驱动器，包括安装管，安装管的端部设置有用于与真空腔体密封连接的安装法兰，所述安装管内部设置有传动轴，传动轴的端部设置有夹头，传动轴上设置有导磁的第一受力件和第二受力件,安装管上与第一受力件对应设置有用于驱动传动轴向前动作及启闭夹头的第一磁耦合驱动结构，安装管上与第二受力件对应设置有用于驱动传动轴向后动作及旋转夹头的第二耦合驱动结构。所述传动轴包括沿前后方向依次设置的传动轴第一部分和传动轴第二部分，传动轴第一部分上设置有所述第一受力件，第一磁耦合驱动结构包括套设于安装管外侧的与第一受力件对应的第一强磁卡套，传动轴第二部分上设置有所述第二受力件，第二磁耦合驱动结构包括套设于安装管外侧的与第二受力件对应的第二强磁卡套，各强磁卡套内部设置有磁铁。所述安装管的外侧上于第一强磁卡套和第二强磁卡套之间设置有隔离套以保证第一强磁卡套和第一受力件位置对应以及第二强磁卡套和第二受力件位置对应。所述传动轴第二部分为空心轴结构，第一磁耦合驱动结构还包括设置于传动轴第二部分内部的转轴，传动轴第一部分和传动轴第二部分之间通过连接套连接，传动轴第一部分转动设置于连接套中，传动轴第二部分与连接套连接在一起，以实现前后方向上力的传递；转轴连接于传动轴第一部分上以随传动轴第一部分一起转动，传动轴第二部分的端部连接有夹头套管，夹头套管内部沿其轴向导向移动设置有导向套，导向套与转轴螺纹配合连接，夹头包括通过销轴铰接在一起的第一夹头部分和第二夹头部分，各夹头部分上均设置有与夹头套管铰接的第一铰接孔，导向套上设置有与所述销轴对应的第二铰接孔以使第一夹头部分、第二夹头部分以及导向套三者通过通一销轴铰接在一起。各强磁卡套均包括环形外壳和设置于环形外壳内部的安装板，安装板沿周向间隔设置有多个供磁铁安装的安装孔，环形外壳的前后两端设置有外壳挡环。所述外壳挡环上沿周向设置有刻度条。述环形外壳外侧面上设置有防滑槽结构。各受力件均为柱状结构，柱状结构的外侧面上沿周向间隔设置有多个弧形槽。所述传动轴第一部分和传动轴第二部分均通过转动结构转动安装于安装管内部，转动结构包括轴承座和设置于轴承座内的轴承，轴承座上沿周向设置有多个轴线垂直于传动轴轴线的且用于与安装管的内壁配合的滚轮。本专利技术的一种真空设备采用如下技术方案：一种真空设备，包括真空腔体和设置于真空腔体上的磁耦合驱动器，耦合驱动器包括安装管，安装管的端部设置有用于与真空腔体密封连接的安装法兰，所述安装管内部设置有传动轴，传动轴的端部设置有夹头，传动轴上设置有导磁的第一受力件和第二受力件,安装管上与第一受力件对应设置有用于驱动传动轴向前动作及启闭夹头的第一磁耦合驱动结构，安装管上与第二受力件对应设置有用于驱动传动轴向后动作及旋转夹头的第二耦合驱动结构。所述传动轴包括沿前后方向依次设置的传动轴第一部分和传动轴第二部分，传动轴第一部分上设置有所述第一受力件，第一磁耦合驱动结构包括套设于安装管外侧的与第一受力件对应的第一强磁卡套，传动轴第二部分上设置有所述第二受力件，第二磁耦合驱动结构包括套设于安装管外侧的与第二受力件对应的第二强磁卡套，各强磁卡套内部设置有磁铁。所述安装管的外侧上于第一强磁卡套和第二强磁卡套之间设置有隔离套以保证第一强磁卡套和第一受力件位置对应以及第二强磁卡套和第二受力件位置对应。所述传动轴第二部分为空心轴结构，第一磁耦合驱动结构还包括设置于传动轴第二部分内部的转轴，传动轴第一部分和传动轴第二部分之间通过连接套连接，传动轴第一部分转动设置于连接套中，传动轴第二部分与连接套连接在一起，以实现前后方向上力的传递；转轴连接于传动轴第一部分上以随传动轴第一部分一起转动，传动轴第二部分的端部连接有夹头套管，夹头套管内部沿其轴向导向移动设置有导向套，导向套与转轴螺纹配合连接，夹头包括铰接于夹头套管上的第一夹头部分和第二夹头部分，第一夹头部分和第二夹头部分均铰接于导向套上，导向套的前后动作带动夹头打开和闭合。各强磁卡套均包括环形外壳和设置于环形外壳内部的安装板，安装板沿周向间隔设置有多个供磁铁安装的安装孔，环形外壳的前后两端设置有外壳挡环。所述外壳挡环上沿周向设置有刻度条。述环形外壳外侧面上设置有防滑槽结构。各受力件均为柱状结构，柱状结构的外侧面上沿周向间隔设置有多个弧形槽。所述传动轴第一部分和传动轴第二部分均通过转动结构转动安装于安装管内部，转动结构包括轴承座和设置于轴承座内的轴承，轴承座上沿周向设置有多个轴线垂直于传动轴轴线的且用于与安装管的内壁配合的滚轮。本专利技术的有益效果：该驱动器通过安装法兰密封连接于真空腔体上，传动轴上设有夹头，传动轴可以在安装管的内部前后动作，由第一磁耦合驱动结构可以带动传动轴与夹头一起向前动作且能够使夹头打开和闭合，由第二磁耦合驱动结构可以带动传动轴和夹头一起转动且能够带动传动轴和夹头一起转动。使得该驱动器具有多种功能于一身，很好的满足了实际生产中的需要。进一步地，安装管上套设的隔离套，可以保证第一强磁卡套和第一受力件位置始终对应以及第二强磁卡套和第二受力件位置始终对应，在第一强磁卡套向前移动带动传动轴向前走时，同时可以向前推动第二强磁卡套向前动作，由第二强磁卡套驱动第二受力件向前移动，增加了传动轴受到向前移动的力，而如果不设置隔离套，在第一强磁卡套向前移动带动传动轴向前走时，第二受力件前移会受到第二强磁卡套中磁铁的阻力。进一步地，外壳挡环上刻度条的设置可以精确控制夹头的旋转角度以及前移或后退的距离。进一步地，防滑槽的设置可以更加方便的移动或旋转强磁卡套。进一步地，弧形槽的设置可以使安装管中各受力件的前后两端连通，避免受力件前后移动时形成真空区域阻碍传动杆的运动，而且弧形槽的设置还可以起到减重的作用。进一步地，轴承座上设置有多个轴线垂直于传动轴轴线的且用于与安装管的内壁配合的滚轮，可以使得传动轴前后移本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种多功能磁耦合驱动器，包括安装管，安装管的端部设置有用于与真空腔体密封连接的安装法兰，其特征在于：所述安装管内部设置有传动轴，传动轴的端部设置有夹头，传动轴上设置有导磁的第一受力件和第二受力件,安装管上与第一受力件对应设置有用于驱动传动轴向前动作及启闭夹头的第一磁耦合驱动结构，安装管上与第二受力件对应设置有用于驱动传动轴向后动作及旋转夹头的第二耦合驱动结构。

【技术特征摘要】
1.一种多功能磁耦合驱动器，包括安装管，安装管的端部设置有用于与真空腔体密封连接的安装法兰，其特征在于：所述安装管内部设置有传动轴，传动轴的端部设置有夹头，传动轴上设置有导磁的第一受力件和第二受力件,安装管上与第一受力件对应设置有用于驱动传动轴向前动作及启闭夹头的第一磁耦合驱动结构，安装管上与第二受力件对应设置有用于驱动传动轴向后动作及旋转夹头的第二耦合驱动结构。2.根据权利要求1所述的多功能磁耦合驱动器，其特征在于：所述传动轴包括沿前后方向依次设置的传动轴第一部分和传动轴第二部分，传动轴第一部分上设置有所述第一受力件，第一磁耦合驱动结构包括套设于安装管外侧的与第一受力件对应的第一强磁卡套，传动轴第二部分上设置有所述第二受力件，第二磁耦合驱动结构包括套设于安装管外侧的与第二受力件对应的第二强磁卡套，各强磁卡套内部设置有磁铁。3.根据权利要求2所述的多功能磁耦合驱动器，其特征在于：所述安装管的外侧上于第一强磁卡套和第二强磁卡套之间设置有隔离套以保证第一强磁卡套和第一受力件位置对应以及第二强磁卡套和第二受力件位置对应。4.根据权利要求2所述的多功能磁耦合驱动器，其特征在于：所述传动轴第二部分为空心轴结构，第一磁耦合驱动结构还包括设置于传动轴第二部分内部的转轴，传动轴第一部分和传动轴第二部分之间通过连接套连接，传动轴第一部分转动设置于连接套中，传动轴第二部分与连接套连接在一起，以实现前后方向上力的传递；转轴连接于传动轴第一部...

【专利技术属性】
技术研发人员：白红帅，
申请(专利权)人：郑州科锐真空设备有限公司，
类型：发明
国别省市：河南,41