【技术实现步骤摘要】
一种激光照排使用的氮气发生器装置
本技术涉及氮气供气
，具体为一种激光照排使用的氮气发生器装置。
技术介绍
氮气是一种在半导体用曝光机中常用的气体，在激光照排方面也是经常使用，现有的气体供应皆由气体供应商将气体装入气瓶中，通过气瓶运输及使用，需要经常更换气瓶，容易出现安全隐患，且操作较麻烦。
技术实现思路
为了解决现有频繁更换气瓶，操作麻烦，容易出现安全隐患的问题，本技术提供了一种激光照排使用的氮气发生器装置，其能够实现随时提供氮气，无需定期频换更换，操作简单安全。其技术方案是这样的：一种激光照排使用的氮气发生器装置，其包括气源处理器和单向阀，所述气源处理器包括过滤器、减压阀、油雾器，其特征在于，所述气源处理器一端为空气入口，另一端连接所述单向阀一端，所述单向阀另一端连接氮气发生器的进口，所述氮气发生器的出口提供氮气，所述单向阀包括阀体，所述阀体下端一侧开有进气口、另一侧开有出气口，所述出气口连通L形出气管路一端，所述L形出气管路另一端连通内部腔体，所述进气口连通L形进气管路一端，所述L形进气管路另一端连通所述内部腔体，所述L形出气管路与所述内部腔体连接处设置有...
【技术保护点】
1.一种激光照排使用的氮气发生器装置，其包括气源处理器和单向阀，所述气源处理器包括过滤器、减压阀、油雾器，其特征在于，所述气源处理器一端为空气入口，另一端连接所述单向阀一端，所述单向阀另一端连接氮气发生器的进口，所述氮气发生器的出口提供氮气，所述单向阀包括阀体，所述阀体下端一侧开有进气口、另一侧开有出气口，所述出气口连通L形出气管路一端，所述L形出气管路另一端连通内部腔体，所述进气口连通L形进气管路一端，所述L形进气管路另一端连通所述内部腔体，所述L形出气管路与所述内部腔体连接处设置有密封活塞，所述密封活塞活动卡嵌于所述阀体内部的活塞卡槽内，所述密封活塞后端为铁材质且所述活...
【技术特征摘要】
1.一种激光照排使用的氮气发生器装置，其包括气源处理器和单向阀，所述气源处理器包括过滤器、减压阀、油雾器，其特征在于，所述气源处理器一端为空气入口，另一端连接所述单向阀一端，所述单向阀另一端连接氮气发生器的进口，所述氮气发生器的出口提供氮气，所述单向阀包括阀体，所述阀体下端一侧开有进气口、另一侧开有出气口，所述出气口连通L形出气管路一端，所述L形出气管路另一端连通内部腔体，所述进气口连通L形进气管路一端，所述L形进气管路另一端连通所述内部腔体，所述L形出气管路与所述内部腔体连接处设置有密封活塞，所述密封活塞活动卡嵌于所述阀体内部的活塞卡槽内，所述密封活塞后端为铁材质且所述活塞卡槽端面上设...
【专利技术属性】
技术研发人员：唐珉琪，周明义，
申请(专利权)人：无锡力华智能科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32
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