一种纳秒级脉冲激光波形测量装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种纳秒级脉冲激光波形测量装置。该测量装置中，被测平行光束通过会聚透镜后，进入分光镜组，分成多束光，每路光束依次通过衰减器、取样镜、能量计和半导体光电探测器，半导体光电探测器输出电信号通过电缆进入示波器；各路光按顺序与示波器通道一一对应，示波器测试数据通过网线送入计算机。示波器的最后一个通道波形为完整脉冲波形，对应光路的半导体光电探测器工作于线性动态区间内，其余通道对应光路半导体光电探测器工作于饱和区内；示波器各通道脉冲波形依次拼接获得具有高对比度的脉冲波形。该测量装置在确保测量设备处于安全运行状态下可以获得大的线性测量范围，特别适用于高功率激光装置纳秒级脉冲激光波形的测量。

【技术实现步骤摘要】
一种纳秒级脉冲激光波形测量装置
本专利技术属于高功率激光参数测量
，具体涉及一种纳秒级脉冲激光波形测量装置。
技术介绍
在高功率激光驱动器中，脉冲激光常采用具有高对比度的多台阶整形脉冲，其脉冲主峰与脉冲前沿台阶之间的对比度达到数百比一，且具有复杂的脉冲波形轮廓和快的上升时间。输出脉冲激光能量达到万焦耳量级，一方面要实现高对比度整形脉冲的全波形实时测量；另一方面，在高功率激光作用下要避免昂贵测量设备的损坏，确保测量设备处于安全运行状态。目前，高功率激光装置输出高对比度纳秒级脉冲激光波形的测量装置有以下几种，一种装置是采用真空光电管、电脉冲功率分配器和数字示波器，将光电管输出电脉冲等分为两路，利用示波器双通道在不同幅度档位下获取同一个脉冲的完整脉冲波形和底部截止脉冲波形，并进行数据拼接和重构，实现纳秒级脉冲激光波形的测量。由于真空光电管具有很高的线性动态区间，因此这种装置可以获得较大的线性测量范围。但是一方面受限于真空光电管配套使用千伏以上的稳压电源，在高功率激光装置复杂电磁环境下，示波器等贵重测量设备极易受到高压损坏，导致激光装置运行成本高昂；另一方面受限于真空光电管有限的响应带宽，无法实现高功率激光装置输出百皮秒脉冲激光波形的测量。第二种装置是将半导体光电探测器代替第一种方法中的真空光电管并在线性动态区间内工作，通过空间分光为多路，每路光配一个半导体光电探测器输出至示波器，利用示波器多个通道在不同幅度档位下获取同一个脉冲的完整脉冲波形以及不同幅度区间上的截止脉冲波形，并进行数据拼接和重构。由于半导体光电探测器输出幅度具有饱和截止特性，且只需配置极低电压的直流电源，对示波器等贵重测量设备有保护作用，可以大大降低运行成本；另一方面相比真空光电管，半导体光电探测器具有更快的响应，更加适应百皮秒脉冲波形的测量。但是相比真空光电管，半导体光电探测器通常具有较小的线性动态区间，数据拼接后无法获得较大的线性测量范围。因此上述两种纳秒脉冲波形测量装置在面对高功率激光装置输出的高对比度整形脉冲测量时均受到限制。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题是提供一种纳秒级脉冲激光波形测量装置。本专利技术的纳秒级脉冲激光波形测量装置，其特点是：所述的测量装置包括沿光路顺序排列会聚透镜、级联分光组件、衰减器组件、能量监测组件和半导体光电探测器组件，半导体光电探测器组件输出的电信号通过电缆传输至示波器后，再经网线传输至计算机；所述的级联分光组件包括m组分光镜，各组分光镜输出光束间的能量比范围为0.8~1.2；所述的衰减器组件包括与m组分光镜一一对应的衰减器；所述的能量监测组件包括与m组衰减器一一对应的m组取样镜，每个取样镜配置有一个测量用能量计；所述的半导体光电探测器组件包括与m组取样镜一一对应的m组半导体光电探测器；m为分光路数，m≥3；所述的m组半导体光电探测器具有相同的线性动态区间、灵敏度和响应带宽；每组半导体光电探测器的饱和截止特性即饱和最大输出幅度值小于示波器的最大输出。本专利技术的纳秒级脉冲激光波形测量装置具有高可靠性，基于示波器的多通道复用，并结合半导体光电探测器的饱和区工作、多通道脉冲波形拼接以及饱和截止效应，一方面实现高功率、高对比度纳秒级脉冲激光波形的测量，另一方面可以确保昂贵的测量设备始终处于安全状态下运行，避免损坏，特别适用于高功率激光装置复杂纳秒级脉冲激光波形的精密测量。附图说明图1为本专利技术的纳秒级脉冲激光波形测量装置的结构示意图；图中，1.会聚透镜2.级联分光组件3.衰减器组件4.能量监测组件5.半导体光电探测器组件6.分光镜7.衰减器8.取样镜9.能量计10.半导体光电探测器11.电缆12.示波器13.网线14.计算机。具体实施方式下面结合附图和实施例对本专利技术作进一步的详细描述，但不应以此限制本专利技术的保护范围。如图1所示，本专利技术的纳秒级脉冲激光波形测量装置包括沿光路顺序排列会聚透镜1、级联分光组件2、衰减器组件3、能量监测组件4和半导体光电探测器组件5，半导体光电探测器组件5输出的电信号通过电缆11传输至示波器12后经网线13传输至计算机14；所述的级联分光组件2包括m组分光镜6，每组分光镜6能量比范围为0.8~1.2；所述的衰减器组件3包括与m组分光镜6一一对应的衰减器7；所述的能量监测组件4包括与m组衰减器7一一对应的m组取样镜8，每个取样镜8配置有一个测量用能量计9；所述的半导体光电探测器组件5包括与m组取样镜8一一对应的m组半导体光电探测器10；m为分光路数，m≥3；所述的m组半导体光电探测器10具有相同的线性动态区间、灵敏度和响应带宽；每组半导体光电探测器10的饱和最大输出幅度值即饱和截止特性小于示波器12的最大输出。实施例1本实施例中，m=4，半导体光电探测器10的型号为：UPD-50-UP，上升沿：<50ps，带宽：>7Ghz，响应频谱范围：170-1100nm，响应灵敏度/351nm：0.15A/W，输出阻抗：，线性动态区间：0-1.0V，饱和截止电压：6.4V；电缆11带宽的参数为：18G，阻抗：；示波器12的参数为：带宽8G，输入阻抗：，满屏幅度显示为10格；能量计型号为：PD10-C。会聚透镜1焦距为＝1200mm，口径φ=100mm；级联分光组件2包括4组分光镜6：口径φ=50mm，其中分光镜6反射比依次为4通道光路25%、3通道光路33%、2通道光路50%、1通道光路100%；衰减器组件3包括4组衰减器7：口径φ=50mm；能量监测组件4包括4个取样镜8：口径φ=50mm，反射率R=10%；半导体光电探测器组件5包括4个半导体光电探测器10。本实施例中，被测脉冲平行激光束口径为D=50mm，1Hz/单次，351nm，10ns台阶脉冲；经会聚透镜1进入分光镜组2，分成四束光，分别进入1-4通道光路。每个通道光路依次通过衰减器7、取样镜8和能量计9以及半导体光电探测器10。本实施例中，半导体光电探测器10输出阻抗、电缆11以及示波器12的通道输入阻抗均为，满足阻抗匹配原则。每个通道光路中的半导体光电探测器10输出电信号通过电缆11进入示波器12相对应通道，示波器12测试数据通过网线13送入计算机14被数据处理。本实施例的测量过程如下：a.测量前，单次脉冲光束通过会聚透镜1和级联分光组件2的分光镜6，获得4组输出光路；将1-4通道光路中的衰减器7透过率均设置为10%，将示波器12的4个通道幅度档位均设置为100mV/div，使得示波器12的每组通道均显示完整脉冲波形且对应的半导体光电探测器10处于线性动态区间内；能量计9显示对应的取样镜8的取样光脉冲能量值，计算各组光路对应的示波器12通道输出波形幅度值与取样光能量值的比值为：1通道、2通道、3通道、4通道；b.测量时，将每组光路的衰减器7配置和示波器12通道的幅度档位调整至测量状态，测量状态下，按1、2、3组光路顺序，示波器12对应的通道幅度档位为：1通道10mV/div、2通道50mV/div、3通道200mV/div，1、2、3组光路对应的衰减器7配置为：1通道光路100%、2通道光路100%、3通道光路50%；第4组光路的衰减器7配置为：4通道光路10%，第4组光路对应的示波器12通道幅度档位的设置为：4通道本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种纳秒级脉冲激光波形测量装置，其特征在于：所述的测量装置包括沿光路顺序排列会聚透镜（1）、级联分光组件（2）、衰减器组件（3）、能量监测组件（4）和半导体光电探测器组件（5），半导体光电探测器组件（5）输出的电信号通过电缆（11）传输至示波器（12）后，经网线（13）传输至计算机（14）；所述的级联分光组件（2）包括m组分光镜（6），各组分光镜（6）输出光束间的能量比范围为0.8~1.2；所述的衰减器组件（3）包括与m组分光镜（6）一一对应的衰减器（7）；所述的能量监测组件（4）包括与m组衰减器（7）一一对应的m组取样镜（8），每个取样镜（8）配置有一个测量用能量计（9）；所述的半导体光电探测器组件（5）包括与m组取样镜（8）一一对应的m组半导体光电探测器（10）；m为分光路数，m≥3；所述的m组半导体光电探测器（10）具有相同的线性动态区间、灵敏度和响应带宽；每组半导体光电探测器（10）的饱和截止特性即饱和最大输出幅度值小于示波器（12）的最大输出。

【技术特征摘要】
1.一种纳秒级脉冲激光波形测量装置，其特征在于：所述的测量装置包括沿光路顺序排列会聚透镜（1）、级联分光组件（2）、衰减器组件（3）、能量监测组件（4）和半导体光电探测器组件（5），半导体光电探测器组件（5）输出的电信号通过电缆（11）传输至示波器（12）后，经网线（13）传输至计算机（14）；所述的级联分光组件（2）包括m组分光镜（6），各组分光镜（6）输出光束间的能量比范围为0.8~1.2；所述的衰减器组件（3）包括与m组分光...

【专利技术属性】
技术研发人员：董军，卢宗贵，夏彦文，刘华，张波，元浩宇，孙志红，
申请(专利权)人：中国工程物理研究院激光聚变研究中心，
类型：发明
国别省市：四川,51