The present invention includes a frame, a first driving piezoelectric body, a second driving piezoelectric body and a spring sheet. Its characteristics include a first phase friction piezoelectric body, a second phase friction piezoelectric body, a rotor, one end of the first driving piezoelectric body and one end of the second driving piezoelectric body respectively fixed with the frame, and the first driving piezoelectric body. The other end and the other end of the second driving piezoelectric body are free ends, which are connected with the two ends of the second phase friction piezoelectric body respectively. The spring sheet compresses the deformed ends of the first phase friction piezoelectric body and the deformed ends of the second phase friction piezoelectric body with the elastic phase pressure of the rotating surface of the rotor, respectively. Its advantages are: high structural symmetry, strong rigidity, high output efficiency of the first driving piezoelectric body and the second driving piezoelectric body, and large working temperature range.
【技术实现步骤摘要】
一种相向摩擦切向减阻力型旋转压电马达及其控制方法
本专利技术涉及一种压电步进器及其控制方法,特别涉及一种相向摩擦切向减阻力型旋转压电马达及其控制方法,属于压电定位器
和扫描探针显微镜领域。
技术介绍
压电马达是一种利用压电材料周期性电致伸缩形效应工作的电动机,凭借其纳米级的定位精度和厘米级的行程等特点,广泛应用于光学精密移动平台、纳米器件加工、扫描探针显微镜成像等领域。压电马达一直向着高精度、大推力、小体积、高刚性等方向不断发展,然而这些目标相互之间存在很多矛盾,例如:结构小则推力也较小,大推力则影响其定位精度,大结构则会降低系统刚性。因此,压电马达技术的发展方向就是不断优化这些指标压。我们之前提出了“双压电体并排推动的三摩擦力步进器”(详见中国专利技术专利号:ZL200910116492.X),该马达由两个压电体、基座、滑杆和弹簧片组成,其特特是:单根压电管从顶端一分为二,底部未分割呈一体结构,将压电体底部固定在基座上,通过弹簧片在垂直于两压电体伸缩方向上设置将滑杆与两压电体自由端相压的正压力以及将滑杆与基座相压的正压力,在这三个正压力对滑杆产生的最大静摩擦力中,任一个最大静摩擦力小于其它两个最大静摩擦力之和(摩擦力关系)。该马达具有结构简单,对称性高,小尺寸等优点。然而该压电马达依然未解决以下几个问题:(1)结构不牢固,单根压电管从上往下一分为二,只有底部为一体结构,降低了马达的可靠性。(2)该结构使用三摩擦力相互配合,一旦弹簧片的位置发生改变,上述三个摩擦力关系遭到破坏,马达将不再工作。(3)马达步进时要克服弹簧片与滑杆之间的摩擦力,以及滑杆与 ...
【技术保护点】
1.一种相向摩擦切向减阻力型旋转压电马达,包括框架,第一驱动压电体,第二驱动压电体,弹簧片,其特征是还包括第一相向摩擦压电体,第二相向摩擦压电体,转子:所述第一驱动压电体的一端和第二驱动压电体的一端分别与框架固定,第一驱动压电体的另一端和第二驱动压电体的另一端为自由端,分别与第二相向摩擦压电体形变的两端连接;所述弹簧片将第一相向摩擦压电体的形变两端以及第二相向摩擦压电体的形变两端分别与转子的旋转面弹性相压。
【技术特征摘要】
1.一种相向摩擦切向减阻力型旋转压电马达,包括框架,第一驱动压电体,第二驱动压电体,弹簧片,其特征是还包括第一相向摩擦压电体,第二相向摩擦压电体,转子:所述第一驱动压电体的一端和第二驱动压电体的一端分别与框架固定,第一驱动压电体的另一端和第二驱动压电体的另一端为自由端,分别与第二相向摩擦压电体形变的两端连接;所述弹簧片将第一相向摩擦压电体的形变两端以及第二相向摩擦压电体的形变两端分别与转子的旋转面弹性相压。2.根据权利要求1所述的相向摩擦切向减阻力型旋转压电马达,其特征是所述转子分别与第一相向摩擦压电体自由端和第二相向摩擦压电体自由端之间的正压力是等值的。3.根据权利要求1所述的相向摩擦切向减阻力型旋转压电马达,其特征是所述第一相向摩擦压电体和第二相向摩擦压电体位于转片同侧位置。4.根据权利要求1所述的相向摩擦切向减阻力型旋转压电马达,其特征是所述转子为“工”字形结构,并将第一相向摩擦压电体和第二相向摩擦压电体套于其内侧。5.根据权利要求1所述的相向摩擦切向减阻力型旋转压电马达,其特征是所述第一驱动压电...
【专利技术属性】
技术研发人员:王纪浩,陆轻铀,侯玉斌,孟文杰,张晶,
申请(专利权)人:中国科学院合肥物质科学研究院,
类型:发明
国别省市:安徽,34
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