【技术实现步骤摘要】
一种高精度混合配气装置
本专利技术涉及一种高精度混合配气装置，属于混合气体的配置
技术介绍
目前高精度混合气的生产方法主要有称量法、分压法、静态容量法、渗透法、毛细管流量法等，但能够用于工业生产且能够溯源的目前还是以称量法为主。即通过充入气体的质量计算来进行高精度混合气体的生产。由于高精度混合气体，特别是标准气的生产精度要求较高，一次配置法由于配置精度低、设备自动化程度低等原因，无法满足生产需要，采用中间气进行配置，但是中间气的配置亦是由人工配置完成，极大的限制了生产。
技术实现思路
本专利技术的目的在于克服现有技术存在的不足，而提供一种能够实现高效率高精度配气，且配气范围可从ppm级到百分比级，配气效率高，能够实现高精度混合气的工业化生产，便于操作及优化，能提高配气精度的可移动式高精度混合配气装置。本专利技术的目的是通过如下技术方案来完成的，一种高精度混合配气装置，主要包括原料气输送、电气控制、PLC实时控制、抽真空系统，管路充装系统，所述的原料气输送包括依次用管路连接的多个原料气输入端口以及各自的过滤器和气源调节控制阀；所述的原料气输送通过管路以及管路上...
【技术保护点】
1.一种高精度混合配气装置，主要包括原料气输送、电气控制、PLC实时控制、抽真空系统，管路充装系统，其特征在于所述的原料气输送包括依次用管路连接的原料气输入端口，过滤器和气源调节控制阀）；所述的原料气输送通过管路以及管路上安装的多个气动隔膜阀分别连通所述的抽真空系统和管路充装系统，且所述的气动隔膜阀由受控于电气控制中PLC信号传输给电磁阀进行控制；所述的原料气输送与管路充装系统的连接管路中至少还设置有质量流量控制器和第一压力测点，而在原料气输送与抽真空系统的连接管路或抽真空系统的排气管路中设置有第二压力测点，且所述电气控制中PLC信号输出是根据所述质量流量控制器、所述第一压...
【技术特征摘要】
1.一种高精度混合配气装置，主要包括原料气输送、电气控制、PLC实时控制、抽真空系统，管路充装系统，其特征在于所述的原料气输送包括依次用管路连接的原料气输入端口，过滤器和气源调节控制阀）；所述的原料气输送通过管路以及管路上安装的多个气动隔膜阀分别连通所述的抽真空系统和管路充装系统，且所述的气动隔膜阀由受控于电气控制中PLC信号传输给电磁阀进行控制；所述的原料气输送与管路充装系统的连接管路中至少还设置有质量流量控制器和第一压力测点，而在原料气输送与抽真空系统的连接管路或抽真空系统的排气管路中设置有第二压力测点，且所述电气控制中PLC信号输出是根据所述质量流量控制器、所述第一压力测点和第二压力测点给出。2.根据权利要求1所述的高精度混合配气装置，其特征在于所述的原料气输入端口分别有两组，每组至少由两路原料气输入端口构成，所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：李东锋，袁士豪，何晖，包汉波，朱程浩，李剑锋，康玉茹，吴国伟，孙潇，汪晗，
申请(专利权)人：杭州杭氧股份有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江,33
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