一种集成有聚光和滤光功能的一体式微透镜制造技术

技术编号:20789524 阅读:36 留言:0更新日期:2019-04-06 06:28
本实用新型专利技术涉及一种集成有聚光和滤光功能的一体式微透镜,包括:聚光单元阵列;所述聚光单元阵列下方设置有周期性立体微结构阵列,周期性立体微结构用于过滤特定波长范围的光;所述聚光单元阵列与所述周期性立体微结构阵列集成在同一基底中;本实用新型专利技术的集成有聚光和滤光功能的一体式微透镜微透镜中聚光单元和周期性微立体结构为一体式结构,集成有聚光及过滤功能;本实用新型专利技术的微透镜简化了后续窄带滤波器后端工艺,降低了微透镜与窄带滤波器对准难度,提升了生产效率;并且能过滤特定波长范围的光,有利于增强窄带滤波器成像效果,便于实现窄带滤波器的小型化及便携化。

【技术实现步骤摘要】
一种集成有聚光和滤光功能的一体式微透镜
本技术属于窄带滤波器领域,尤其涉及一种集成有聚光和滤光功能的一体式微透镜。
技术介绍
窄带滤波器被广泛应用于数码相机、移动手机、医疗器械等场合。窄带滤波器制作工艺分为前端工艺和后端工艺。前端工艺主要包括制作窄带滤波器芯片,后端制作工艺包括将彩色滤光片阵列制作在传感器芯片,然后将微透镜阵列制作在彩色滤光片阵列上,制作微透镜的目的是可以汇集更多的光感光元器件中,以提高像素的感光灵敏度。现有窄带滤波器后端工艺复杂,同时需要经过两次对准,即:彩色滤光片与窄带滤波器芯片中的光敏单元对准以及微透镜阵列与彩色滤光片对准,对准不容易实现,从而影响成像效果;同时由于彩色滤光片一般只能通过红绿蓝三种颜色的光,导致窄带滤波器只能提取红绿蓝三色可见波段的信息,从而严重影响窄带滤波器的成像效果。
技术实现思路
本技术目的是为了克服现有技术的不足而提供一种集成有聚光和滤光功能的一体式微透镜,从而简化了窄带滤波器后端工艺,同时提供的微透镜为聚光和滤光一体式结构,不需要额外的滤光片,并且还能过滤特定波长范围的光,有利于增强窄带滤波器成像效果。为达到上述目的,本技术采用的技术方案是:一本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种集成有聚光和滤光功能的一体式微透镜,其特征在于,包括:聚光单元阵列;所述聚光单元阵列下方设置有周期性立体微结构阵列,周期性立体微结构用于过滤特定波长范围的光;所述聚光单元阵列与所述周期性立体微结构阵列为一体式结构,集成在同一基底中。

【技术特征摘要】
1.一种集成有聚光和滤光功能的一体式微透镜,其特征在于,包括:聚光单元阵列;所述聚光单元阵列下方设置有周期性立体微结构阵列,周期性立体微结构用于过滤特定波长范围的光;所述聚光单元阵列与所述周期性立体微结构阵列为一体式结构,集成在同一基底中。2.根据权利要求1所述的集成有聚光和滤光功能的一体式微透镜,其特征在于:所述周期性立体微结构阵列包括多个周期性排列的像元阵列,每个像元阵列包含多个周期性排列的像元单元,每个像元单元包括多个周期性排列的像元。3.根据权利要求2所述的集成有聚光和滤光功能的一体式微透镜,其特征在于:所述同一像元单元内的像元具有相同的几何参数,所述几何参数包括但不限于长度/半径以及纵/横截面形状。4.根据权利要求2所述的集成有聚光和滤光功能的一体式微透镜...

【专利技术属性】
技术研发人员:朱滨曹笈孙英豪刘钢许锦龙刘文朋
申请(专利权)人:江苏集萃智能传感技术研究所有限公司
类型:新型
国别省市:江苏,32

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