基于陶瓷共烧工艺的传感单元、含有该传感单元的电化学气体传感器及传感单元的制造方法技术

基于陶瓷共烧工艺的传感单元、含有该传感单元的电化学气体传感器及传感单元的制造方法，涉及电化学气体传感器领域。为了解决利用传统制造电化学气体传感器的方法困难的问题。基于陶瓷共烧工艺的传感单元，工作电极层、电解池层、辅助电极层和引出层由上至下依次层叠设置；第一电解池通孔和第二电解池通孔构成电解池腔，催化电极与第一过孔的导电金属电气连接，对电极与第三过孔的导电金属电气连接，第一过孔、第二过孔和第四过孔导电金属之间电气连接，第一引出端与第四过孔的导电金属电气连接，第二引出端与第三过孔的导电金属电气连接。本发明专利技术通过注入不同类型的电解液、不同催化电极材料等实现不同种类气体检测。

【技术实现步骤摘要】
基于陶瓷共烧工艺的传感单元、含有该传感单元的电化学气体传感器及传感单元的制造方法
本专利技术属于电化学气体传感器

技术介绍
电化学气体传感器因其具有功耗低、输出稳定等优点广泛用于工业环境、空气质量、密闭环境等气体浓度检测，英国的CITY公司、日本FIGARO公司、美国RAE公司等是世界知名的电化学气体传感器生产厂家，产品涵盖了几十种气体浓度的检测，几乎占据了世界电化学气体传感器领域全部市场。目前，电化学气体传感器均采用传统工艺制造，存在制造方法困难、结构复杂、体积大的问题，难以实现电化学传感器小型化、集成化的设计制造，限制了电化学气体传感器进一步发展。
技术实现思路
本专利技术是为了解决利用传统制造电化学气体传感器的方法困难，且制造出的电化学气体传感器结构复杂、体积大的问题，现提供基于陶瓷共烧工艺的传感单元、含有该传感单元的电化学气体传感器及传感单元的制造方法。基于陶瓷共烧工艺的传感单元，包括：工作电极层1、电解池层2、辅助电极层3和引出层4，工作电极层1的陶瓷基片上开有第一通孔1-3、第一电解池通孔1-4、第二通孔1-5和第一过孔1-6，第一电解池通孔1-4上开口处封闭式覆盖本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.基于陶瓷共烧工艺的传感单元，其特征在于，包括：工作电极层(1)、电解池层(2)、辅助电极层(3)和引出层(4)，工作电极层(1)的陶瓷基片上开有第一通孔(1‑3)、第一电解池通孔(1‑4)、第二通孔(1‑5)和第一过孔(1‑6)，第一电解池通孔(1‑4)上开口处封闭式覆盖有催化电极(1‑2)，催化电极(1‑2)的上表面封闭式覆盖有透气膜(1‑1)；电解池层(2)的陶瓷基片上开有第二电解池通孔(2‑1)、第三通孔(2‑2)、第四通孔(2‑3)和第二过孔(2‑4)；辅助电极层(3)的陶瓷基片上开有第三过孔(3‑2)和第四过孔(3‑3)，辅助电极层(3)的陶瓷基片上表面设有对电极(3‑1)；引出...

【技术特征摘要】
1.基于陶瓷共烧工艺的传感单元，其特征在于，包括：工作电极层(1)、电解池层(2)、辅助电极层(3)和引出层(4)，工作电极层(1)的陶瓷基片上开有第一通孔(1-3)、第一电解池通孔(1-4)、第二通孔(1-5)和第一过孔(1-6)，第一电解池通孔(1-4)上开口处封闭式覆盖有催化电极(1-2)，催化电极(1-2)的上表面封闭式覆盖有透气膜(1-1)；电解池层(2)的陶瓷基片上开有第二电解池通孔(2-1)、第三通孔(2-2)、第四通孔(2-3)和第二过孔(2-4)；辅助电极层(3)的陶瓷基片上开有第三过孔(3-2)和第四过孔(3-3)，辅助电极层(3)的陶瓷基片上表面设有对电极(3-1)；引出层(4)的陶瓷基片上设有第一引出端(4-1)和第二引出端(4-2)；工作电极层(1)、电解池层(2)、辅助电极层(3)和引出层(4)由上至下依次层叠设置；第一电解池通孔(1-4)和第二电解池通孔(2-1)正对且相互连通、共同构成电解池腔，该电解池腔用于填充多孔载体，多孔载体用于盛装电解液，对电极(3-1)位于电解池腔的正下方；第二通孔(1-5)、第三通孔(2-2)、第二电解池通孔(2-1)、第四通孔(2-3)和第一通孔(1-3)依次连通，共同构成液体流动通道；第一过孔(1-6)、第二过孔(2-4)、第四过孔(3-3)和第三过孔(3-2)内均填充有导电金属，催化电极(1-2)通过引线与第一过孔(1-6)的导电金属电气连接，对电极(3-1)通过引线与第三过孔(3-2)的导电金属电气连接，第一过孔(1-6)、第二过孔(2-4)和第四过孔(3-3)相互连通、且导电金属之间电气连接，第一引出端(4-1)与第四过孔(3-3)的导电金属电气连接，第二引出端(4-2)与第三过孔(3-2)的导电金属电气连接。2.根据权利要求1所述的基于陶瓷共烧工艺的传感单元，其特征在于，辅助电极层(3)的陶瓷基片上表面还设有参比电极(3-4)，辅助电极层(3)的陶瓷基片上还开有第五过孔(3-5)，第五过孔(3-5)的内填充有导电金属；引出层(4)的陶瓷基片上还设有第三引出端(4-3)；参比电极(3-4)为带有开口的环形结构，对电极(3-1)同轴位于参比电极(3-4)的环内；参比电极(3-4)通过引线与第五过孔(3-5)的导电金属电气连接，第三引出端(4-3)与第五过孔(3-5)的导电金属电气连接。3.根据权利要求1或2所述的基于陶瓷共烧工艺的传感单元，其特征在于，电解液为有机电解液、无机电解液或离子电解液。4.根据权利要求1或2所述的基于陶瓷共烧工艺的传感单元，其特征在于，催化电极(1-2)的材料为贵金属、金属氧化物或金属复合物。5.含有权利要求1或2所述的传感单元的电化学气体传感器，其特征在于，包括多个...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨永超，秦浩，王洋洋，程振乾，刘玺，刘继江，
申请(专利权)人：中国电子科技集团公司第四十九研究所，
类型：发明
国别省市：黑龙江,23