TFT基板、具备TFT基板的扫描天线、以及TFT基板的制造方法技术

TFT基板(107)具备TFT(10)、形成在贴片金属层内的贴片电极(15)、以及形成在栅极金属层内的栅极连接布线(3sg)，贴片金属层具有：第一部分，其具有包含高熔点金属的下部金属层(M1)和包含Cu、Al或Ag的上部金属层(M2)的层叠结构；和第二部分，其包含下部金属层且不包含上部金属层，第一部分包含贴片电极(15)，第二部分包含将源极总线(SL)与栅极连接布线(3sg)电连接的第一贴片连接部(15sg)，第一贴片连接部(15sg)在设置于第一绝缘层的第一开口部(12sg(1))内与源极总线接触，且在设置于栅极绝缘层及第一绝缘层的第二开口部(12sg(2))内与栅极连接布线(3sg)接触。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】TFT基板、具备TFT基板的扫描天线、以及TFT基板的制造方法
本专利技术涉及扫描天线，特别是，涉及天线单位(有时也称为“振子天线”。)具有液晶电容的扫描天线(有时也称为“液晶阵列天线”。)及其制造方法。
技术介绍
移动体通信、卫星广播用的天线需要改变波束的方向(被称为“波束扫描”或者“波束定向(beamsteering)”。)的功能。作为具有这种功能的天线(以下称为“扫描天线(scannedantenna)”。)，已知具备天线单位的相控阵列天线。但是，现有的相控阵列天线的价格高，这成为向消费品普及的障碍。特别是，当天线单位的数量增加时，成本会显著上升。因此，已提出利用了液晶材料(包含向列液晶、高分子分散液晶)的大的介电各向异性(双折射率)的扫描天线(专利文献1～5及非专利文献1)。液晶材料的介电常数具有频率分散性，因此在本说明书中将微波的频带中的介电常数(有时也称为“相对于微波的介电常数”。)特别标记为“介电常数M(εM)”。在专利文献3和非专利文献1中，记载了通过利用液晶显示装置(以下，称为“LCD”。)的技术能得到价格低的扫描天线。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开200本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种TFT基板，包括：包含多个天线单位区域的发送接收区域、和位于所述发送接收区域以外的区域的非发送接收区域，所述多个天线单位区域的每一个包含TFT和与所述TFT的漏极电极电连接的贴片电极，其特征在于，具有：电介质基板；栅极金属层，其由所述电介质基板支承且包含多个栅极总线；栅极绝缘层，其配置在所述栅极金属层上；源极金属层，其配置在所述栅极绝缘层上，且包含多个源极总线；第一绝缘层，其配置在所述源极金属层上；以及贴片金属层，其配置在所述第一绝缘层上，且包含所述贴片电极，所述TFT的源极电极与所述多个源极总线中的一个源极总线电连接，所述TFT的栅极电极与所述多个栅极总线中的一个栅极总线电连接，所述...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.07.19 JP 2016-1412821.一种TFT基板，包括：包含多个天线单位区域的发送接收区域、和位于所述发送接收区域以外的区域的非发送接收区域，所述多个天线单位区域的每一个包含TFT和与所述TFT的漏极电极电连接的贴片电极，其特征在于，具有：电介质基板；栅极金属层，其由所述电介质基板支承且包含多个栅极总线；栅极绝缘层，其配置在所述栅极金属层上；源极金属层，其配置在所述栅极绝缘层上，且包含多个源极总线；第一绝缘层，其配置在所述源极金属层上；以及贴片金属层，其配置在所述第一绝缘层上，且包含所述贴片电极，所述TFT的源极电极与所述多个源极总线中的一个源极总线电连接，所述TFT的栅极电极与所述多个栅极总线中的一个栅极总线电连接，所述栅极金属层还包含多个栅极连接布线，所述多个栅极连接布线配置于所述非发送接收区域，且与所述多个栅极总线电分离，所述贴片金属层包括：下部金属层，其含有高熔点金属；和上部金属层，其配置在所述下部金属层上且含有Cu、Al或Ag，所述贴片金属层具有：第一部分，其具有包含所述下部金属层及所述上部金属层的层叠结构；和第二部分，其包含所述下部金属层，且不包含所述上部金属层，所述贴片金属层的所述第一部分包含所述贴片电极，所述贴片金属层的所述第二部分包含将所述多个源极总线中的一个源极总线与所述多个栅极连接布线中的一个栅极连接布线电连接的第一贴片连接部，所述第一贴片连接部在设置于所述第一绝缘层的第一开口部内与所述多个源极总线中的所述一个源极总线接触，且在设置于所述栅极绝缘层及所述第一绝缘层的第二开口部内与所述多个栅极连接布线中的所述一个栅极连接布线接触。2.根据权利要求1所述的TFT基板，其特征在于，还具有：上部透明导电层，其配置在所述贴片金属层上，且包含端子用上部连接部；和第二绝缘层，其配置在所述上部透明导电层上。3.根据权利要求2所述的TFT基板，其特征在于，所述上部透明导电层包含以与所述第一贴片连接部的上表面接触的方式配置在所述第一贴片连接部上的第一透明连接部。4.根据权利要求3所述的TFT基板，其特征在于，所述第一贴片连接部的侧面与所述第一透明连接部的侧面相连续。5.根据权利要求2～4中的任一项所述的TFT基板，其特征在于，贴片金属层的所述第二部分还包含位于所述非发送接收区域的第二贴片连接部，还具有配置在所述非发送接收区域的源极端子部，在所述源极端子部中，所述第二贴片连接部在设置于所述栅极绝缘层及所述第一绝缘层的第三开口部内与所述多个栅极连接布线中的任一个接触，所述端子用上部连接部以与所述第二贴片连接部的上表面接触的方式配置在所述第二贴片连接部上，在所述端子用上部连接部上配置有所述第二绝缘层，所述第二绝缘层具有将所述端子用上部连接部的一部分露出的第四开口部。6.根据权利要求2～5中的任一项所述的TFT基板，其特征在于，所述贴片电极包含形成于所述下部金属层的下部电极和形成于所述上部金属层的上部电极，在所述贴片电极的侧面，所述下部电极及所述上部电极的侧面相连续。7.根据权利要求6所述的TFT基板，其特征在于，所述第二绝缘层与所述贴片电极的上表面及侧面接触。8.根据权利要求2～5中的任一项所述的TFT基板，其特征在于，所述上部透明导电层还包含配置在所述贴片电极上的透明导电部。9.根据权利要求8所述的TFT基板，其特征在于，所述贴片电极包含形成于所述下部金属层的下部电极和形成于所述上部金属层的上部电极，所述透明导电部与所述上部电极的上表面及侧面接触。10.根据权利要求9所述的TFT基板，其特征在于，从所述电介质基板的法线方向观察时，所述上部电极的边缘位于所述下部电极的边缘的内侧，所述透明导电部及所述下部电极在所述上部电极的周围相互接触，且所述透明导电部及所述下部电极的侧面相连续。11.根...

【专利技术属性】
技术研发人员：美崎克纪，
申请(专利权)人：夏普株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP