下载TFT基板、具备TFT基板的扫描天线、以及TFT基板的制造方法的技术资料

文档序号:20760079

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TFT基板(107)具备TFT(10)、形成在贴片金属层内的贴片电极(15)、以及形成在栅极金属层内的栅极连接布线(3sg),贴片金属层具有:第一部分,其具有包含高熔点金属的下部金属层(M1)和包含Cu、Al或Ag的上部金属层(M2)的层叠...
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