加工装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种加工装置，能够减少残留在构成保护罩的多个罩元件上表面的加工屑。本发明专利技术的加工装置包括：加工平台，保持加工对象物；移动机构，使所述加工平台直线移动；保护罩，具有覆盖所述移动机构并且彼此重叠的多个罩元件，伴随所述加工平台的移动而伸缩；以及滑动构件，伴随所述加工平台而相对于所述多个保护罩相对地移动，在所述多个罩元件的上表面滑动。

【技术实现步骤摘要】
加工装置
本专利技术涉及一种加工装置。
技术介绍
现有技术中，在对经树脂密封的已密封基板等电子零件进行切断而单片化时，使用切断装置，例如已知有如专利文献1所示的切削装置。所述切削装置具有：卡夹平台(chucktable)，保持加工对象物；以及例如滚珠丝杠等移动机构，使所述卡夹平台直线移动。而且，切削装置具有保护板(plate)，所述保护板用于保护所述移动机构不受切削加工对象物而产生的切削屑或切削时所供给的例如水等加工液侵害。所述保护板是可伴随卡夹平台的移动而伸缩地构成。具体而言，保护板具有：波纹罩，以包围所述移动机构的上方及侧方的方式而设；以及构成保护板的多个板，设于所述波纹罩的上表面。所述各板是多个依序重叠而构成，伴随卡夹平台的移动而相互滑动。当通过所述切削装置来使加工对象物单片化时，会产生制品部与边角料等切削屑。制品部由设于卡夹平台的卡夹机构予以保持。但是，切削屑未受所述卡夹机构保持，因此从制品部切削后会从卡夹平台飞散或掉落到外部。所述飞散的切削屑会积留在保护板中的各板的上表面。若卡夹平台在所述状态下移动，则在保护板伴随所述卡夹平台的移动而收缩的过程中，切削屑有可能侵入彼此重叠的各板之间。若有加工屑侵入板之间，则不仅会妨碍保护板的伸缩，而且担心接触到波纹罩而导致波纹罩发生破损。若波纹罩发生破损，则加工液会泄漏到移动机构，使移动机构生锈，引起动作不良或故障。其结果，必须频繁地进行它们的维护作业或更换作业，导致切削装置的运转率下降。[现有技术文献][专利文献][专利文献1]日本专利第6043648号公报
技术实现思路
[专利技术所要解决的问题]因此，本专利技术是为了解决所述问题而完成，其主要课题在于，减少残留在构成保护罩的多个罩元件上表面的加工屑。[解决问题的技术手段]即，本专利技术的加工装置包括：加工平台，保持加工对象物；移动机构，使所述加工平台直线移动；保护罩，具有覆盖所述移动机构并且彼此重叠的多个罩元件，伴随所述加工平台的移动而伸缩；以及滑动构件，伴随所述加工平台而相对于所述保护罩朝所述加工平台移动的方向相对地移动，在所述多个罩元件的上表面滑动。[专利技术的效果]根据以上述方式构成的本专利技术，能够减少残留在构成保护罩的多个罩元件上表面的加工屑。附图说明图1是示意性地表示本实施方式的切断装置的结构的图。图2是示意性地表示本实施方式的基板切断模块的结构的图。图3(a)是表示本实施方式的承接板构件的排出侧的结构的立体图，图3(b)为剖面图，且图3(c)为侧面图。图4是示意性地表示本实施方式的基板切断模块的结构的局部平面图。图5是示意性地表示本实施方式的基板切断模块的结构(第二保护罩收缩的状态)的图。图6(a)～图6(c)是表示本实施方式的基板切断模块的各状态的局部平面图。图7是示意性地表示本实施方式的加工屑排出部及第二保护罩的位置关系的剖面图。[符号的说明]1：基板供给机构2A、2B：切断用平台(加工平台)3A、3B：切断用夹具4A、4B：移动机构5A、5B：旋转机构6A、6B：主轴7：检查用平台8：托盘10：保护罩10A：第一保护罩10A1、10B1：波纹元件10A2、10B2：罩元件10B：第二保护罩11：加工屑收容部12：流体供给机构13：承接板构件13a：排出端部13M：排出槽13r：角部13x：侧面13y：底面14：滑动构件14a：前端部15：加工屑排出部16：流体喷射机构41：滚珠丝杠机构42：驱动源43：滑台44：固定台框61A、61B：旋转刀100：切断装置(加工装置)121：切削水用喷嘴122、162：供给管161：喷射喷嘴A：基板供给模块B：基板切断模块C：检查模块CTL：控制部P：制品S：加工屑W：已密封基板(加工对象物)X、Y、Z、θ：方向具体实施方式接下来，举例来进一步详细地说明本专利技术。但是，本专利技术并不受以下的说明限定。本专利技术的加工装置如前所述，包括：加工平台，保持加工对象物；移动机构，使所述加工平台直线移动；保护罩，具有覆盖所述移动机构并且彼此重叠的多个罩元件，伴随所述加工平台的移动而伸缩；以及滑动构件，伴随所述加工平台而相对于所述保护罩朝所述加工平台移动的方向相对地移动，在所述多个罩元件的上表面滑动。若为所述加工装置，则当加工平台移动时，滑动构件相对于多个保护罩而朝加工平台移动的方向相对地移动，以在多个罩元件的上表面滑动，因此，即使有由加工对象物产生的加工屑留在保护罩的上表面，滑动构件也会推除加工屑。因此，能够避免加工屑积留在构成保护罩的多个罩元件的上表面。其结果，加工屑难以侵入罩元件之间，能够减少保护罩或移动机构的动作不良或故障的原因。并且，能够抑制装置运转率的下降，提高装置的生产性。所述加工装置中，为了将因加工对象物的加工而产生的加工屑集中起来并一举废弃，有的还包括收容加工屑的加工屑收容部。所述结构中，为了能够伴随加工平台的移动而使滑动构件切实地将加工屑推出到加工屑收容部中，理想的是，所述移动机构是使所述加工平台相对于所述加工屑收容部而进退移动者，通过所述加工平台的进退移动，使所述滑动构件的所述加工屑收容部侧的前端移动到最靠所述加工屑收容部侧的所述罩元件的上表面、或较之位于所述加工屑收容部侧的状态。即，理想的是，在所述加工平台移动到最靠所述加工屑收容部侧的状态下，所述滑动构件位于最靠所述加工屑收容部侧的所述罩元件的上表面、或较之位于所述加工屑收容部侧。理想的是，在彼此邻接的所述罩元件中，位于所述加工平台侧的罩元件重合在与所述加工平台位于相反侧的罩元件之上。若为所述结构，则能够设为下述结构，即，当加工平台移动而保护罩收缩时，被滑动构件推挤的加工屑不会侵入罩元件间。在相反的配置结构的情况下，当加工平台移动而保护罩收缩时，担心被滑动构件推挤的加工屑会被推入罩元件间。理想的是，所述滑动构件呈覆盖所述罩元件上表面的片材状。若为所述结构，则当伴随加工平台的移动而保护罩收缩时，能够通过滑动构件来推出加工屑，并且能够通过滑动构件来覆盖罩元件及它们的间隙。其结果，加工屑难以留在罩元件的上表面，能够进一步防止加工屑侵入罩元件间。为了适宜地排出落在保护罩两侧的加工屑，理想的是，加工装置还包括：加工屑排出部，在所述保护罩的两侧沿着所述加工平台的移动方向而设，用于排出所述加工屑；以及流体喷射机构，在所述加工屑排出部的内部，朝向所述加工屑排出部的排出侧喷射流体。此处，作为加工屑排出部的具体的实施方式，考虑呈沿着加工平台的移动方向而形成的槽形状者。在所述槽形状包含平坦的内侧面及平坦的底面的情况下，加工屑会贴附于所述平坦的内表面而难以排出。为了适宜地解决所述问题，理想的是，在呈槽形状的加工屑排出部中，其底面部具有曲面状的内表面。若为所述结构，则与平坦的内表面的情况相比，能够减小加工屑排出部的内表面与加工屑的接触面积，加工屑变得难以贴附，其结果，能够容易地排出加工屑。而且，加工装置中，有的还包括：流体供给机构，朝向被保持于所述加工平台的所述加工对象物供给流体；以及承接板构件，设于所述加工平台及所述保护罩之间，承接在所述加工对象物的加工时所产生的加工屑。作为由流体供给机构供给的流体，为切削水、冷却水或清洗水等。此处，承接板构件具有用于将所述加工屑与所述流体一同朝规定方向排出的排出槽。另外，作为所供给的流体，也可为包本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种加工装置，其特征在于包括：加工平台，保持加工对象物；移动机构，使所述加工平台直线移动；保护罩，具有覆盖所述移动机构并且彼此重叠的多个罩元件，伴随所述加工平台的移动而伸缩；以及滑动构件，伴随所述加工平台而相对于所述保护罩朝所述加工平台移动的方向相对地移动，在所述多个罩元件的上表面滑动。

【技术特征摘要】
2017.09.27 JP 2017-1866361.一种加工装置，其特征在于包括：加工平台，保持加工对象物；移动机构，使所述加工平台直线移动；保护罩，具有覆盖所述移动机构并且彼此重叠的多个罩元件，伴随所述加工平台的移动而伸缩；以及滑动构件，伴随所述加工平台而相对于所述保护罩朝所述加工平台移动的方向相对地移动，在所述多个罩元件的上表面滑动。2.根据权利要求1所述的加工装置，其特征在于还包括：加工屑收容部，收容因所述加工对象物的加工而产生的加工屑，且所述移动机构使所述加工平台相对于所述加工屑收容部而进退移动，通过所述加工平台的进退移动，使所述滑动构件的所述加工屑收容部侧的前端移动到最靠所述加工屑收容部侧的所述罩元件的上表面、或较最靠所述加工屑收容部侧的所述罩元件位于所述加工屑收容部侧的状态。3.根据权利要求1或2所述的加工装置，其特征在于，所述滑动构件...

【专利技术属性】
技术研发人员：原田昭如，石桥干司，白井克昌，
申请(专利权)人：东和株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP