衬底处理装置及衬底处理方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供能够掌握衬底的被处理面的中央侧及外周侧的处理结束时间点的衬底处理装置及衬底处理方法。衬底处理装置具备：衬底旋转部，所述衬底旋转部将衬底保持为水平并使其旋转；喷嘴，所述喷嘴向通过衬底旋转部进行旋转的衬底的被处理面供给处理液；拍摄部，所述拍摄部对包含多个对象区域的拍摄区域进行拍摄，所述对象区域是在向衬底供给了处理液时形成了液膜的区域；和检测部，所述检测部参照拍摄部的拍摄结果，基于多个对象区域的各自的亮度值的变化，来检测多个对象区域的各自的处理结束时间点。另外，拍摄区域至少包含被处理面的中央侧的区域和外周侧的区域作为多个对象区域。因此，能掌握衬底的被处理面的中央侧及外周侧的处理结束时间点。

【技术实现步骤摘要】
衬底处理装置及衬底处理方法
本专利技术涉及从喷嘴向半导体晶圆、液晶显示装置用玻璃衬底等薄板状的精密电子衬底(以下，简称为“衬底”)喷出处理液并进行规定的处理的衬底处理装置及衬底处理方法。
技术介绍
以往，在半导体器件等的制造工序中，向衬底供给纯水、光致抗蚀剂液、蚀刻液等各种处理液来进行清洗处理、抗蚀剂涂布处理等衬底处理。作为使用这些处理液进行衬底处理的装置，广泛使用了在使衬底以水平姿态旋转的同时、从喷嘴向该衬底的表面喷出处理液的衬底处理装置。例如，专利文献1中公开了一种通过对作为示出向衬底上供给了蚀刻液后的情形的图像而被预先记录的模型图像(更具体而言，为正常进行了蚀刻处理时的图像)与在蚀刻处理时取得的图像进行比较、来判断该蚀刻处理是否已正常进行的装置。另外，专利文献2中公开了一种装置，通过该装置，基于对衬底的被处理面进行拍摄而得到的拍摄图像，而取得颜色、亮度的变化，当衬底状态变化成为容许值以下时，判断为衬底处理结束，从而检测该衬底处理的处理结束时间点。现有技术文献专利文献专利文献1：日本专利第4947887号公报专利文献2：日本专利第5305792号公报
技术实现思路
专利技术要解决的课题然而，即使利用专利文献1、2所示的技术，也只能掌握衬底的被处理面的一个部位的处理结束时间点，而无法掌握其他部位的处理结束时间点。在被处理面的中央侧及外周侧，处理结束时间点通常是不同的，例如，存在虽然被处理面的中央侧的处理已经结束但外周侧的处理仍在进行中的可能性。这种情况下，若基于中央侧的拍摄结果来检测处理结束时间点并停止衬底处理，则外周侧的处理可能并未完成。本专利技术是鉴于上述课题而作出的，目的在于提供一种能够掌握衬底的被处理面的中央侧及外周侧的处理结束时间点的衬底处理装置及衬底处理方法。用于解决课题的手段为了解决上述课题，第一方案涉及的衬底处理装置具备：衬底旋转部，所述衬底旋转部将衬底保持为水平并使其旋转；喷嘴，所述喷嘴向通过所述衬底旋转部进行旋转的所述衬底的被处理面供给处理液；拍摄部，所述拍摄部对包含多个对象区域的拍摄区域进行拍摄，所述对象区域是在向所述衬底供给了所述处理液时所述被处理面的形成了液膜的区域；和检测部，所述检测部参照所述拍摄部的拍摄结果，基于所述多个对象区域的各自的亮度值的变化，来检测所述多个对象区域的各自的处理结束时间点，其中，所述拍摄区域至少包含所述被处理面的中央侧的区域和外周侧的区域作为所述多个对象区域。第二方案涉及的衬底处理装置为第一方案涉及的衬底处理装置，其中，所述检测部对微分值与阈值的大小关系进行比较，基于该比较结果来检测所述处理结束时间点，其中，所述微分值为单位期间内的所述亮度值的变化量。第三方案涉及的衬底处理装置为第二方案涉及的衬底处理装置，其中，在所述微分值变得大于所述阈值之后又变得小于所述阈值的状态、或所述微分值变得小于所述阈值之后又变得大于所述阈值的状态下，所述微分值的变动幅度落入特定的范围内的情况下，所述检测部检测所述变动幅度落入所述范围内的时间点作为所述处理结束时间点。第四方案涉及的衬底处理装置为第一方案～第三方案中的任一方案涉及的衬底处理装置，其中，所述检测部基于所述多个对象区域的各自的平均亮度值的变化，来检测所述多个对象区域的各自的所述处理结束时间点，所述平均亮度值是在所述衬底旋转一圈所需要的时间以上的时间范围内进行平均化而得到的。第五方案涉及的衬底处理装置为第四方案涉及的衬底处理装置，其中，所述拍摄部在所述时间范围内取得多幅拍摄图像，所述平均亮度值为所述多幅拍摄图像中的所述多个对象区域的各自的所述亮度值的平均值。第六方案涉及的衬底处理装置为第四方案涉及的衬底处理装置，其中，所述拍摄部以所述时间范围为曝光时间而取得一幅拍摄图像，所述平均亮度值为所述一幅拍摄图像中的所述多个对象区域的各自的所述亮度值。第七方案涉及的衬底处理装置为第一方案～第六方案中的任一方案涉及的衬底处理装置，其中，在所述检测部检测到所述多个对象区域的各自的所述处理结束时间点的时间点，停止利用所述喷嘴供给所述处理液。第八方案涉及的衬底处理装置为第一方案～第六方案中的任一方案涉及的衬底处理装置，其还具备报警部，在停止利用所述喷嘴供给所述处理液的时间点、所述检测部未检测到所述多个对象区域的各自的所述处理结束时间点的情况下，所述报警部报告警报。第九方案涉及的衬底处理装置为第一方案～第八方案中的任一方案涉及的衬底处理装置，其还具备调节部，所述调节部基于针对多片所述衬底而利用所述处理液进行处理时的所述检测部的检测结果，来调节衬底处理的条件。第十方案涉及的衬底处理装置为第一方案～第九方案中的任一方案涉及的衬底处理装置，其还具备预测部，所述预测部基于针对多片所述衬底而利用所述处理液进行处理时的所述检测部的检测结果，来预测装置各部的经久变化。第十一方案涉及的衬底处理装置为第一方案～第十方案中的任一方案涉及的衬底处理装置，其中，所述处理液为蚀刻液。第十二方案涉及的衬底处理方法包括下述工序：衬底旋转工序，将衬底保持为水平并使其旋转；供给工序，向通过所述衬底旋转工序进行旋转的所述衬底的被处理面供给处理液；拍摄工序，对包含多个对象区域的拍摄区域进行拍摄，所述对象区域是在向所述衬底供给了所述处理液时形成了液膜的区域；和检测工序，参照所述拍摄工序中的拍摄结果，基于所述多个对象区域的各自的亮度值的变化，来检测所述多个对象区域的各自的处理结束时间点，其中，所述拍摄区域至少包含所述被处理面的中央侧的区域和外周侧的区域作为所述多个对象区域。第十三方案涉及的衬底处理方法为第十二方案涉及的衬底处理方法，其中，所述检测工序中，对微分值与阈值的大小关系进行比较，基于该比较结果来检测所述处理结束时间点，其中，所述微分值为单位期间内的所述亮度值的变化量。第十四方案涉及的衬底处理方法为第十三方案涉及的衬底处理方法，其中，在所述微分值变得大于所述阈值之后又变得小于所述阈值的状态、或所述微分值变得小于所述阈值之后又变得大于所述阈值的状态下，所述微分值的变动幅度落入特定的范围内的情况下，在所述检测工序中，检测所述变动幅度落入所述范围内的时间点作为所述处理结束时间点。第十五方案涉及的衬底处理方法为第十二方案～第十四方案中的任一方案涉及的衬底处理方法，其中，所述检测工序中，基于所述多个对象区域的各自的平均亮度值的变化，来检测所述多个对象区域的各自的所述处理结束时间点，所述平均亮度值是在所述衬底旋转一圈所需要的时间以上的时间范围内进行平均化而得到的。第十六方案涉及的衬底处理方法为第十五方案涉及的衬底处理方法，其中，所述拍摄工序中，在所述时间范围内取得多幅拍摄图像，所述平均亮度值为所述多幅拍摄图像中的所述多个对象区域的各自的所述亮度值的平均值。第十七方案涉及的衬底处理方法为第十五方案涉及的衬底处理方法，其中，所述拍摄工序中，以所述时间范围为曝光时间而取得一幅拍摄图像，所述平均亮度值为所述一幅拍摄图像中的所述多个对象区域的各自的所述亮度值。第十八方案涉及的衬底处理方法为第十二方案～第十七方案中的任一方案涉及的衬底处理方法，其中，在所述检测工序中检测到所述多个对象区域的各自的所述处理结束时间点的时间点，停止所述供给工序。第十九方案涉及的衬底处理方法为第十二方案～第十七方案中本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.衬底处理装置，其具备：衬底旋转部，所述衬底旋转部将衬底保持为水平并使其旋转；喷嘴，所述喷嘴向通过所述衬底旋转部进行旋转的所述衬底的被处理面供给处理液；拍摄部，所述拍摄部对包含多个对象区域的拍摄区域进行拍摄，所述对象区域是在向所述衬底供给了所述处理液时所述被处理面的形成了液膜的区域；和检测部，所述检测部参照所述拍摄部的拍摄结果，基于所述多个对象区域的各自的亮度值的变化，来检测所述多个对象区域的各自的处理结束时间点，其中，所述拍摄区域至少包含所述被处理面的中央侧的区域和外周侧的区域作为所述多个对象区域。

【技术特征摘要】
2017.09.25 JP 2017-1835161.衬底处理装置，其具备：衬底旋转部，所述衬底旋转部将衬底保持为水平并使其旋转；喷嘴，所述喷嘴向通过所述衬底旋转部进行旋转的所述衬底的被处理面供给处理液；拍摄部，所述拍摄部对包含多个对象区域的拍摄区域进行拍摄，所述对象区域是在向所述衬底供给了所述处理液时所述被处理面的形成了液膜的区域；和检测部，所述检测部参照所述拍摄部的拍摄结果，基于所述多个对象区域的各自的亮度值的变化，来检测所述多个对象区域的各自的处理结束时间点，其中，所述拍摄区域至少包含所述被处理面的中央侧的区域和外周侧的区域作为所述多个对象区域。2.如权利要求1所述的衬底处理装置，其中，所述检测部对所述亮度值的微分值与阈值的大小关系进行比较，基于该比较结果来检测所述处理结束时间点。3.如权利要求2所述的衬底处理装置，其中，在所述微分值变得大于所述阈值之后又变得小于所述阈值的状态、或所述微分值变得小于所述阈值之后又变得大于所述阈值的状态下，所述微分值的变动幅度落入特定的范围内的情况下，所述检测部检测所述变动幅度落入所述范围内的时间点作为所述处理结束时间点。4.如权利要求1～3中任一项所述的衬底处理装置，其中，所述检测部基于所述多个对象区域的各自的平均亮度值的变化，来检测所述多个对象区域的各自的所述处理结束时间点，所述平均亮度值是在所述衬底旋转一圈所需要的时间以上的时间范围内进行平均化而得到的。5.如权利要求4所述的衬底处理装置，其中，所述拍摄部在所述时间范围内取得多幅拍摄图像，所述平均亮度值为所述多幅拍摄图像中的所述多个对象区域的各自的所述亮度值的平均值。6.如权利要求4所述的衬底处理装置，其中，所述拍摄部以所述时间范围为曝光时间而取得一幅拍摄图像，所述平均亮度值为所述一幅拍摄图像中的所述多个对象区域的各自的所述亮度值。7.如权利要求1～6中任一项所述的衬底处理装置，其中，在所述检测部检测到所述多个对象区域的各自的所述处理结束时间点的时间点，停止利用所述喷嘴供给所述处理液。8.如权利要求1～6中任一项所述的衬底处理装置，其还具备报警部，在停止利用所述喷嘴供给所述处理液的时间点、所述检测部未检测到所述多个对象区域的各自的所述处理结束时间点的情况下，所述报警部报告警报。9.如权利要求1～6中任一项所述的衬底处理装置，其还具备调节部，所述调节部基于针对多片所述衬底而利用所述处理液进行处理时的所述检测部的检测结果，来调节衬底处理的条件。10.如权利要求1～6中任一项所述的衬底处理装置，其还具备预测部，所述预测部基于针对多片所述衬底而利用所述处理液进行处理时的所述检测部的检测结果，来预测装置各部的经久变化。11.如权利要求1～6中任一项所述的衬底处理装置，其中，所述处理液为蚀刻液...

【专利技术属性】
技术研发人员：犹原英司，角间央章，冲田有史，增井达哉，
申请(专利权)人：株式会社斯库林集团，
类型：发明
国别省市：日本,JP