一种采用ALD在丝素纳米纤维表面制备氧化锌纳米管的方法技术

本发明专利技术提供了一种采用ALD在丝素纳米纤维表面制备氧化锌纳米管的方法，该方法采用原子层沉积法，以二乙基锌为锌源，以蒸馏水为氧源，在柔性丝素纳米纤维表面沉积氧化锌纳米管，通过将二乙基锌与蒸馏水交替通入原子层沉积系统的反应腔内，实现了氧化锌在柔性纳米纤维上的沉积。本方法制得的氧化锌/柔性纳米纤维衬底具有成本低，薄膜成分和厚度精确可控，三维均匀保型性好等优点，同时提高了氧化锌的光催化性能。

【技术实现步骤摘要】
一种采用ALD在丝素纳米纤维表面制备氧化锌纳米管的方法
本专利技术属于生物材料与光催化材料领域，涉及一种采用原子层沉积法(ALD)在柔性衬底丝素纳米纤维表面制备具有催化性能的氧化锌(ZnO)纳米管的方法。通过对原子层沉积过程的精确控制，制备得到了机械性能不受影响而光催化性能显著提高的在丝素纳米纤维表面沉积的氧化锌纳米管。
技术介绍
随着人类生活水平的不断提高和电子科学技术的不断发展，人类对于日常生活中电子器件的要求已经从传统的满足生产需求转移到对于提高生活舒适性和便利性上来，其中近些年发展起来的一个非常重要的分支就是柔性可穿戴电子材料领域，柔性电子材料广泛的应用于医学监测治疗，柔性薄膜器件，以及柔性材料上的电子设计等领域。与传统电子材料(陶瓷材料，厚膜材料等)相比，柔性电子材料具有更大的灵活性，可以适应不同工作环境，满足用户对于材料及器件在发生形变过程中电学性能基本保持不变的需求。柔性可穿戴电子材料目前处于发展初期，面临着一些技术方面的问题制约着其发展。首先，制备柔性电子材料的技术不够成熟。传统制备电子材料的方法通常是在高温，高真空度，高能方式制备的，如固相烧结制备电子陶瓷材料，溶胶本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种采用ALD在丝素纳米纤维表面制备氧化锌纳米管的方法，其特征在于，包括以下步骤：1)采用静电纺丝法制备丝素纳米纤维衬底，备用；2)以二乙基锌为锌源，蒸馏水为氧源，在丝素纳米纤维衬底沉积氧化锌纳米管；将二乙基锌装入原子层沉积系统专用液态源钢瓶中，并维持钢瓶的温度，将蒸馏水装入所述钢瓶中，备用；3)将步骤1)制备的丝素纳米纤维衬底放入原子层沉积系统的反应腔中，将反应腔的温度升后保温，使丝素纳米纤维衬底均匀受热；4)设置沉积参数：分别设置二乙基锌和蒸馏水源的载气流量、脉冲时间和清洗时间；设置专用管路的流量，保证原子层沉积系统的反应腔中的压强维持在800～1200Pa；5)按照步骤4)设置的参数...

【技术特征摘要】
1.一种采用ALD在丝素纳米纤维表面制备氧化锌纳米管的方法，其特征在于，包括以下步骤：1)采用静电纺丝法制备丝素纳米纤维衬底，备用；2)以二乙基锌为锌源，蒸馏水为氧源，在丝素纳米纤维衬底沉积氧化锌纳米管；将二乙基锌装入原子层沉积系统专用液态源钢瓶中，并维持钢瓶的温度，将蒸馏水装入所述钢瓶中，备用；3)将步骤1)制备的丝素纳米纤维衬底放入原子层沉积系统的反应腔中，将反应腔的温度升后保温，使丝素纳米纤维衬底均匀受热；4)设置沉积参数：分别设置二乙基锌和蒸馏水源的载气流量、脉冲时间和清洗时间；设置专用管路的流量，保证原子层沉积系统的反应腔中的压强维持在800～1200Pa；5)按照步骤4)设置的参数在丝素纳米纤维衬底上进行循环沉积，得到在柔性丝素纳米纤维衬底上均匀覆盖氧化锌的柔性材料，并通过控制循环沉积的次数调控氧化锌的厚度。2.根据权利要求1所述的采用ALD在丝素纳米纤维表面制备氧化锌纳米管的方法，其特征在于，所述步骤1)具体为：将丝素蛋白前驱体溶液利用静电纺丝机制备得到纳米纤维，将制得的纳米纤维在去离子水中浸润72小时，以去除其中的聚氧化乙烯，将丝素烘干即得丝素纳米纤维衬底。3.根据权利要求2所述的采用ALD在丝素纳米纤维表面制备氧化锌纳米管的方法，其特征在于，所述丝素蛋白前驱体溶液为天然蚕丝经脱胶、溶解、透析和离心工艺制备得到的丝素蛋白水溶液。4.根据权利要求1所述的采用ALD在丝...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘明，张乐，张晓慧，周子尧，关蒙萌，
申请(专利权)人：西安科汇电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：陕西,61