压印装置和制造显示面板的方法制造方法及图纸

本公开提供了压印装置和制造显示面板的方法。一种压印装置包括：工作台，该工作台支承模压母模或者衬底，在模压母模上形成有用于在柔性衬底上形成模压图案的母模图案，通过与模压图案接触，在衬底上形成有对应于模压图案的图案；卷对卷移动器，其沿着邻近于工作台的路径移动柔性衬底；夹具，其包括固定柔性衬底的第一部分的前夹具以及固定柔性衬底的与第一部分间隔开的第二部分的后夹具；加压辊子，其按压柔性衬底，以使得由夹具固定的柔性衬底与衬底或模压母模接触；以及夹具驱动控制器，其驱动夹具，以调整第一部分与第二部分之间的张力。

【技术实现步骤摘要】
压印装置和制造显示面板的方法相关申请的交叉引用于2017年9月19日在韩国知识产权局提交的标题为“压印装置和制造显示面板的方法”的韩国专利申请No.10-2017-0120510以引用方式全文并入本文中。
实施例涉及一种压印装置和一种制造显示面板的方法。
技术介绍
纳米压印光刻技术是一种图案化技术，其可代替光刻技术和电子束光刻技术。在纳米压印处理中，当可通过特定波长的光源固化的树脂被涂布在衬底上并随后被具有期望制造的图案的反形状的模具按压时，具有流动性的树脂由于毛细作用可填充所述模具的空的空间。树脂可以通过光辐射固化，然后去除模具，从而在衬底上形成图案。在制造半导体装置的处理中，通过纳米压印处理形成的图案可用作后续处理用作的牺牲层(例如，蚀刻掩模)。
技术实现思路
可通过提供一种压印装置来实现实施例，所述压印装置包括：工作台，该工作台支承模压母模或者衬底，在模压母模上形成有用于在柔性衬底上形成模压图案的母模图案，通过与具有模压图案的柔性衬底接触，在衬底上形成对应于模压图案的图案；卷对卷移动器，其被构造为沿着邻近于工作台的路径移动柔性衬底；夹具，该夹具包括固定柔性衬底的第一部分的前夹具以及固定柔性衬底的第二部分的后夹具，第二部分在柔性衬底的长度方向上与第一部分间隔开；加压辊子，其被构造为按压柔性衬底，以使得由夹具固定的柔性衬底与衬底或模压母模接触；以及夹具驱动控制器，其被构造为驱动夹具，以调整第一部分与第二部分之间的张力。可通过提供一种压印装置来实现实施例，所述压印装置包括：工作台，其支承具有图案区的衬底；卷对卷移动器，其被构造为沿着邻近于工作台的路径移动柔性衬底；前夹具，其布置为邻近于图案区的一端，并且固定柔性衬底的第一部分；以及后夹具，其布置为邻近于与图案区的所述一端相对的图案区的另一端，并且固定柔性衬底的第二部分，第二部分与第一部分间隔开，其中，前夹具包括向下延伸的导向器，以将柔性衬底引导至邻近于图案区的所述一端的位置。可通过提供一种压印装置来实现实施例，所述压印装置包括：卷对卷退绕器/复绕器，其被构造为退绕或复绕柔性衬底；工作台，其布置在由卷对卷退绕器/复绕器支承的柔性衬底下方，该工作台支承模压母模或者衬底，在模压母模上形成有用于在柔性衬底上形成模压图案的母模图案，衬底与其上形成有模压图案的柔性衬底接触，以在衬底上形成对应于模压图案的图案；前夹具，其固定柔性衬底的一个区的第一端；后夹具，其固定柔性衬底的所述区的第二端，并且第二端与第一端相对；以及加压辊子，其被构造为在第一端与第二端之间运动的同时按压柔性衬底，以使得柔性衬底与衬底或模压母模接触，其中，与加压辊子的运动对应，将固定第一端的前夹具固定在特定位置，并且将固定第二端的后夹具向上或向下移动。附图说明通过参照附图详细描述示例性实施例，特征对于本领域技术人员将变得清楚，其中：图1A和图1B示出了根据一些实施例的压印装置的示意图；图2示出了在图1B所示的压印装置中的压印处理中，衬底和由夹具固定的柔性衬底的透视图；图3示出了根据一些实施例的压印装置的示意图；图4示出了在图3所示的压印装置中的模具模压处理中，模压母模和由夹具固定的柔性衬底的透视图；图5示出了图1A和图1B所示的压印装置的一部分的示意图。图6A和图6B示出了根据一些实施例的压印装置的一部分的示意图；图7示出了在图6B所示的压印装置中，衬底和由夹具固定的柔性衬底的透视图；图8示出了根据一些实施例的利用压印装置在柔性衬底上形成模压图案的薄膜模压处理的流程图；图9A至图9E示出了根据一些实施例的显示出在利用压印装置的薄膜模压处理中的各阶段的示图；图10示出了根据一些实施例的利用压印装置将柔性衬底的模压图案转印至衬底的压印处理的流程图；图11A至图11E示出了根据一些实施例的显示出在利用压印装置的压印处理中的各阶段的示图；图12A和图12B示出了根据一些实施例的在操作压印装置的方法中的各阶段的示图；以及图13A至图13G示出了根据一些实施例的在制造显示面板的方法中的各阶段的剖视图。具体实施方式图1A和图1B示出了根据一些实施例的压印装置100的示意图。图2示出了在图1B所示的压印装置100中的压印处理中，衬底30和由夹具130固定的柔性衬底10的透视图。图1A示出了当用于固定柔性衬底10的夹具130打开时的压印装置100，图1B示出了当柔性衬底10被夹具130固定时的压印装置100。在图2中，为了方便起见，将柔性衬底10和衬底30分开示出。参照图1A至图2，压印装置100可包括工作台110、卷对卷构件或卷对卷移动器120、夹具130、夹具驱动控制器140、加压辊子150以及固化构件或固化器160。在实施中，压印装置100可执行用于将柔性衬底10的模压图案13转印至作为图案转印对象的衬底30的图案区PR上的压印处理。工作台110可在压印处理中支承衬底30。卷对卷移动器(例如，卷对卷退绕器/复绕器)120可支承柔性衬底10，并且可通过退绕操作或复绕操作来移动柔性衬底10。卷对卷移动器120可沿着邻近于工作台110的路径移动柔性衬底10。卷对卷移动器120可包括：柔性衬底供应卷121，柔性衬底10的一端绕在其周围；以及柔性衬底再绕卷123，柔性衬底10的另一端绕在其周围。柔性衬底供应卷121可包括：卷筒，柔性衬底10的所述一端绕在该卷筒周围；以及旋转轴，其可使所述卷筒旋转因而退绕或复绕柔性衬底10。在通过卷对卷移动器120提供的柔性衬底10的移动路径上，可安装第一导向辊子125(用于引导柔性衬底10在柔性衬底供应卷121与工作台110之间的运动)和第二导向辊子127(用于引导柔性衬底10在工作台110与柔性衬底再绕卷123之间的运动)。通过卷对卷移动器120以及第一导向辊子125和第二导向辊子127，柔性衬底10可沿着面对工作台110的表面的特定路径运动。柔性衬底10可包括聚合物膜(例如聚碳酸酯、聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚乙烯萘或聚酰亚胺)或者可包括薄玻璃。SiOx膜、SiNx膜等可形成在柔性衬底10的表面上，并且柔性衬底10的表面可经历用于压印处理等的表面处理。柔性衬底10的一个表面可被保护膜PF覆盖。保护膜去除单元或保护膜去除器170可设置在柔性衬底供应卷121与工作台110之间。保护膜去除器170可在柔性衬底10被供应至工作台110之前从柔性衬底10去除保护膜PF。夹具130可布置为邻近于工作台110，并且可固定柔性衬底10。夹具130可包括：前夹具131，其布置为邻近于工作台110的一端111并且固定柔性衬底10的第一部分P1；以及后夹具133，其布置为邻近于与工作台110的所述一端111相对的工作台110的另一端113，并且固定柔性衬底10的第二部分P2。由后夹具133固定的柔性衬底10的第二部分P2可在柔性衬底10的纵向(例如，运动方向)上与由前夹具131固定的柔性衬底10的第一部分P1间隔开。当执行压印处理时，柔性衬底10的第一部分P1与第二部分P2之间的区可为其中形成模压图案13的区。前夹具131可包括第一上体部131U和第一下体部131L，它们在柔性衬底10介于其间的情况下彼此间隔开。第一上体部131U和第一下体部131L可按照以下方式构造：它们相对于彼此可开合，以可在用于本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种压印装置，包括：工作台，该工作台支承：模压母模，其上形成有用于在柔性衬底上形成模压图案的母模图案，或者衬底，通过与具有模压图案的柔性衬底接触，在所述衬底上形成有对应于所述模压图案的图案；卷对卷移动器，其被构造为沿着邻近于所述工作台的路径移动所述柔性衬底；夹具，该夹具包括：前夹具，其固定所述柔性衬底的第一部分，以及后夹具，其固定所述柔性衬底的第二部分，所述第二部分在所述柔性衬底的长度方向上与所述第一部分间隔开；加压辊子，其被构造为按压所述柔性衬底，以使得由所述夹具固定的柔性衬底与所述衬底或所述模压母模接触；以及夹具驱动控制器，其被构造为驱动所述夹具，以调整所述第一部分与所述第二部分之间的张力。

【技术特征摘要】
2017.09.19 KR 10-2017-01205101.一种压印装置，包括：工作台，该工作台支承：模压母模，其上形成有用于在柔性衬底上形成模压图案的母模图案，或者衬底，通过与具有模压图案的柔性衬底接触，在所述衬底上形成有对应于所述模压图案的图案；卷对卷移动器，其被构造为沿着邻近于所述工作台的路径移动所述柔性衬底；夹具，该夹具包括：前夹具，其固定所述柔性衬底的第一部分，以及后夹具，其固定所述柔性衬底的第二部分，所述第二部分在所述柔性衬底的长度方向上与所述第一部分间隔开；加压辊子，其被构造为按压所述柔性衬底，以使得由所述夹具固定的柔性衬底与所述衬底或所述模压母模接触；以及夹具驱动控制器，其被构造为驱动所述夹具，以调整所述第一部分与所述第二部分之间的张力。2.根据权利要求1所述的压印装置，其中，所述夹具驱动控制器被构造为移动固定所述第一部分的前夹具和固定所述第二部分的后夹具中的至少一个，以及调整所述第一部分与所述第二部分之间的张力。3.根据权利要求1所述的压印装置，其中：所述前夹具包括上体部和下体部，所述上体部和所述下体部在所述柔性衬底介于它们之间的情况下彼此间隔开，并且所述上体部包括：夹持器，其与所述下体部合作来固定布置在所述上体部与所述下体部之间的柔性衬底，以及导向器，其在相对于所述夹持器的延伸方向倾斜的方向上从所述夹持器延伸，并且在所述倾斜的方向上引导所述柔性衬底。4.根据权利要求1所述的压印装置，还包括张力传感器，所述张力传感器安装至所述夹具，以测量所述第一部分与所述第二部分之间的张力。5.根据权利要求4所述的压印装置，其中，所述夹具驱动控制器被构造为驱动所述夹具，以基于所述张力传感器测量的信息实时地调整所述第一部分与所述第二部分之间的张力。6.根据权利要求1所述的压印装置，其中，所述加压辊子被构造为在从所述工作台的一端朝着所述工作台的另一端的第一方向上运动的同时按压所述柔性衬底，所述一端与所述另一端相对。7.根据权利要求6所述的压印装置，其中，所述夹具驱动控制器被构造为：使所述后夹具与所述加压辊子在所述第一方向上的运动关联地向下运动。8.根据权利要求6所述的压印装置，其中：所述夹具驱动控制器被构造为在所述前夹具停止的同时使所述后夹具向上运动，从而所述柔性衬底与所述衬底或所述模压母模分离，并且所述加压辊子被构造为与所述后夹具的向上运动关联地在与所述第一方向相反的第二方向上运动。9.根据权利要求6所述的压印装置，还包括固化器，所述固化器固化布置在所述柔性衬底与所述衬底之间的树脂层或者布置在所述柔性衬底与所述模压母模之间的树脂层，其中，所述固化器被构造为跟随在所述第一方向上运动的所述加压辊子。10.根据权利要求6所述的压印装置，其中，所述夹具驱动控制器被构造为驱动所述夹具，以使得所述第一部分与所述第二部分之间的张力随着在所述第一方向上运动的所述加压辊子靠近所述工作台的所述另一端而减小。11.根据权利要求1所述的压印装置，其中，所述前夹具和所述后夹具中的每一个是磁夹具。12.一种压印装置，包括：工作台，其支承具有图案区的衬底；卷对卷移动器，其被构造为沿着邻近于所述工作台...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘灏，崔命受，金东昱，金正旭，孙沂周，李成圭，黃恩秀，
申请(专利权)人：三星电子株式会社，
类型：发明
国别省市：韩国,KR