【技术实现步骤摘要】
浓度控制装置和材料气体供给装置
本专利技术涉及浓度控制装置和材料气体供给装置。
技术介绍
在半导体制造工艺中，在将储存在储存罐中的材料气体向成膜室(腔室)供给的情况下，使用如下浓度控制装置：其将从载气供给装置供给的载气向储存罐导入，并一边对与载气一起从储存罐被导出的材料气体的浓度进行调整，一边向成膜室(腔室)供给。作为以往的浓度控制装置，例如如专利文献1所示，采用如下形态：对于设置在储存罐的上方的板，将从载气供给装置向储存罐延伸的配管和/或从储存罐向成膜室延伸的配管等各配管固定，并且将与该各配管连接的质量流量控制器等各设备固定。但是，在上述以往的浓度控制装置中，虽然由于能够将各配管和/或各设备相对于板自由地配置因而设计自由度高，但存在如下问题：各配管的全长变长，伴随于此，装置整体的压力损失增加，且装置本身也大型化。此外，如果从储存罐向成膜室延伸的配管变长，则还存在响应性变差的问题。因此，存在装置整体的集成化的这样一个要求。另外，在浓度控制装置中，与比储存罐靠下游侧的位置连接、供材料气体流通的配管会因材料气体的附着而污染，因此，需要进行配管的更换等定期性的维护，还存...
【技术保护点】
1.一种浓度控制装置，其特征在于，向储存材料的储存罐导入载气，并对材料气体的浓度进行控制，所述材料气体作为与所述载气混合的混合气体而从所述储存罐被导出且由所述材料气化而成，所述浓度控制装置具备：第一单元，其控制向所述储存罐导入的所述载气的流量；以及第二单元，其检测从所述储存罐导出的所述材料气体的浓度，所述第一单元具备：第一块部，其在内部具有供所述载气流通的载气流路；第一流量传感器，其检测在所述载气流路中流通的所述载气的流量；以及第一流量控制阀，其基于所述第一流量传感器的检测值，控制在所述载气流路中流通的载气的流量，所述第二单元具备：第二块部，其在内部具有供所述混合气体流通的...
【技术特征摘要】
2017.09.19 JP 2017-179082;2018.07.12 JP 2018-132341.一种浓度控制装置，其特征在于，向储存材料的储存罐导入载气，并对材料气体的浓度进行控制，所述材料气体作为与所述载气混合的混合气体而从所述储存罐被导出且由所述材料气化而成，所述浓度控制装置具备：第一单元，其控制向所述储存罐导入的所述载气的流量；以及第二单元，其检测从所述储存罐导出的所述材料气体的浓度，所述第一单元具备：第一块部，其在内部具有供所述载气流通的载气流路；第一流量传感器，其检测在所述载气流路中流通的所述载气的流量；以及第一流量控制阀，其基于所述第一流量传感器的检测值，控制在所述载气流路中流通的载气的流量，所述第二单元具备：第二块部，其在内部具有供所述混合气体流通的混合气体流路，并与所述第一块部可拆装地连结；以及浓度检测器，其检测在所述混合气体流路中流通的所述材料气体的浓度。2.根据权利要求1所述的浓度控制装置，其特征在于，成为如下结构：在将所述第一块部与所述第二块部连结起来的情况下，能够形成第一旁通流路，所述第一旁通流路从所述载气流路上的比所述第一流量控制阀靠上游侧的位置分支，并向所述混合气体流路上的比所述浓度检测器靠上游侧的位置汇合。3.根据权利要求2所述的浓度控制装置，其特征在于，在将所述第一块部与所述第二块部连结而形成了所述第一旁通流路的情况下，所述第一旁通流路从所述载气流路上的比所述第一流量传感器靠上游侧的位置分支，所述第一单元或所述第二单元还具备第二流量传感器和第二流量控制阀，所述第二流量传感器检测在所述第一旁通流路中流通的载气的流量，所述第二流量控制阀控制在所述第一旁通流路中流通的载气的流量，所述浓度控制装置构成为基于所述浓度检测器、所述第一流量传感器和所述第二流量传感器的检测值，利用所述第一流量控制阀和所述第二流量控制阀，控制在所述混合气体流路中流通的所述材料气体的浓度。4.根据权利要求2所述的浓度控制装置，其特征在于，在将所述第一块部与所述第二块部连结而形成了所述第一旁通流路的情况下，所述第一旁通流路从所述载气流路上的比所述第一流量传感器靠下游侧的位置分支，所述第一单元或所述第二单元还具备第二流量控制阀，所述第二流量控制阀控制在所述第一旁通流路中流通的载气的流量，所述浓度控制装置构成为基于所述浓度检测器和所述第一流量传感器的检测值，利用所述第一流量控制阀和所述第二流量控制阀，控制在所述混合气体流路中流通的所述材料气体的浓度。5.根据权利要求1所述的浓度控制装置，其特征在于，所述第二单元还具备第三流量控制阀，所述第三流量控制阀控制在所述混合气体流路中流通的混合气体的流量，所述浓度控制装置构成为基于所述浓度检测器的检测值，利用所述第三流量控制阀，控制在所述混合气体流路中流通的所述材料气体的浓度。6.根据权利要求3所述的浓度控制装置，其特征在于，成为如下结构：在将所述第一块部与所述第二块部连结起来的情况下，能够形成第二旁通流路，所述第二旁通流路从所述载气流路上的比所述第一流量控制阀靠下游侧的位置分支，并汇合到所述混合气体流路或所述第一旁通流路中的任一方。7.根据权利要求6所述的浓度控制装置，其特征在于，在将所述第一块部与所述第二块部连结而形成了所述第二旁通流路的情况下，所述第一单元在所述载气流路上的比所述第二旁通流路的分支点靠下游侧的位置还具备第一开闭阀，所述第二单元在所述混合气体流路上的比所述第二旁通流路的汇合点靠上游侧的位置还具备第二开闭阀，所述第一单元或所述第二单元在所述第二旁通流路上还具备第三开闭阀。8.根据权利要求1所述的浓度控制装置，其特征在于，所述浓度检测器具备：光源，其对在所述混合气体流路中流通的混合气体照射光；以及光接收器，其对从所述光源射出并透过了所述混合气体的光进行检测。9.根据权利要求8所述的浓度控制装置，其特征在于，所述浓度检测器还具备反射镜，所述反射镜使从所述光源射出并透过了所述混合气体的光向从所述第二块部离开的方向弯曲。10.根据权利要求7所述的浓度控制装置，其特征在于，所述第二单元还具备检测所述混合气体流路的压力的压力传感器。11.根据权利要求1所述的浓度控制装置，其特征在于，所述第一块部和所述第二块部的至少一方在内部具备加热器。12.根据权利要求10所述的浓度控制装置，其特征在于，所述第一单元或所述第二单元在所述第一旁通流路上的比所...
【专利技术属性】
技术研发人员：志水彻，南雅和，
申请(专利权)人：株式会社堀场STEC，
类型：发明
国别省市：日本,JP
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