磷烷尾气处理装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种磷烷尾气处理装置，属于磷烷尾气处理装置技术领域。包括氮气罐、磷烷气罐、稀释管、防逆流器、喷淋塔、碱液箱、喷淋管和循环泵，所述稀释管一端与所述氮气罐连通，另一端与所述喷淋塔底部连通，稀释管上在靠近与氮气罐连通处设有氮气减压器和单向阀，所述磷烷气罐与稀释管中部连通，稀释管末端靠近与喷淋塔连通处还设有防逆流器，所述喷淋塔内填充有空心微球，喷淋塔顶部设有排气口，所述排气口内设有磷烷报警器，所述碱液箱与喷淋塔底部连通，碱液箱内设有PH计，所述喷淋管一端与喷淋塔顶端连通并伸入喷淋塔内，另一端连接至碱液箱中，所述循环泵设置在喷淋管上。本实用新型专利技术吸收率高，避免环境污染以及安全隐患。

【技术实现步骤摘要】
磷烷尾气处理装置
本技术涉及一种磷烷尾气处理装置，属于磷烷尾气处理装置

技术介绍
电子工业中往往使用含磷烷气体做掺杂气体，由气体生产工厂混合成磷烷浓度为5%的混合气体，在充装前需要对残余气体进行处理置换，由于磷烷气体属于剧毒品，排放需小于0.3mg/m3，工业上通常采用燃烧法进行处理，实际吸收效果并不理想，仍有部分磷烷气体进入空气中。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题在于：提供一种磷烷尾气处理装置，它解决了目前的燃烧法吸收磷烷尾气吸收不彻底、存在安全隐患的问题。本技术所要解决的技术问题采取以下技术方案来实现：磷烷尾气处理装置，包括氮气罐、磷烷气罐、稀释管、防逆流器、喷淋塔、碱液箱、喷淋管和循环泵，所述稀释管一端与所述氮气罐连通，另一端与所述喷淋塔底部连通，稀释管上在靠近与氮气罐连通处设有氮气减压器和单向阀，所述磷烷气罐与稀释管中部连通，稀释管末端靠近与喷淋塔连通处还设有防逆流器，所述喷淋塔内填充有空心微球，喷淋塔顶部设有排气口，所述排气口内设有磷烷报警器，所述碱液箱与喷淋塔底部连通，碱液箱内设有PH计，所述喷淋管一端与喷淋塔顶端连通并伸入喷淋塔内，另一端连接至碱液箱中，所述循环泵设置在喷淋管上。通过采用上述技术方案，高浓度的磷烷气体被氮气稀释后通过稀释管进入到喷淋塔中，防逆流器防止喷淋塔中的碱液流入稀释管中，喷淋塔内的空心微球一方面增加了碱液与磷烷气体的接触面积，另一方面其形成曲折路径大大增加了磷烷气体上升时的行程，从而提高碱液对其的吸收率；碱液通过喷淋管和设置在喷淋管上的循环泵循环喷淋，提高利用率，当PH计指数小于8时即需要更换碱液以确保吸收效果；吸收完成后，从喷淋塔顶部排出，磷烷报警器监测是否有磷烷泄露。作为优选实例，所述稀释管上在其与所述磷烷气罐连接处后端还依次设有球阀、混合气减压器和单向阀。作为优选实例，所述氮气罐、所述磷烷气罐与所述稀释管连接处分别设有球阀。作为优选实例，所述空心微球为不锈钢空心球。作为优选实例，所述碱液箱内的溶液为NaClO与NaOH混合溶液。本技术的有益效果是：采用湿法吸收磷烷尾气，先将磷烷气体稀释后，再通过喷淋塔进行吸收，增加碱液与磷烷的接触时间与接触面积，从而大大提高了对磷烷的吸收率，消除安全隐患及环境污染。附图说明图1为本技术的结构示意图。图中：氮气罐1，磷烷气罐2，稀释管3，防逆流器4，喷淋塔5，碱液箱6，喷淋管7，循环泵8，氮气减压器9，单向阀10，空心微球11，排气口12，磷烷报警器13，PH计14，球阀15，混合气减压器16。具体实施方式为了对本技术的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体图示，进一步阐述本技术。如图1所示，磷烷尾气处理装置，包括氮气罐1、磷烷气罐2、稀释管3、防逆流器4、喷淋塔5、碱液箱6、喷淋管7和循环泵8，所述稀释管3一端与所述氮气罐1连通，另一端与所述喷淋塔5底部连通，稀释管3上在靠近与氮气罐1连通处设有氮气减压器9和单向阀10，所述磷烷气罐2与稀释管3中部连通，稀释管3末端靠近与喷淋塔5连通处还设有防逆流器4，所述喷淋塔5内填充有空心微球11，喷淋塔5顶部设有排气口12，所述排气口12内设有磷烷报警器13，所述碱液箱6与喷淋塔5底部连通，碱液箱6内设有PH计14，所述喷淋管7一端与喷淋塔5顶端连通并伸入喷淋塔5内，另一端连接至碱液箱6中，所述循环泵8设置在喷淋管7上。喷淋塔5为不锈钢材质，喷淋管7伸入喷淋塔5内的一端设置若干支管，每个支管上均设有一个喷淋头，以提高喷淋效果，稀释管3与喷淋塔5连通的一端在进入喷淋塔5时应向下倾斜，且其应当位于空心微球11层高度的一半以下，使气体进入时先进入底部，在向上折返，确保吸收效率。铺设空心微球11时，可在底部设有一挡板，挡板上设有孔径小于空心微球11的通孔。在其中的一种实施例中，所述稀释管3上在其与所述磷烷气罐2连接处后端还依次设有球阀15、混合气减压器16和单向阀10。在其中的一种实施例中，所述氮气罐1、所述磷烷气罐2与所述稀释管3连接处分别设有球阀15。在其中的一种实施例中，所述空心微球11为不锈钢空心球。在其中的一种实施例中，所述碱液箱6内的溶液为NaClO与NaOH混合溶液。本技术中，高浓度的磷烷气体被氮气稀释后通过稀释管3进入到喷淋塔5中，防逆流器4防止喷淋塔5中的碱液流入稀释管3中，喷淋塔5内的空心微球11一方面增加了碱液与磷烷气体的接触面积，另一方面其形成曲折路径大大增加了磷烷气体上升时的行程，从而提高碱液对其的吸收率；碱液通过喷淋管7和设置在喷淋管7上的循环泵8循环喷淋，提高利用率，当PH计14指数小于8时即需要更换碱液以确保吸收效果；吸收完成后，从喷淋塔5顶部排出，磷烷报警器13监测是否有磷烷泄露。以上显示和描述了本技术的基本原理和主要特征和本技术的优点。本行业的技术人员应该了解，本技术不受上述实施例的限制，在不脱离本技术精神和范围的前提下，本技术还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入本技术要求保护的范围内。本技术要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.磷烷尾气处理装置，其特征在于：包括氮气罐、磷烷气罐、稀释管、防逆流器、喷淋塔、碱液箱、喷淋管和循环泵，所述稀释管一端与所述氮气罐连通，另一端与所述喷淋塔底部连通，稀释管上在靠近与氮气罐连通处设有氮气减压器和单向阀，所述磷烷气罐与稀释管中部连通，稀释管末端靠近与喷淋塔连通处还设有防逆流器，所述喷淋塔内填充有空心微球，喷淋塔顶部设有排气口，所述排气口内设有磷烷报警器，所述碱液箱与喷淋塔底部连通，碱液箱内设有PH计，所述喷淋管一端与喷淋塔顶端连通并伸入喷淋塔内，另一端连接至碱液箱中，所述循环泵设置在喷淋管上。

【技术特征摘要】
1.磷烷尾气处理装置，其特征在于：包括氮气罐、磷烷气罐、稀释管、防逆流器、喷淋塔、碱液箱、喷淋管和循环泵，所述稀释管一端与所述氮气罐连通，另一端与所述喷淋塔底部连通，稀释管上在靠近与氮气罐连通处设有氮气减压器和单向阀，所述磷烷气罐与稀释管中部连通，稀释管末端靠近与喷淋塔连通处还设有防逆流器，所述喷淋塔内填充有空心微球，喷淋塔顶部设有排气口，所述排气口内设有磷烷报警器，所述碱液箱与喷淋塔底部连通，碱液箱内设有PH计，所述喷淋管一端与喷淋塔顶端连通并伸入喷淋塔内，另一端...

【专利技术属性】
技术研发人员：于青玉，
申请(专利权)人：和立气体上海有限公司，
类型：新型
国别省市：上海,31