磷烷尾气处理装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种磷烷尾气处理装置，属于磷烷尾气处理装置技术领域。包括氮气罐、磷烷气罐、稀释管、防逆流器、喷淋塔、碱液箱、喷淋管和循环泵，所述稀释管一端与所述氮气罐连通，另一端与所述喷淋塔底部连通，稀释管上在靠近与氮气罐连通处设有氮气减压器和单向阀，所述磷烷气罐与稀释管中部连通，稀释管末端靠近与喷淋塔连通处还设有防逆流器，所述喷淋塔内填充有空心微球，喷淋塔顶部设有排气口，所述排气口内设有磷烷报警器，所述碱液箱与喷淋塔底部连通，碱液箱内设有PH计，所述喷淋管一端与喷淋塔顶端连通并伸入喷淋塔内，另一端连接至碱液箱中，所述循环泵设置在喷淋管上。本实用新型专利技术吸收率高，避免环境污染以及安全隐患。

【技术实现步骤摘要】
磷烷尾气处理装置
本技术涉及一种磷烷尾气处理装置，属于磷烷尾气处理装置

技术介绍
电子工业中往往使用含磷烷气体做掺杂气体，由气体生产工厂混合成磷烷浓度为5%的混合气体，在充装前需要对残余气体进行处理置换，由于磷烷气体属于剧毒品，排放需小于0.3mg/m3，工业上通常采用燃烧法进行处理，实际吸收效果并不理想，仍有部分磷烷气体进入空气中。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题在于：提供一种磷烷尾气处理装置，它解决了目前的燃烧法吸收磷烷尾气吸收不彻底、存在安全隐患的问题。本技术所要解决的技术问题采取以下技术方案来实现：磷烷尾气处理装置，包括氮气罐、磷烷气罐、稀释管、防逆流器、喷淋塔、碱液箱、喷淋管和循环泵，所述稀释管一端与所述氮气罐连通，另一端与所述喷淋塔底部连通，稀释管上在靠近与氮气罐连通处设有氮气减压器和单向阀，所述磷烷气罐与稀释管中部连通，稀释管末端靠近与喷淋塔连通处还设有防逆流器，所述喷淋塔内填充有空心微球，喷淋塔顶部设有排气口，所述排气口内设有磷烷报警器，所述碱液箱与喷淋塔底部连通，碱液箱内设有PH计，所述喷淋管一端与喷淋塔顶端连通并伸入喷淋塔内，另一端连接至碱液箱中，所本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.磷烷尾气处理装置，其特征在于：包括氮气罐、磷烷气罐、稀释管、防逆流器、喷淋塔、碱液箱、喷淋管和循环泵，所述稀释管一端与所述氮气罐连通，另一端与所述喷淋塔底部连通，稀释管上在靠近与氮气罐连通处设有氮气减压器和单向阀，所述磷烷气罐与稀释管中部连通，稀释管末端靠近与喷淋塔连通处还设有防逆流器，所述喷淋塔内填充有空心微球，喷淋塔顶部设有排气口，所述排气口内设有磷烷报警器，所述碱液箱与喷淋塔底部连通，碱液箱内设有PH计，所述喷淋管一端与喷淋塔顶端连通并伸入喷淋塔内，另一端连接至碱液箱中，所述循环泵设置在喷淋管上。

【技术特征摘要】
1.磷烷尾气处理装置，其特征在于：包括氮气罐、磷烷气罐、稀释管、防逆流器、喷淋塔、碱液箱、喷淋管和循环泵，所述稀释管一端与所述氮气罐连通，另一端与所述喷淋塔底部连通，稀释管上在靠近与氮气罐连通处设有氮气减压器和单向阀，所述磷烷气罐与稀释管中部连通，稀释管末端靠近与喷淋塔连通处还设有防逆流器，所述喷淋塔内填充有空心微球，喷淋塔顶部设有排气口，所述排气口内设有磷烷报警器，所述碱液箱与喷淋塔底部连通，碱液箱内设有PH计，所述喷淋管一端与喷淋塔顶端连通并伸入喷淋塔内，另一端...

【专利技术属性】
技术研发人员：于青玉，
申请(专利权)人：和立气体上海有限公司，
类型：新型
国别省市：上海,31