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本实用新型公开了一种磷烷尾气处理装置，属于磷烷尾气处理装置技术领域。包括氮气罐、磷烷气罐、稀释管、防逆流器、喷淋塔、碱液箱、喷淋管和循环泵，所述稀释管一端与所述氮气罐连通，另一端与所述喷淋塔底部连通，稀释管上在靠近与氮气罐连通处设有氮气减压...
该专利属于和立气体（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过和立气体（上海）有限公司授权不得商用。

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