气体输送装置制造方法及图纸

本案提供一种气体输送装置，由至少一导流单元所构成，至少一导流单元包含入口板、基材、共振板、致动膜、压电元件及出口板依序堆叠设置，共振板与致动膜间定义第一腔室，致动膜与出口板间定义第二腔室，当压电元件驱动致动膜时，气体由入口板的进入孔进入基材的汇流腔室，并流经共振板的中空孔洞，以进入第一腔室内，并由致动膜的空隙导入第二腔室内，最后由出口板的出口孔导出，借此以控制气体的流通。

【技术实现步骤摘要】
气体输送装置
本案是关于一种气体输送装置，尤指一种透过微型、薄型且静音的气体输送装置。
技术介绍
目前于各领域中无论是医药、电脑科技、打印、能源等工业，产品均朝精致化及微小化方向发展，其中微帮浦所包含的气体输送结构为其关键技术，是以，如何借创新结构突破其技术瓶颈，为发展的重要内容。随着科技的日新月异，气体输送装置的应用上亦愈来愈多元化，举凡工业应用、生医应用、医疗保健、电子散热等等，甚至近来热门的穿戴式装置皆可见它的踨影，可见传统的气体输送装置已渐渐有朝向装置微小化、流量极大化的趋势。于现有技术中，气体输送装置主要以传统的机构部件堆叠而构成，并以每一个机构部件极小化或厚度薄化的方式，来达到整体装置微型化、薄型化的目的。然而，传统机构件在微小化后，其尺寸精度控制不易，且组装精度同样难以掌控，进而造成产品良率不一，甚至有气体传送的流量不稳定等问题。再者，已知的气体传输装置亦具有输送流量不足的问题，透过单一气体传输装置难以因应大量气体传输的需求，且已知的气体传输装置通常有外凸的导接脚以供通电连接之用，故若欲将多个已知的气体传输装置并排设置以提高传输量，其组装精度同样不易控制，导接脚容易造成设置的障碍，且亦导致其外接的供电线设置复杂，因此仍难以透过此方式提高流量，排列方式亦较无法灵活运用。因此，如何发展一种可改善上述已知技术缺失，可使传统采用气体传输装置的仪器或设备达到体积小、微型化且静音，且克服微型尺寸精度不易掌控、流量不足的问题，且可灵活运用于各式装置的微型气体传输装置，实为目前迫切需要解决的问题。
技术实现思路
本案的主要目的在于提供一种气体输送装置，借由微机电制程制出一体成型的微型化气体输送装置，以克服传统输送装置无法同时兼具体积小、微型化、尺寸精度掌控以及流量不足的问题。为达上述目的，本案的一较广义实施样态为提供一种气体输送装置，其由至少一导流单元所构成，该至少一导流单元包含：一入口板，具有至少一入口孔；一基材；一共振板，为面型微加工技术制成的悬浮结构，具有一中空孔洞及多个可动部；一致动膜，为面型微加工技术制成的中空悬浮结构，具有多个悬浮部、一外框部及至少一空隙；一压电元件，贴附于该致动膜的该悬浮部的一表面；一出口板，具有一出口孔；其中，该入口板、该基材、该共振板、该致动膜及该出口板是依序对应堆叠设置，该导流单元的该共振板及该致动膜之间具有一间隙形成一第一腔室，该致动膜及该出口板之间形成一第二腔室，当该导流单元的该压电元件驱动该致动膜时，气体由该入口板的该入口孔进入该汇流腔室，并流经该共振板的该中空孔洞，以进入该第一腔室内，并由该至少一空隙导入该第二腔室内，最后由该出口板的该出口孔导出，借此以控制气体的流通。【附图说明】图1为本案为第一较佳实施例的气体输送装置之外观结构示意图。图2为图1所示的气体输送装置的剖面结构示意图。图3A为图2所示的气体输送装置的剖面的单一导流单元局部放大结构示意图。图3B至图3D为图3A所示的气体输送装置的单一导流单元作动流程局部示意图。图4为本案为第二较佳实施例的气体输送装置之外观结构示意图。图5为本案为第三较佳实施例的气体输送装置之外观结构示意图。图6为本案为第四较佳实施例的气体输送装置之外观结构示意图。图7A及图7B为本案的阀的第一、第二及第三实施态样的作动示意图。图8A及图8B为本案的阀的第四、第五实施态样的作动示意图。【具体实施方式】体现本案特征与优点的一些典型实施例将在后段的说明中详细叙述。应理解的是本案能够在不同的态样上具有各种的变化，其皆不脱离本案的范围，且其中的说明及图示在本质上是当作说明之用，而非架构于限制本案。本案的气体输送装置是由微机电制程制出一体成型的微型化气体输送装置，用以克服传统气体输送装置无法同时兼具体积小、微型化、输出流量不足以及尺寸精度掌控不佳等问题。首先，请参阅图1、图2及图3A，于第一实施例中，气体输送装置1包含有借由一特定排列方式设置的多个导流单元10组成，于本实施例中，多个导流单元10为2列10行排列方式形成一矩形平板状的结构，这些导流单元10分别包含有入口板17、基材11、共振板13、致动板14、压电元件15以及出口板16等元件依序堆叠所构成，其中入口板17具有入口孔170，共振板13具有中空孔洞130及可动部131，且共振板13与该入口板17之间形成汇流腔室12，致动板14具有悬浮部141、外框部142及多个空隙143，出口板16具有出口孔160，其结构、特征及设置方式将于说明后段进一步详述。本实施例气体输送装置1可以为微机电系统制程(MEMS)技术一体成型制成，其尺寸体积小、薄型化，且无需如传统气体输送装置堆叠加工，可避免尺寸精度难以掌控的问题，所产出成品品质稳定且良率较高。本实施例的气体输送装置1透过入口板17的多个入口孔170、基材11的多个汇流腔室12、共振板13的多个中空孔洞130及多个可动部131、致动板14的多个悬浮部141及多个空隙143、多个压电元件15及多个出口孔160以构成多个导流单元10，换言之，每一个导流单元10均包含一个汇流腔室12、一个中空孔洞130、一个可动部131、一个悬浮部141、一空隙143、一个压电元件15及一个出口孔160，且多个导流单元10是共用一个入口孔170，但不以此为限，每一个导流单元10的共振板13与致动板14之间具有一间隙g0形成第一腔室18(如图3A所示)，以及致动板14与出口板16之间形成第二腔室19(如图3A所示)。为方便说明气体输送装置1的结构及气体控制方式，下述内容将以单一导流单元10进行说明，然此非用以限制本案仅有单一导流单元10，多个导流单元10可包含多个相同结构的单一导流单元10所组成气体输送装置1，其数量可依据实际情形任施变化。于本案的另一些实施例中，每一个导流单元10亦可包含一个入口孔170，但不以此为限。如图1所示，于第一较佳实施例中，气体输送装置1的多个导流单元10的数量是为40个，意即气体输送装置1具有40个可单独传输气体的单元，即如图1所示，每一出口孔160是对应于每一个导流单元10，且40个导流单元10更以20个为一行，以两两对应并排设置，但均不以此为限，其数量、排列方式皆可依据实际情形任施变化。请参阅图2，于本实施例中，入口板17具有入口孔170，是为一贯穿入口板17的孔洞，以供气体流通，本实施例的入口孔170数量是为1个。于一些实施例中，入口孔170数量亦可为1个以上，但均不以此为限，其数量及设置方式可依据实际情形任施变化。于一些实施例中，入口板17更可包含过滤装置(未图式)，但不以此为限，该过滤装置是封闭设置于入口孔170，用以过滤气体中的粉尘，或是用以过滤气体中的杂质，以避免杂质、粉尘流至气体输送装置1之内部使元件受损。于本实施例中，基材11更包含一驱动电路(未图示)，用以与压电元件15的正极及负极电性连接，用以提供驱动电源，但不以此为限。于一些实施例中，驱动电路亦可设置于气体输送装置1内部的任一位置，但不以此为限，可依实际情形任施变化。请继续参阅图2及图3A，于本实施例的气体气体输送装置1中，共振板13是为悬浮结构，共振板13更具有中空孔洞130及多个可动部131，且每一导流单元10均具有一个中空孔洞130及其所本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种气体输送装置，其特征在于，包含:多个导流单元，该导流单元，分别包含：一入口板，具有至少一入口孔；一基材；一共振板，具有一中空孔洞，且该共振板与该入口板之间具有一汇流腔室；一致动板，具有一个悬浮部及一外框部及至少一空隙；一压电元件，贴附于该致动板的该悬浮部的一表面；以及一出口板，具有一出口孔；以及至少一阀，设置在该入口孔和该出口孔的至少其中之一；其中，该入口板、该基材、该压电板、该致动板及该出口板依序对应堆叠设置，该共振板及该致动板之间具有一间隙形成一第一腔室，该致动板及该出口板之间形成一第二腔室，该压电元件驱动该致动板产生弯曲共振，以使该第一腔室及该第二腔室形成一压力差，并使该至少一阀开启，让气体由该入口板的该入口孔进入该汇流腔室而流经该压电板的该中空孔洞，以进入该第一腔室内，并由该至少一空隙导入该第二腔室内，最后由该出口板的该出口孔导出，借由一特定排列方式设置该多个导流单元以传输气体。

【技术特征摘要】
1.一种气体输送装置，其特征在于，包含:多个导流单元，该导流单元，分别包含：一入口板，具有至少一入口孔；一基材；一共振板，具有一中空孔洞，且该共振板与该入口板之间具有一汇流腔室；一致动板，具有一个悬浮部及一外框部及至少一空隙；一压电元件，贴附于该致动板的该悬浮部的一表面；以及一出口板，具有一出口孔；以及至少一阀，设置在该入口孔和该出口孔的至少其中之一；其中，该入口板、该基材、该压电板、该致动板及该出口板依序对应堆叠设置，该共振板及该致动板之间具有一间隙形成一第一腔室，该致动板及该出口板之间形成一第二腔室，该压电元件驱动该致动板产生弯曲共振，以使该第一腔室及该第二腔室形成一压力差，并使该至少一阀开启，让气体由该入口板的该入口孔进入该汇流腔室而流经该压电板的该中空孔洞，以进入该第一腔室内，并由该至少一空隙导入该第二腔室内，最后由该出口板的该出口孔导出，借由一特定排列方式设置该多个导流单元以传输气体。2.如权利要求1所述的气体输送装置，其特征在于，该特定排列方式为一行串接排列。3.如权利要求1所述的气体输送装置，其特征在于，该特定排列方式为一列串接排列。4.如权利要求1所述的气体输送装置，其特征在于，该特定排列方式为环状方式排列。5.如权利要求1所述的气体输送装置，其特征在于，特定排列方式为蜂巢状方式排列。6.如权利要求1所述的气体输送装置，其特征在于，该阀包含一保持件、一密封件及一阀片，其中该保持件及该密封件之间保持一容置空间，该阀片设置于该容置空间中，该保持件上具有至少两个通气孔，而该阀片对应该保持件的该通气孔位置设通气孔，该保持件的该通气孔及该阀片的该通气孔位置为大致相互对准，以及该密封件上设有至少一个通气孔，且与该保持件的该通气孔位置为形成错位不对准。7.如权利要求1所述的气体输送装置，其特征在于，该阀包含由石墨烯材制成的一保持件、一密封件及一阀片，其中该保持件及该密封件之间保持一容置空间，该阀片设置于该容置空间中，该保持件上具有至少两个通气孔，而该阀片对...

【专利技术属性】
技术研发人员：莫皓然，黄启峰，李伟铭，戴贤忠，韩永隆，
申请(专利权)人：研能科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾,71