一种荧光式刻蚀机温度测量装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种荧光式刻蚀机温度测量装置，属于温度检测技术领域，包括解调单元、传输光缆、荧光式传感头以及刻蚀机，刻蚀机内安装有静电卡盘、晶圆托盘和刻蚀机台基板，传输光缆的一端设有可调行程接头，可调行程接头包括接头安装件、封盖件以及限位螺母，接头安装件通过螺纹安装在刻蚀机台基板上，并通过限位螺母拧紧，荧光式传感头的两端分别设有感温荧光片和传感安装件，荧光式传感头安装在静电卡盘上预留的安装孔内。本实用新型专利技术采用传感头安装于静电卡盘上，传输光缆通过行程可调接头安装于刻蚀机台基板上并与静电卡盘上的传感头对接的方式进行内部晶圆托盘的温度测量，可有效解决晶圆蚀刻过程中温度的稳定监测。

【技术实现步骤摘要】
一种荧光式刻蚀机温度测量装置
本技术涉及一种温度测量装置，特别是涉及一种荧光式刻蚀机温度测量装置，属于温度检测

技术介绍
半导体电子芯片技术是引领各行业自动化水平的高科技技术，目前半导体行业的纳米芯片技术发展较为迅速，基本上已实现10nm以下的量产。干式刻蚀机是将承载有晶圆的托盘放置在腔体内的静电卡盘上，托盘表面反应区温度对稳定工艺至关重要，其直接影响蚀刻速率和选择比，同时蚀刻工艺过程中晶圆托盘在升降装置的驱动下存在位置度偏差，测温装置有效的与托盘接触来获得准确的工艺温度对稳定工艺也至关重要。同时，据专业内了解，干式刻蚀机的反应区存在较强的射频场，这种强烈的射频场给刻蚀过程的温度控制带来了极大的困扰，加之现阶段的测温传感器(电子式、光学红外式)均具有相当大的弊端，从而也对半导体芯片技术产生了一定的阻碍作用。荧光式光纤测温是利用荧光物质在受在一定波长的脉冲光激励所辐射出的荧光的持续衰减时间仅与荧光物质所处环境的温度有光。基于此特性的光纤温度传感器，避免了射频场的干扰，在狭小的空间内采用接触的方式测温，能够极大的提高测温的精确度和精准度。同时，采用的光缆能将信号传输至远离恶劣环本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种荧光式刻蚀机温度测量装置，其特征在于：包括解调单元(3)、传输光缆(2)、荧光式传感头(1)以及与所述传输光缆(2)相连的刻蚀机，所述刻蚀机内安装有静电卡盘(5)、晶圆托盘(4)和刻蚀机台基板(6)，所述传输光缆(2)的一端设有可调行程接头(22)，所述可调行程接头(22)包括接头安装件(221)、与所述接头安装件(221)一端螺纹连接的封盖件(224)以及设置在所述接头安装件(221)另一端的限位螺母(225)，所述接头安装件(221)通过螺纹安装在所述刻蚀机台基板(6)上，并通过所述限位螺母(225)拧紧，所述荧光式传感头(1)的两端分别设有感温荧光片(12)和传感安装件(15)，...

【技术特征摘要】
1.一种荧光式刻蚀机温度测量装置，其特征在于：包括解调单元(3)、传输光缆(2)、荧光式传感头(1)以及与所述传输光缆(2)相连的刻蚀机，所述刻蚀机内安装有静电卡盘(5)、晶圆托盘(4)和刻蚀机台基板(6)，所述传输光缆(2)的一端设有可调行程接头(22)，所述可调行程接头(22)包括接头安装件(221)、与所述接头安装件(221)一端螺纹连接的封盖件(224)以及设置在所述接头安装件(221)另一端的限位螺母(225)，所述接头安装件(221)通过螺纹安装在所述刻蚀机台基板(6)上，并通过所述限位螺母(225)拧紧，所述荧光式传感头(1)的两端分别设有感温荧光片(12)和传感安装件(15)，所述荧光式传感头(1)安装在所述静电卡盘(5)上预留的安装孔内，所述感温荧光片(12)与所述晶圆托盘(4)相连，所述传感安装件(15)把所述荧光式传感头(1)顶紧在所述静电卡盘(5)预留的安装孔内。2.根据权利要求1所述的一种荧光式刻蚀机温度测量装置，其特征在于：所述传输光缆(2)用于传输激励光和荧光信号，所述传输光缆(2)的一端通过标准光纤接头与所述解调单元(3)相连，所述传输光缆(2)的另一端通过所述可调行程接头(22)与所述荧光式传感头(1)相连。3.根据权利要求1所述的一种荧光式刻蚀机温度测量装置，其特征在于：所述传输光缆(2)为芯径1mm的阶跃式或渐变式多模光缆。4...

【专利技术属性】
技术研发人员：耿开胜，方城，
申请(专利权)人：南京五石金传感技术有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32